本發(fā)明涉及檢測，具體涉及一種升降承載裝置及檢測設(shè)備。
背景技術(shù)：
1、目前，在半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓在傳送過程中，工藝位置在接受efem腔室機(jī)器手傳送過來晶圓時，往往需要用升降的承載件來接住機(jī)械手傳送過來的晶圓，同時升起一定高度以便機(jī)械手指從晶圓中脫出，再工藝過程中有需要承載件下降一定高度使晶圓放在工藝位的夾盤上。
2、但目前的升降的承載件結(jié)構(gòu)對于工藝位置為固定位置的情況，處理情況相對簡單，但是對于工藝位置是放置于x-y運動平臺的情況，實現(xiàn)起來就相對比較麻煩。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供一種升降承載裝置及檢測設(shè)備，用于解決工藝位置放置于x-y運動平臺的情況下，升降承載裝置難以實現(xiàn)的問題。
2、一種實施例中，提供一種升降承載裝置，包括：
3、承載組件，包括至少三個具有承載端的承載件，至少三個所述承載件的承載端位于一個平面內(nèi)，至少三個所述承載件的所述承載端用于共同承載待測件；以及
4、升降驅(qū)動組件，包括依次連接的直線驅(qū)動件、第一直線運動件和第二直線運動件，所述第二直線運動件設(shè)置有至少三個運動導(dǎo)向部，至少三個所述承載件與至少三個所述運動導(dǎo)向部一一對應(yīng)滑動連接；升降驅(qū)動時，所述直線驅(qū)動件驅(qū)動所述第一直線運動件沿直線運動，所述第一直線運動件帶動所述第二直線運動件同步直線運動，所述第二直線運動件的至少三個運動導(dǎo)向部帶動至少三個所述承載件同步上升或下降。
5、一種實施例中，所述第一直線運動件至少三個直線齒條，所述第二直線運動件包括至少三個滑塊，所述滑塊設(shè)有所述運動導(dǎo)向部，至少三個所述直線齒條與至少三個所述滑塊一一對應(yīng)連接；所述直線驅(qū)動件用于驅(qū)動至少三個所述直線齒條同步直線移動。
6、一種實施例中，至少三個所述直線齒條間隔分布于同一個圓周，且與圓周相切；至少三個所述直線齒條中的一個與所述直線驅(qū)動件連接，至少三個所述直線齒條相互之間通過過渡齒輪連接。
7、一種實施例中，所述滑塊的豎直側(cè)面設(shè)有所述運動導(dǎo)向部。
8、一種實施例中，所述升降驅(qū)動組件還包括底座，所述滑塊與所述底座滑動連接。
9、一種實施例中，所述運動導(dǎo)向部為位于豎直平面內(nèi)的導(dǎo)向槽或?qū)蚩?，所述?dǎo)向槽或?qū)蚩诪閽佄锞€或弧線結(jié)構(gòu)，所述運動導(dǎo)向部包括第一端和第二端，在豎直方向上，所述第一端高于所述第二端；所述承載件滑動至所述第一端時，所述承載件位于最高位置，所述承載件滑動至所述第二端時，所述承載件位于最低位置。
10、一種實施例中，所述承載件遠(yuǎn)離所述承載端的一端安裝有凸輪隨動器，所述承載件通過所述凸輪隨動器與所述運動導(dǎo)向部滑動連接。
11、一種實施例中，所述升降承載裝置還包括至少三個承載安裝架，至少三個承載安裝架與至少三個所述承載件一一對應(yīng)連接，所述承載件可升降地安裝于所述承載安裝架。
12、一種實施例中，所述承載安裝架設(shè)有導(dǎo)向限位件，所述導(dǎo)向限位件具有升降限位通道，所述承載件的部分位于所述升降限位通道內(nèi)，所述承載件沿著所述升降限位通道升降移動。
13、一種實施例中，所述導(dǎo)向限位件包括分布于兩條豎直線上的多個滾輪，多個所述滾輪之間形成所述升降限位通道，所述承載件與所述滾輪滾動連接。
14、一種實施例中，所述承載安裝架包括第一承載安裝架和第二承載安裝架，所述第一承載安裝架豎直設(shè)置于所述升降驅(qū)動組件圍合區(qū)域的外側(cè)，所述第二承載安裝架水平設(shè)置，所述第二承載安裝架的一端與所述第一承載安裝架的上端連接，所述第二承載安裝架遠(yuǎn)離所述第一承載安裝架的一端延伸至所述升降驅(qū)動組件圍合區(qū)域的內(nèi)側(cè)；所述第一承載安裝架設(shè)有所述導(dǎo)向限位件，所述第二承載安裝架遠(yuǎn)離所述第一承載安裝架的一端設(shè)有安裝孔，所述承載件穿設(shè)于所述安裝孔內(nèi)。
15、一種實施例中，所述承載件包括依次連接的第一承載桿、第二承載桿和第三承載桿，所述第一承載桿和所述第三承載桿豎直設(shè)置，所述第二承載桿水平或傾斜設(shè)置，所述第一承載桿的部分穿設(shè)于所述升降限位通道內(nèi)，所述第三承載桿的部分穿設(shè)于所述安裝孔內(nèi)。
16、一種實施例中，提供一種檢測設(shè)備，包括：
17、箱體，所述箱體具有真空檢測腔；
18、設(shè)置于所述真空檢測腔內(nèi)的運動平臺；
19、設(shè)置于所述真空檢測腔內(nèi)的上述的升降承載裝置，所述升降機(jī)設(shè)置于所述運動平臺，所述運動平臺用于帶動所述升降承載裝置移動。
20、依據(jù)上述實施例的升降承載裝置及檢測設(shè)備，由于升降承載裝置的升降驅(qū)動組件包括直線驅(qū)動件、第一直線運動件和第二直線運動件，直線驅(qū)動件可以通過第一直線運動件帶動第二直線運動件的至少三個運動導(dǎo)向部同步直線移動，以帶動至少三個承載件同步上升或下降；升降驅(qū)動組件采用機(jī)械結(jié)構(gòu)的直線傳動驅(qū)動，使得升降承載裝置可以作為一個整體安裝于檢測設(shè)備的真空檢測腔內(nèi)，即此結(jié)構(gòu)的升降承載裝置可以將動力源安裝于真空檢測腔內(nèi)，可以省去真空檢測腔內(nèi)外連接的管道等連接結(jié)構(gòu)，因此本升降承載裝置可以較為容易的布置于真空檢測腔內(nèi)的運動平臺，實現(xiàn)晶圓等待測件的升降承載；并且，由于無需設(shè)置錯開避讓管道等連接結(jié)構(gòu)的移動，可以將升降承載裝置與其他機(jī)構(gòu)融合為同一高度，減少機(jī)構(gòu)堆疊，空間占用更為緊湊。
1.一種升降承載裝置，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的升降承載裝置，其特征在于，所述第一直線運動件包括至少三個直線齒條，所述第二直線運動件包括至少三個滑塊，所述滑塊設(shè)有所述運動導(dǎo)向部，至少三個所述直線齒條與至少三個所述滑塊一一對應(yīng)連接；所述直線驅(qū)動件用于驅(qū)動至少三個所述直線齒條同步直線移動。
3.如權(quán)利要求2所述的升降承載裝置，其特征在于，至少三個所述直線齒條間隔分布于同一個圓周，且與圓周相切；至少三個所述直線齒條中的一個與所述直線驅(qū)動件連接，至少三個所述直線齒條相互之間通過過渡齒輪連接。
4.如權(quán)利要求2所述的升降承載裝置，其特征在于，所述滑塊的豎直側(cè)面設(shè)有所述運動導(dǎo)向部。
5.如權(quán)利要求2所述的升降承載裝置，其特征在于，所述升降驅(qū)動組件還包括底座，所述滑塊與所述底座滑動連接。
6.如權(quán)利要求1所述的升降承載裝置，其特征在于，所述運動導(dǎo)向部為位于豎直平面內(nèi)的導(dǎo)向槽或?qū)蚩祝鰧?dǎo)向槽或?qū)蚩诪閽佄锞€或弧線結(jié)構(gòu)，所述運動導(dǎo)向部包括第一端和第二端，在豎直方向上，所述第一端高于所述第二端；所述承載件滑動至所述第一端時，所述承載件位于最高位置，所述承載件滑動至所述第二端時，所述承載件位于最低位置。
7.如權(quán)利要求6所述的升降承載裝置，其特征在于，所述承載件遠(yuǎn)離所述承載端的一端安裝有凸輪隨動器，所述承載件通過所述凸輪隨動器與所述運動導(dǎo)向部滑動連接。
8.如權(quán)利要求1所述的升降承載裝置，其特征在于，所述升降承載裝置還包括至少三個承載安裝架，至少三個承載安裝架與至少三個所述承載件一一對應(yīng)連接，所述承載件可升降地安裝于所述承載安裝架。
9.如權(quán)利要求8所述的升降承載裝置，其特征在于，所述承載安裝架設(shè)有導(dǎo)向限位件，所述導(dǎo)向限位件具有升降限位通道，所述承載件的部分位于所述升降限位通道內(nèi)，所述承載件沿著所述升降限位通道升降移動。
10.如權(quán)利要求9所述的升降承載裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向限位件包括分布于兩條豎直線上的多個滾輪，多個所述滾輪之間形成所述升降限位通道，所述承載件與所述滾輪滾動連接。
11.如權(quán)利要求9所述的升降承載裝置，其特征在于，所述承載安裝架包括第一承載安裝架和第二承載安裝架，所述第一承載安裝架豎直設(shè)置于所述升降驅(qū)動組件圍合區(qū)域的外側(cè)，所述第二承載安裝架水平設(shè)置，所述第二承載安裝架的一端與所述第一承載安裝架的上端連接，所述第二承載安裝架遠(yuǎn)離所述第一承載安裝架的一端延伸至所述升降驅(qū)動組件圍合區(qū)域的內(nèi)側(cè)；所述第一承載安裝架設(shè)有所述導(dǎo)向限位件，所述第二承載安裝架遠(yuǎn)離所述第一承載安裝架的一端設(shè)有安裝孔，所述承載件穿設(shè)于所述安裝孔內(nèi)。
12.如權(quán)利要求11所述的升降承載裝置，其特征在于，所述承載件包括依次連接的第一承載桿、第二承載桿和第三承載桿，所述第一承載桿和所述第三承載桿豎直設(shè)置，所述第二承載桿水平或傾斜設(shè)置，所述第一承載桿的部分穿設(shè)于所述升降限位通道內(nèi)，所述第三承載桿的部分穿設(shè)于所述安裝孔內(nèi)。
13.一種檢測設(shè)備，其特征在于，包括：