本技術(shù)涉及半導(dǎo)體光刻掩膜版固定，具體為一種用于固定掩膜版盒裝載平臺。
背景技術(shù)：
1、現(xiàn)有光刻掩膜版(photomask)生產(chǎn)產(chǎn)線大部分都屬于非自動化生產(chǎn)，人力參與的過程偏多。生產(chǎn)過程中，有許多板材需要裝入掩膜版盒進行防污染以及調(diào)度流轉(zhuǎn)，如果全靠人工裝盒轉(zhuǎn)運，會極大影響車間運轉(zhuǎn)效率，人為參與，不確定因素增加，各種影響可能會導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降。
2、現(xiàn)有掩膜版生產(chǎn)產(chǎn)線在對掩膜版盒中的板材進行下料裝盒時，主要使用治具加人工裝盒的辦法，極大影響車間運轉(zhuǎn)效率，人為參與，不確定因素增加，存在污染板材以及對板材造成二次污染的風(fēng)險，人員培訓(xùn)需要投入大量的精力，存在較大風(fēng)險以及浪費人力資源。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、(一)解決的技術(shù)問題
2、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，解決了現(xiàn)有掩膜版生產(chǎn)產(chǎn)線對于板材裝盒運輸過程中缺乏與掩膜版盒匹配的自動化翻轉(zhuǎn)裝載平臺，不便于人員進行日常的裝卸盒體內(nèi)的板材，易于影響后續(xù)掩膜版生產(chǎn)品質(zhì)的問題。
3、(二)技術(shù)方案
4、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：
5、一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，包括用于裝載掩膜版盒的平臺，所述平臺能夠從與水平面夾角0°狀態(tài)翻轉(zhuǎn)至90°狀態(tài)，所述平臺上呈十字布置有四條延伸梁，所述延伸梁上分別布置有第一夾持塊、第二夾持塊以及活動氣缸，掩膜版盒在隨著所述平臺翻轉(zhuǎn)過程中通過所述第一夾持塊、第二夾持塊以及活動氣缸夾持固定在所述延伸梁上。
6、優(yōu)選的，所述平臺與水平面夾角為0°時，其上的掩膜版盒處于放料工位，所述平臺與水平面夾角為90°時，其上的掩膜版盒處于下料工位。
7、優(yōu)選的，所述平臺的下方設(shè)置有底部框架，所述底部框架上通過安裝基座轉(zhuǎn)動連接有翻轉(zhuǎn)框架，所述平臺設(shè)置在所述翻轉(zhuǎn)框架上，所述底部框架上轉(zhuǎn)動設(shè)置有驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件的活動端與所述翻轉(zhuǎn)框架轉(zhuǎn)動連接，在所述驅(qū)動組件的帶動下使得所述翻轉(zhuǎn)框架能夠從與水平面夾角0°翻轉(zhuǎn)至90°的狀態(tài)。
8、優(yōu)選的，所述底部框架上設(shè)置有支撐架，所述翻轉(zhuǎn)框架處于與水平面夾角為0°的狀態(tài)時，所述支撐架的上端面與所述框架的下端面相抵觸。
9、優(yōu)選的，所述延伸梁內(nèi)腔轉(zhuǎn)動設(shè)置有絲杠，所述第一夾持塊以及所述第二夾持塊均與所述絲杠螺紋連接，所述延伸梁上布置有與所述第一夾持塊、第二夾持塊滑動連接的滑槽。
10、優(yōu)選的，所述第二夾持塊上在豎直方向轉(zhuǎn)動布置有絲杠，豎直布置的所述絲杠上螺紋連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊通過豎直導(dǎo)向柱滑動布置在所述第二夾持塊的上方，所述調(diào)節(jié)塊上設(shè)置有壓緊組件，所述壓緊組件用以擠壓放置在所述延伸梁上掩膜版盒的側(cè)壁。
11、優(yōu)選的，所述絲杠的一端均固定連接有調(diào)節(jié)搖把。
12、(三)有益效果
13、本實用新型具備以下有益效果：
14、該用于固定掩膜版盒裝載平臺，通過設(shè)置能夠從0°翻轉(zhuǎn)至90°的平臺，并且通過第一夾持塊、第二夾持塊以及活動氣缸夾持固定掩膜版盒，從而能夠配合自動化驅(qū)動裝置，驅(qū)動整個翻轉(zhuǎn)平臺的翻轉(zhuǎn)，使得在0°以及90°的位置進行放板或者下板操作，裝載平臺可以實現(xiàn)對于掩膜版盒90°翻轉(zhuǎn)，自動豎立掩膜版盒，便于人員將整個掩膜版盒連同盒內(nèi)的板材推離整個裝載平臺，大大節(jié)省人力資源，降低掩模版損壞的風(fēng)險，提高放版的效率和品質(zhì)。
1.一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，包括用于裝載掩膜版盒的平臺，其特征在于：所述平臺能夠從與水平面夾角0°狀態(tài)翻轉(zhuǎn)至90°狀態(tài)，所述平臺上呈十字布置有四條延伸梁，所述延伸梁上分別布置有第一夾持塊、第二夾持塊以及活動氣缸，掩膜版盒在隨著所述平臺翻轉(zhuǎn)過程中通過所述第一夾持塊、第二夾持塊以及活動氣缸夾持固定在所述延伸梁上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述平臺與水平面夾角為0°時，其上的掩膜版盒處于放料工位，所述平臺與水平面夾角為90°時，其上的掩膜版盒處于下料工位。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述平臺的下方設(shè)置有底部框架，所述底部框架上通過安裝基座轉(zhuǎn)動連接有翻轉(zhuǎn)框架，所述平臺設(shè)置在所述翻轉(zhuǎn)框架上，所述底部框架上轉(zhuǎn)動設(shè)置有驅(qū)動組件，所述驅(qū)動組件的活動端與所述翻轉(zhuǎn)框架轉(zhuǎn)動連接，在所述驅(qū)動組件的帶動下使得所述翻轉(zhuǎn)框架能夠從與水平面夾角0°翻轉(zhuǎn)至90°的狀態(tài)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述底部框架上設(shè)置有支撐架，所述翻轉(zhuǎn)框架處于與水平面夾角為0°的狀態(tài)時，所述支撐架的上端面與所述框架的下端面相抵觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述延伸梁內(nèi)腔轉(zhuǎn)動設(shè)置有絲杠，所述第一夾持塊以及所述第二夾持塊均與所述絲杠螺紋連接，所述延伸梁上布置有與所述第一夾持塊、第二夾持塊滑動連接的滑槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述第二夾持塊上在豎直方向轉(zhuǎn)動布置有絲杠，豎直布置的所述絲杠上螺紋連接有調(diào)節(jié)塊，所述調(diào)節(jié)塊通過豎直導(dǎo)向柱滑動布置在所述第二夾持塊的上方，所述調(diào)節(jié)塊上設(shè)置有壓緊組件，所述壓緊組件用以擠壓放置在所述延伸梁上掩膜版盒的側(cè)壁。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于固定掩膜版盒裝載平臺，其特征在于：所述絲杠的一端均固定連接有調(diào)節(jié)搖把。