本申請(qǐng)涉及晶圓加工，具體涉及一種單片晶圓清洗機(jī)。
背景技術(shù)：
1、晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓，晶圓在加工時(shí)，需要進(jìn)行清洗，以去除表面金屬離子，清洗時(shí)大多通過(guò)單片清洗機(jī)進(jìn)行，現(xiàn)有的單片清洗機(jī)在使用時(shí)，往往只依靠在晶圓表面噴灑藥液，通過(guò)藥液反應(yīng)去除金屬離子，但藥液噴灑往往不均勻，從而導(dǎo)致清洗效果較差，金屬離子殘留較多，因此提出一種單片晶圓清洗機(jī)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)的目的在于：為解決現(xiàn)有的單片清洗機(jī)在使用時(shí)，往往只依靠在晶圓表面噴灑藥液，通過(guò)藥液反應(yīng)去除金屬離子，但藥液噴灑往往不均勻，從而導(dǎo)致清洗效果較差，金屬離子殘留較多，因此提出一種單片晶圓清洗機(jī)的技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N單片晶圓清洗機(jī)。
2、本申請(qǐng)為了實(shí)現(xiàn)上述目的具體采用以下技術(shù)方案：
3、一種單片晶圓清洗機(jī)，包括清洗機(jī)主體，所述清洗機(jī)主體內(nèi)設(shè)置有多個(gè)刷洗工位，所述刷洗工位內(nèi)設(shè)置有機(jī)架，所述機(jī)架上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有承載架，所述承載架上設(shè)置有作用于晶圓且將其固定或解除固定的固定件，所述機(jī)架上設(shè)置有用于承接藥液的收集盒，所述刷洗工位內(nèi)鉸接有噴淋桿與刷洗桿，所述噴淋桿上設(shè)置有噴淋管，所述噴淋管的自由端通過(guò)軟管與供液設(shè)備連通，所述刷洗桿上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有軸桿，所述軸桿上設(shè)置有與晶圓滾動(dòng)搭接的毛刷輥。
4、進(jìn)一步地，所述機(jī)架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出軸與承載架之間通過(guò)齒輪副傳動(dòng)連接。
5、進(jìn)一步地，所述固定件包括均設(shè)置在承載架上的環(huán)形管與真空泵，所述環(huán)形管上連通有多個(gè)固定管與連接管，晶圓與固定管抵觸搭接，連接管的自由端與真空泵連通。
6、進(jìn)一步地，所述收集盒滑動(dòng)設(shè)置在機(jī)架上，所述刷洗工位內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)端與收集盒連接的氣缸推桿。
7、進(jìn)一步地，所述刷洗工位內(nèi)設(shè)置有風(fēng)機(jī)，所述承載架上開(kāi)設(shè)有通孔，所述通孔的一端連通有吹嘴、另一端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭與風(fēng)機(jī)的輸出端連通。
8、進(jìn)一步地，所述刷洗桿的相背側(cè)均設(shè)置有擋板。
9、進(jìn)一步地，所述毛刷輥上開(kāi)設(shè)有凹槽，所述軸桿上設(shè)置有與凹槽插接配合的凸條，所述軸桿上螺紋設(shè)置有與毛刷輥抵觸搭接的鎖緊螺母。
10、進(jìn)一步地，所述軸桿上設(shè)置有與刷洗桿間隔分布的限位板，毛刷輥與限位板抵觸搭接。
11、本申請(qǐng)的有益效果如下：
12、本申請(qǐng)?jiān)趯?duì)晶圓進(jìn)行清洗時(shí)，通過(guò)噴淋管將藥液噴淋到晶圓上，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)的毛刷輥均勻刷洗晶圓上表面，在刷洗時(shí)將雜質(zhì)從晶圓上表面刷出，最終減少金屬離子殘留，提高清洗效果，因此更具有實(shí)用性。
1.一種單片晶圓清洗機(jī)，包括清洗機(jī)主體（1），所述清洗機(jī)主體（1）內(nèi)設(shè)置有多個(gè)刷洗工位（2），其特征在于，所述刷洗工位（2）內(nèi)設(shè)置有機(jī)架（3），所述機(jī)架（3）上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有承載架（4），所述承載架（4）上設(shè)置有作用于晶圓且將其固定或解除固定的固定件，所述機(jī)架（3）上設(shè)置有用于承接藥液的收集盒（5），所述刷洗工位（2）內(nèi)鉸接有噴淋桿（6）與刷洗桿（7），所述噴淋桿（6）上設(shè)置有噴淋管（8），所述噴淋管（8）的自由端通過(guò)軟管與供液設(shè)備連通，所述刷洗桿（7）上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有軸桿（9），所述軸桿（9）上設(shè)置有與晶圓滾動(dòng)搭接的毛刷輥（10）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述機(jī)架（3）上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī)（11），所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)（11）的輸出軸與承載架（4）之間通過(guò)齒輪副（12）傳動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述固定件包括均設(shè)置在承載架（4）上的環(huán)形管（13）與真空泵（14），所述環(huán)形管（13）上連通有多個(gè)固定管（15）與連接管（16），晶圓與固定管（15）抵觸搭接，連接管（16）的自由端與真空泵（14）連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述收集盒（5）滑動(dòng)設(shè)置在機(jī)架（3）上，所述刷洗工位（2）內(nèi)設(shè)置有活動(dòng)端與收集盒（5）連接的氣缸推桿（17）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述刷洗工位（2）內(nèi)設(shè)置有風(fēng)機(jī)（18），所述承載架（4）上開(kāi)設(shè)有通孔（19），所述通孔（19）的一端連通有吹嘴（20）、另一端通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭與風(fēng)機(jī)（18）的輸出端連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述刷洗桿（7）的相背側(cè)均設(shè)置有擋板（21）。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述毛刷輥（10）上開(kāi)設(shè)有凹槽（22），所述軸桿（9）上設(shè)置有與凹槽（22）插接配合的凸條（23），所述軸桿（9）上螺紋設(shè)置有與毛刷輥（10）抵觸搭接的鎖緊螺母（24）。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種單片晶圓清洗機(jī)，其特征在于，所述軸桿（9）上設(shè)置有與刷洗桿（7）間隔分布的限位板（25），毛刷輥（10）與限位板（25）抵觸搭接。