本技術(shù)涉及夾具領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓定位夾具。
背景技術(shù)：
1、晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。在碳基芯片的生產(chǎn)過程中，需要在晶圓表面覆蓋上一層有序排列的碳納米管薄膜，之后再進行其他各種復(fù)雜的工藝加工，最終做成能夠?qū)嶋H應(yīng)用的芯片。
2、而現(xiàn)有技術(shù)中缺少一種用于在薄膜制備過程中對晶圓提供夾持的夾具。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型目的是：提供一種晶圓定位夾具，以解決現(xiàn)有技術(shù)中缺少一種用于在薄膜制備過程中對晶圓提供夾持的夾具的技術(shù)問題。
2、本實用新型的技術(shù)方案是：一種晶圓定位夾具，用于夾持物料，包括第一夾持體，一側(cè)通過夾持裝置活動連接有第二夾持體；
3、所述夾持裝置包括鎖緊件，所述鎖緊件貫穿第一夾持體并與第二夾持體連接，所述鎖緊件兩側(cè)沿第一夾持體和第二夾持體相對運動方向設(shè)置有導(dǎo)向件；
4、所述第一夾持體和第二夾持體靠近物料且垂直于第二夾持體運動方向的一端被構(gòu)造為夾持端，所述第一夾持體和/或第二夾持體于夾持端設(shè)置有限位部，所述限位部用于與物料卡接，被卡接的物料在限位部的作用下以預(yù)設(shè)的角度置于夾持端中。
5、優(yōu)選的，所述夾持端于第一夾持體上被構(gòu)造為凹槽，于第二夾持體上被構(gòu)造為壓板，所述限位部被構(gòu)造為凹槽側(cè)壁向內(nèi)延伸的凸起或具有一處平面凸臺。
6、優(yōu)選的，所述鎖緊件包括貫穿第一夾持體的螺栓，以及對應(yīng)螺栓設(shè)置于第二夾持體上的螺母；所述導(dǎo)向件包括固定于第一夾持體朝向第二夾持體一端的導(dǎo)向柱，所述第二夾持體上對應(yīng)開設(shè)有供導(dǎo)向柱貫穿的導(dǎo)向孔。
7、優(yōu)選的，所述第一夾持體開設(shè)有螺紋孔，所述螺栓與第一夾持體螺紋配合。
8、優(yōu)選的，所述第一夾持體開設(shè)有光孔，所述螺栓貫穿光孔與第二夾持體配合，所述螺栓具有與第一夾持體的端面抵接的臺階結(jié)構(gòu)；
9、并且，所述第一夾持體和第二夾持體之間連接有彈性件，所述彈性件賦予第一夾持體彈力，該彈力方向與臺階結(jié)構(gòu)對第一夾持體的作用力方向相反。
10、優(yōu)選的，所述第一夾持體遠(yuǎn)離夾持端的部分設(shè)置為基部，所述基部上沿第二夾持體運動方向開設(shè)有通槽，所述通槽遠(yuǎn)離夾持端的一側(cè)開口設(shè)置，并于開口處可拆卸安裝有蓋板。
11、優(yōu)選的，所述基部垂直于通槽的長度方向開設(shè)有對應(yīng)通槽的固定孔，所述固定孔內(nèi)螺紋連接有頂絲。
12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點是：
13、（1）本申請在夾持端中設(shè)置有限位件，限位件與晶圓載具上預(yù)留的缺口或者平面抵接，使得晶圓能夠以預(yù)設(shè)的角度被夾持。
14、（2）本申請通過具有螺栓和螺母的鎖緊件帶動第一夾持體和第二夾持體進行夾持運動，結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。
1.一種晶圓定位夾具，用于夾持物料，其特征在于，包括第一夾持體，一側(cè)通過夾持裝置活動連接有第二夾持體；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述夾持端于第一夾持體上被構(gòu)造為凹槽，于第二夾持體上被構(gòu)造為壓板，所述限位部被構(gòu)造為凹槽側(cè)壁向內(nèi)延伸的凸起或具有一處平面凸臺。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述鎖緊件包括貫穿第一夾持體的螺栓，以及對應(yīng)螺栓設(shè)置于第二夾持體上的螺母；所述導(dǎo)向件包括固定于第一夾持體朝向第二夾持體一端的導(dǎo)向柱，所述第二夾持體上對應(yīng)開設(shè)有供導(dǎo)向柱貫穿的導(dǎo)向孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述第一夾持體開設(shè)有螺紋孔，所述螺栓與第一夾持體螺紋配合。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述第一夾持體開設(shè)有光孔，所述螺栓貫穿光孔與第二夾持體配合，所述螺栓具有與第一夾持體的端面抵接的臺階結(jié)構(gòu)；
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述第一夾持體遠(yuǎn)離夾持端的部分設(shè)置為基部，所述基部上沿第二夾持體運動方向開設(shè)有通槽，所述通槽遠(yuǎn)離夾持端的一側(cè)開口設(shè)置，并于開口處可拆卸安裝有蓋板。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶圓定位夾具，其特征在于，所述基部垂直于通槽的長度方向開設(shè)有對應(yīng)通槽的固定孔，所述固定孔內(nèi)螺紋連接有頂絲。