本發(fā)明涉及檢測領(lǐng)域，特別涉及一種基于多深度探高拍攝的面板檢測方法及裝置。
背景技術(shù)：
1、在面板module段的aoi(automated?optical?inspection，自動光學(xué)檢測)檢測領(lǐng)域，隨著工藝技術(shù)的更新?lián)Q代，對于特殊類型的缺陷檢出提出了更高精度要求，像原來的微米級的缺陷檢出要求，現(xiàn)在升級為亞微米級，使得所使用的鏡頭放大倍率越來越高，相應(yīng)地鏡頭的景深范圍逐步被壓縮。
2、然而，面板表平面很難保證一個很好的平面度，所以為了保證拍照清晰度，需要對面板表平面進(jìn)行高度測定，即面板表面探高，探高的結(jié)果會引導(dǎo)檢測探頭(圖像檢測傳感器)在檢測過程中適時調(diào)整z向高度，以使得探頭能夠?qū)γ姘灞砥矫嫔蠙z測視場范圍的區(qū)域的對焦。
3、傳統(tǒng)技術(shù)中，只根據(jù)探頭的檢測視場范圍的中心點(diǎn)位置的高度信息調(diào)整z向高度或者探頭，這就使得，當(dāng)檢測視場范圍內(nèi)高度不均勻時，探頭拍攝的圖像會出現(xiàn)局部不清晰的情況，影響了面板檢測的準(zhǔn)確度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決上述問題，本發(fā)明提供一種基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，包括：
2、通過高度測量探頭獲取面板表平面上一檢測視場范圍內(nèi)的采樣點(diǎn)的第一高度信息，所述檢測視場范圍內(nèi)包含的采樣點(diǎn)數(shù)量為多個；
3、將所述采樣點(diǎn)按照對應(yīng)的所述第一高度信息聚類得到所述檢測視場范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域，一子區(qū)域信息具有第二高度信息；
4、通過圖像檢測傳感器對所述檢測視場范圍拍照檢測：
5、根據(jù)所述子區(qū)域各自對應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測傳感器的光軸方向移動所述圖像檢測傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測傳感器的拍攝焦距，對所述檢測區(qū)域進(jìn)行拍照，得到與所述子區(qū)域?qū)?yīng)的一個或一個以上分量圖像；
6、在所述分量圖像中各自取相應(yīng)的子區(qū)域的區(qū)域圖像合并成檢測區(qū)域圖像以進(jìn)行檢測。
7、在其中一個實(shí)施例中，所述高度測量探頭為線型高度測量探頭。
8、在其中一個實(shí)施例中，所述根據(jù)所述子區(qū)域各自對應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測傳感器的光軸方向移動所述圖像檢測傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測傳感器的拍攝焦距包括：
9、排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
10、在其中一個實(shí)施例中，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
11、若所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第三閾值，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
12、在其中一個實(shí)施例中，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
13、若所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
14、在其中一個實(shí)施例中，將所述采樣點(diǎn)按照對應(yīng)的所述第一高度信息聚類得到所述檢測視場范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域包括：
15、根據(jù)所述圖像檢測傳感器的成像范圍設(shè)定聚類的高度區(qū)間。
16、為解決上述問題，本發(fā)明還提供了一種基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，包括：
17、探高模塊，用于通過高度測量探頭獲取面板表平面上一檢測視場范圍內(nèi)的采樣點(diǎn)的第一高度信息，所述檢測視場范圍內(nèi)包含的采樣點(diǎn)數(shù)量為多個；
18、采樣點(diǎn)聚類模塊，用于將所述采樣點(diǎn)按照對應(yīng)的所述第一高度信息聚類得到所述檢測視場范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域，一子區(qū)域信息具有第二高度信息；
19、分量圖像采集模塊，用于根據(jù)所述子區(qū)域各自對應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測傳感器的光軸方向移動所述圖像檢測傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測傳感器的拍攝焦距，對所述檢測區(qū)域進(jìn)行拍照，得到與所述子區(qū)域?qū)?yīng)的一個或一個以上分量圖像；
20、圖像合并檢測模塊，用于在所述分量圖像中各自取相應(yīng)的子區(qū)域的區(qū)域圖像合并成檢測區(qū)域圖像以進(jìn)行檢測。
21、在其中一個實(shí)施例中，所述高度測量探頭為線型高度測量探頭。
22、在其中一個實(shí)施例中，所述分量圖像采集模塊還用于排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
23、在其中一個實(shí)施例中，分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第二閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
24、在其中一個實(shí)施例中，分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
25、在其中一個實(shí)施例中，所述采樣點(diǎn)聚類模塊用于根據(jù)所述圖像檢測傳感器的成像范圍設(shè)定聚類的高度區(qū)間。
26、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本申請的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法及裝置具有以下有益效果。
27、本發(fā)明的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法在圖像檢測傳感器(即檢測探頭)的檢測視場范圍內(nèi)進(jìn)行了多個采樣點(diǎn)的高度采樣，并在該檢測視場范圍內(nèi)聚類為多個高度的子區(qū)域。圖像檢測傳感器可僅在垂直面板表面的方向上移動或調(diào)焦的情況下，拍攝多個子區(qū)域的分量圖像，然后根據(jù)分量圖像合并成整個檢測視場范圍的圖像。由于各分量圖像都是在圖像檢測傳感器的成像范圍內(nèi)拍攝的，因此合并后的整個檢測視場范圍的圖像在各個區(qū)域都是清晰的，從而保證了圖像檢測傳感器采集的圖像的清晰度，進(jìn)而提高了檢測準(zhǔn)確度。
1.一種基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，所述高度測量探頭為線型高度測量探頭。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，所述根據(jù)所述子區(qū)域各自對應(yīng)的第二高度信息依次沿所述圖像檢測傳感器的光軸方向移動所述圖像檢測傳感器和/或調(diào)節(jié)所述圖像檢測傳感器的拍攝焦距包括：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，所述排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測方法，其特征在于，所述將所述采樣點(diǎn)按照對應(yīng)的所述第一高度信息聚類得到所述檢測視場范圍內(nèi)與高度分布相關(guān)的子區(qū)域包括：
7.一種基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，所述高度測量探頭為線型高度測量探頭。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于排除掉第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小小于第二閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)槿毕輩^(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，所述分量圖像采集模塊還用于在所述第二高度信息超出第一閾值范圍的所述子區(qū)域的大小大于第三閾值的情況下，判定該子區(qū)域?yàn)樘卣鹘Y(jié)構(gòu)區(qū)域。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于多深度探高拍攝的面板檢測裝置，其特征在于，所述采樣點(diǎn)聚類模塊用于根據(jù)所述圖像檢測傳感器的成像范圍設(shè)定聚類的高度區(qū)間。