本技術(shù)涉及半導(dǎo)體器件制造，特別涉及一種具有低損耗絕緣連接件的離子源。
背景技術(shù)：
1、離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體加工技術(shù)流程中不可缺少的一環(huán)，該技術(shù)在實(shí)現(xiàn)時(shí)，會(huì)將固態(tài)材料加熱，并電離成離子，這些離子在篩選、加速以及調(diào)整后終將注入硅片中，達(dá)到對(duì)材料表面進(jìn)行改性的目的，離子源是離子注入機(jī)的重要組成部分，用于產(chǎn)生離子，為了保障離子能順利的進(jìn)入注入機(jī)的其他組件，離子源與其他部件之間必須用絕緣體進(jìn)行連接并進(jìn)行絕緣隔離。
2、相關(guān)技術(shù)中，離子源設(shè)有離子出口，且離子源面向離子出口的端面設(shè)有筒形絕緣保護(hù)套，為了便于連接，并且避免離子從離子出口出來(lái)時(shí)落入筒形絕緣保護(hù)套的褶皺部?jī)?nèi)，設(shè)有額外的絕緣連接件，絕緣連接件插接于保護(hù)套內(nèi)，連接件的外壁抵接于褶皺，連接件的內(nèi)壁為光滑結(jié)構(gòu)，并且連接件的內(nèi)壁包繞于離子出口，可以保障絕緣的同時(shí)，避免離子落入褶皺內(nèi)造成清理麻煩。
3、但是，該連接件與保護(hù)套的連接僅依靠?jī)烧咧g僅僅依靠將連接件的外壁尺寸設(shè)計(jì)的與保護(hù)套的內(nèi)壁適配，然后通過(guò)插接的方式進(jìn)行連接，這種連接方式使得連接的非常松散，容易松脫，并且隨著使用并且拆卸下來(lái)進(jìn)行清洗的次數(shù)變多，絕緣連接件的外緣與保護(hù)套的內(nèi)緣將逐漸磨損，兩者本就是適配的設(shè)置，一旦出現(xiàn)磨損，絕緣連接件將直接消耗掉，無(wú)法再正常使用。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的主要目的是提供一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，旨在提高絕緣件的密封性，并降低絕緣件受到的磨損。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，包括離子發(fā)生器和絕緣保護(hù)套：
3、所述離子發(fā)生器的一端面開(kāi)設(shè)有離子出口，所述離子發(fā)生器面向所述離子出口的端面凸設(shè)有絕緣套管，所述絕緣套管包繞于所述離子出口的外緣；和
4、所述絕緣保護(hù)套包括密封絕緣部和限位部，所述密封絕緣部彈性連接于所述限位部的內(nèi)緣，所述密封絕緣部靠近所述限位部的一端卡接于所述絕緣套管的內(nèi)壁，另一端連接于所述離子出口，所述限位部抵接于所述絕緣套管背離所述離子出口的端面。
5、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述密封絕緣部包括保護(hù)部和密封部：
6、所述保護(hù)部設(shè)于所述密封絕緣部背離所述絕緣套管的端面；和
7、所述密封部抵接于所述絕緣套管的內(nèi)壁。
8、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述密封部包括鎖緊部和插入部：
9、所述鎖緊部設(shè)于所述密封絕緣部靠近所述限位部的一端，所述鎖緊部的高度沿著背離所述限位部的方向逐漸抬升；和
10、所述插入部設(shè)于所述密封絕緣部遠(yuǎn)離所述限位部的一端，所述插入部的高度沿著背離所述限位部的方向逐漸減小，所述插入部連接于所述鎖緊部。
11、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述鎖緊部和所述插入部之間設(shè)有緩沖部，所述緩沖部的斷面呈圓弧形，所述緩沖部一端連接于所述鎖緊部，另一端連接于所述插入部。
12、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述密封絕緣部的保護(hù)部和絕緣部均為平滑的表面。
13、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述密封絕緣部設(shè)有多組，多組所述密封絕緣部面向所述限位部的一端相互連接，并周向均勻連接于所述限位部的內(nèi)緣。
14、在本申請(qǐng)的一實(shí)施例中，所述密封絕緣部面向相鄰所述密封絕緣部的端面設(shè)有拼合部，相鄰所述拼合部之間相互抵接，所述拼合部的寬度沿著背離所述限位部的方向逐漸減小。
15、本實(shí)用新型技術(shù)方案中，為了保護(hù)離子發(fā)生器的離子出口，一般會(huì)設(shè)置絕緣套管通過(guò)包繞的方式，將離子出口包覆在內(nèi)部進(jìn)行保護(hù)，且為了方便離子發(fā)生器與離子注入機(jī)的其他部件進(jìn)行連接，絕緣套管的內(nèi)壁設(shè)有螺紋結(jié)構(gòu)，但是在離子從離子發(fā)生器出來(lái)時(shí)存在濺射到螺紋結(jié)構(gòu)上的可能，導(dǎo)致在維護(hù)或更換絕緣件的時(shí)候容易造成清理困難，為此將絕緣件設(shè)計(jì)成絕緣保護(hù)套的結(jié)構(gòu)，絕緣保護(hù)套包括密封絕緣部和限位部，密封絕緣部彈性連接于限位部的內(nèi)緣，在連接和分離狀態(tài)時(shí)，密封絕緣部的一邊總是垂直于限位部，在連接狀態(tài)時(shí)，密封絕緣部靠近限位部的一端卡接于絕緣套管的內(nèi)壁，且因?yàn)槭菑椥赃B接，密封絕緣部遠(yuǎn)離限位部的一端將連接于離子出口處，通過(guò)包繞的方式，達(dá)到將離子出口密封的效果，限位部能起到限位的作用，且能使絕緣保護(hù)套與絕緣套管的連接更為方便，因?yàn)槊芊饨^緣部具有彈性，且是通過(guò)擠壓的方式達(dá)到密封連接，除非設(shè)備之間的磨損已經(jīng)非常嚴(yán)重，否則絕緣件均能起到密封絕緣的效果，能有效降低絕緣件的損壞。
1.一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，所述密封部包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，所述鎖緊部和所述插入部之間設(shè)有緩沖部，所述緩沖部的斷面呈圓弧形，所述緩沖部一端連接于所述鎖緊部，另一端連接于所述插入部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，所述密封絕緣部的保護(hù)部和絕緣部均為平滑的表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，所述密封絕緣部設(shè)有多組，多組所述密封絕緣部面向所述限位部的一端相互連接，并周向均勻連接于所述限位部的內(nèi)緣。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種具有低損耗絕緣連接件的離子源，其特征在于，所述密封絕緣部面向相鄰所述密封絕緣部的端面設(shè)有拼合部，相鄰所述拼合部之間相互抵接，所述拼合部的寬度沿著背離所述限位部的方向逐漸減小。