本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，尤其是半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
1、在半導(dǎo)體加工廠中，會(huì)采用如授權(quán)公告號(hào)為cn110520371b等專(zhuān)利文獻(xiàn)所揭示的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備來(lái)進(jìn)行晶圓盒的存儲(chǔ)。
2、由于半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，當(dāng)設(shè)備出現(xiàn)異?；驁?bào)警時(shí)，需要由專(zhuān)業(yè)設(shè)備人員進(jìn)行檢查和處理，這大大地提高了對(duì)工作人員的要求，且在異常處理時(shí)，工作人員不能直觀、快速地了解故障位置、故障原因，不利于設(shè)備維護(hù)工作的開(kāi)展。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問(wèn)題，提供一種半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)及方法。
2、本發(fā)明的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：
3、半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，包括：服務(wù)器及mr設(shè)備；所述服務(wù)器中存儲(chǔ)有半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的設(shè)備結(jié)構(gòu)模型數(shù)據(jù)，其與半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備通信以獲取所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，所述服務(wù)器和所述mr設(shè)備通信以為所述mr設(shè)備提供數(shù)據(jù)；
4、所述mr設(shè)備根據(jù)其自身采集的數(shù)據(jù)及從所述服務(wù)器獲取的數(shù)據(jù)生成混合現(xiàn)實(shí)圖像并顯示給佩戴所述mr設(shè)備的操作人員；
5、當(dāng)所述mr設(shè)備接收到所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備故障的信息時(shí)，所述mr設(shè)備生成融合所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的虛擬透視模型的混合現(xiàn)實(shí)圖像顯示給佩戴所述mr設(shè)備的操作人員，且將所述故障對(duì)應(yīng)的故障位置在所述虛擬透視模型中突出顯示，以及顯示所述故障對(duì)應(yīng)的原因及故障排除方案。
6、優(yōu)選的，所述mr設(shè)備根據(jù)如下步驟生成融合所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的虛擬透視模型的混合現(xiàn)實(shí)圖像：
7、根據(jù)mr設(shè)備配置的空間感知系統(tǒng)構(gòu)建以所述mr設(shè)備為中心的局部坐標(biāo)系及空間場(chǎng)景；
8、將從服務(wù)器獲取的設(shè)備結(jié)構(gòu)模型數(shù)據(jù)從原始的全局坐標(biāo)系轉(zhuǎn)換到局部坐標(biāo)系中；
9、將轉(zhuǎn)換到局部坐標(biāo)系的設(shè)備結(jié)構(gòu)模型放置到構(gòu)建好的空間場(chǎng)景中，形成完整的三維場(chǎng)景；
10、根據(jù)設(shè)置好的渲染參數(shù)，使用圖形渲染算法對(duì)三維場(chǎng)景進(jìn)行渲染計(jì)算得到所述混合現(xiàn)實(shí)圖像。
11、優(yōu)選的，所述渲染參數(shù)包括透視投影參數(shù)、光照參數(shù)和部件材質(zhì)屬性參數(shù)，所述透視投影參數(shù)包括視場(chǎng)角、近裁剪平面和遠(yuǎn)裁剪平面；所述部件材質(zhì)屬性參數(shù)包括顏色、反射率、粗糙度、紋理中的至少一種。
12、優(yōu)選的，在使用圖形渲染算法對(duì)三維場(chǎng)景進(jìn)行渲染計(jì)算后，通過(guò)生成對(duì)抗網(wǎng)絡(luò)對(duì)渲染后的圖像進(jìn)行圖像增強(qiáng)。
13、優(yōu)選的，在使用圖像渲染算法對(duì)三維場(chǎng)景進(jìn)行渲染計(jì)算的過(guò)程中，使用光照貼圖和/或陰影貼圖進(jìn)行渲染計(jì)算。
14、優(yōu)選的，所述服務(wù)器根據(jù)實(shí)時(shí)采集的所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)確定是否存在故障，當(dāng)確定存在故障時(shí)，確定故障類(lèi)型，并根據(jù)故障類(lèi)型對(duì)應(yīng)的故障定位模型進(jìn)行故障定位。
15、優(yōu)選的，所述mr設(shè)備根據(jù)不同的故障類(lèi)型采用不同的突出顯示方式，對(duì)于電氣類(lèi)故障，使故障位置以高亮和/或閃爍的方式突出顯示并顯示故障位置的詳細(xì)信息；對(duì)于機(jī)械類(lèi)故障，若故障位置是運(yùn)動(dòng)部件，以動(dòng)態(tài)的方式突出顯示，并顯示所述運(yùn)動(dòng)部件的詳細(xì)信息。
16、優(yōu)選的，在操作人員定位故障位置時(shí)，所述mr設(shè)備通過(guò)聲音和/或振動(dòng)引導(dǎo)操作人員動(dòng)作。
17、優(yōu)選的，在操作人員對(duì)故障位置進(jìn)行維修時(shí)，mr設(shè)備為操作人員顯示操作指導(dǎo)。
18、半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)方法，在操作人員佩戴mr設(shè)備時(shí)，所述mr設(shè)備根據(jù)其自身采集的數(shù)據(jù)及從所述服務(wù)器獲取的數(shù)據(jù)生成混合現(xiàn)實(shí)圖像并顯示給佩戴所述mr設(shè)備的操作人員；
19、當(dāng)所述mr設(shè)備接收到所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備故障的信息時(shí)，所述mr設(shè)備生成融合所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的虛擬透視模型的混合現(xiàn)實(shí)圖像顯示給佩戴所述mr設(shè)備的操作人員，且將所述故障對(duì)應(yīng)的故障位置在所述虛擬透視模型中突出顯示，以及顯示所述故障對(duì)應(yīng)的原因及故障排除方案。
20、本發(fā)明技術(shù)方案的優(yōu)點(diǎn)主要體現(xiàn)在：
21、本發(fā)明的方案利用混合現(xiàn)實(shí)技術(shù)，在半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備存在故障時(shí)，能夠通過(guò)生成包含半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的虛擬透視模型的圖像并時(shí)故障位置在虛擬透視模型上突出顯示，使操作人員能夠直觀地確定故障位置在設(shè)備中的實(shí)際位置，同時(shí)能夠顯示故障原因和故障排除方案等信息，從而便于故障的排查和處理，極大便利了維護(hù)工作的開(kāi)展，降低了對(duì)操作人員的要求。
22、本發(fā)明在遇到新的故障類(lèi)型時(shí)，可以根據(jù)深度學(xué)習(xí)模型來(lái)識(shí)別可能得故障位置和原因，從而為操作人員進(jìn)行維修提供更全面的指導(dǎo)。
23、本發(fā)明可以根據(jù)不同的故障類(lèi)型采用不同的突出顯示方式，能夠方便操作人員快速地區(qū)分不同的故障類(lèi)型。
24、本發(fā)明在故障處理過(guò)程中能夠提供各種指導(dǎo)，能夠有效地方便故障處理，有利于提高處理效率。
25、本發(fā)明在渲染圖像時(shí)，采用生成對(duì)抗網(wǎng)絡(luò)來(lái)進(jìn)行圖像增強(qiáng)，有利于改善顯示效果，同時(shí)采用貼圖方式能夠有效改善成像效率，有利于實(shí)現(xiàn)成像效率和質(zhì)量的兼容。
1.半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于，包括：服務(wù)器及mr設(shè)備；所述服務(wù)器中存儲(chǔ)有半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的設(shè)備結(jié)構(gòu)模型數(shù)據(jù)，其與半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備通信以獲取所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)，所述服務(wù)器和所述mr設(shè)備通信以為所述mr設(shè)備提供數(shù)據(jù)；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：所述mr設(shè)備根據(jù)如下步驟生成融合所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的虛擬透視模型的混合現(xiàn)實(shí)圖像：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：所述渲染參數(shù)包括透視投影參數(shù)、光照參數(shù)和部件材質(zhì)屬性參數(shù)，所述透視投影參數(shù)包括視場(chǎng)角、近裁剪平面和遠(yuǎn)裁剪平面；所述部件材質(zhì)屬性參數(shù)包括顏色、反射率、粗糙度、紋理中的至少一種。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：在使用圖形渲染算法對(duì)三維場(chǎng)景進(jìn)行渲染計(jì)算后，通過(guò)生成對(duì)抗網(wǎng)絡(luò)對(duì)渲染后的圖像進(jìn)行圖像增強(qiáng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：在使用圖像渲染算法對(duì)三維場(chǎng)景進(jìn)行渲染計(jì)算的過(guò)程中，使用光照貼圖和/或陰影貼圖進(jìn)行渲染計(jì)算。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：所述服務(wù)器根據(jù)實(shí)時(shí)采集的所述半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備的運(yùn)行數(shù)據(jù)確定是否存在故障，當(dāng)確定存在故障時(shí)，確定故障類(lèi)型，并根據(jù)故障類(lèi)型對(duì)應(yīng)的故障定位模型進(jìn)行故障定位。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：所述mr設(shè)備根據(jù)不同的故障類(lèi)型采用不同的突出顯示方式，對(duì)于電氣類(lèi)故障，使故障位置以高亮和/或閃爍的方式突出顯示并顯示故障位置的詳細(xì)信息；對(duì)于機(jī)械類(lèi)故障，若故障位置是運(yùn)動(dòng)部件，以動(dòng)態(tài)的方式突出顯示，并顯示所述運(yùn)動(dòng)部件的詳細(xì)信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：在操作人員定位故障位置時(shí)，所述mr設(shè)備通過(guò)聲音和/或振動(dòng)引導(dǎo)操作人員動(dòng)作。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)，其特征在于：在操作人員對(duì)故障位置進(jìn)行維修時(shí)，mr設(shè)備為操作人員顯示操作指導(dǎo)。
10.半導(dǎo)體儲(chǔ)料設(shè)備維護(hù)方法，其特征在于：