本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種中間狀態(tài)微顯示器件、微顯示器件。
背景技術(shù)：
1、目前，多采用光波導(dǎo)形式與micro-led芯片耦合，由于光波導(dǎo)光路較高的光損耗以及需要輸入準(zhǔn)直光的特性，導(dǎo)致最終在顯示端的亮度不盡如人意。因此，通常在micro-led芯片上配置微透鏡，來提升micro-led芯片與光波導(dǎo)系統(tǒng)的耦合效率。
2、傳統(tǒng)微透鏡的制備方案有光刻膠熔融(reflow)、刻蝕、打印、激光直寫、點潤濕、納米壓印等，除刻蝕方案外，基本都是有機材料。有機材料的耐溫性、抗機械形變性能欠佳，而刻蝕方案是結(jié)合光刻膠熔融方案制備微透鏡形貌，利用刻蝕轉(zhuǎn)移圖形，將微透鏡形貌轉(zhuǎn)移至無機材料上，該方案中熔融刻蝕結(jié)構(gòu)容易形變導(dǎo)致良率問題，無機材料的制備和平坦化工藝復(fù)雜且要求較高。
3、因此，亟需提供一種可以避免上述缺陷的新的微透鏡的制備方案。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本實用新型的目的在于提供一種中間狀態(tài)微顯示器件、微顯示器件，其無需進行傳統(tǒng)熔融微透鏡形貌掩膜后刻蝕的流程，也無需執(zhí)行表面平坦化和熱回流工藝，工藝簡單、良率高。
2、為實現(xiàn)上述實用新型目的，本實用新型提出如下技術(shù)方案：
3、一方面，提供了一種用于微透鏡制備的中間狀態(tài)微顯示器件，所述中間狀態(tài)微顯示器件，包括：
4、驅(qū)動晶圓；
5、顯示模組，所述顯示模組包括設(shè)于所述驅(qū)動晶圓上的至少兩個像素單元，所述至少兩個像素單元朝遠(yuǎn)離所述驅(qū)動晶圓的方向凸起，所述顯示模組的表面覆設(shè)有由透明介質(zhì)材料構(gòu)成的第一介質(zhì)層，所述第一介質(zhì)層包括覆設(shè)在所述像素單元的頂部的柱狀結(jié)構(gòu)，所述柱狀結(jié)構(gòu)用于通過離子束刻蝕，以形成覆設(shè)在所述像素單元頂部的第一微透鏡，所述第一微透鏡刻蝕為球狀結(jié)構(gòu)或圓錐狀結(jié)構(gòu)。
6、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述第一介質(zhì)層還包括：
7、凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽結(jié)構(gòu)填充在相鄰兩個像素單元之間，所述凹槽結(jié)構(gòu)圍合著相鄰兩個像素單元之間的填充縫隙。
8、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述填充縫隙的深度不小于1微米，所述填充縫隙的寬度不小于0.5微米。
9、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述第一介質(zhì)層的厚度不大于像素間距，所述像素間距是相鄰兩個像素單元的邊緣之間的距離。
10、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述第一介質(zhì)層的厚度不小于0.5微米。
11、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述柱狀結(jié)構(gòu)的寬度不小于所述像素單元中有源層的寬度。
12、另一方面，提供了一種微顯示器件，所述微顯示器件通過如上述方面所述的中間狀態(tài)微顯示器件制備而成，所述微顯示器件包括：
13、驅(qū)動晶圓；
14、顯示模組，所述顯示模組包括設(shè)于所述驅(qū)動晶圓上的至少兩個像素單元，所述至少兩個像素單元朝遠(yuǎn)離所述驅(qū)動晶圓的方向凸起，所述顯示模組的表面覆設(shè)有由透明介質(zhì)材料構(gòu)成的第一微透鏡，所述第一微透鏡刻蝕為球狀結(jié)構(gòu)或圓錐狀結(jié)構(gòu)，所述第一微透鏡是對覆設(shè)在所述像素單元的頂部的柱狀結(jié)構(gòu)進行離子束刻蝕形成。
15、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述微顯示器件還包括：
16、第二微透鏡，所述第二微透鏡覆設(shè)在所述第一微透鏡的外表面上。
17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有如下有益效果：
18、提供了一種用于微透鏡制備的中間狀態(tài)微顯示器件，其在驅(qū)動晶圓上設(shè)置顯示模組，顯示模組的表面覆設(shè)有由透明介質(zhì)材料構(gòu)成的第一介質(zhì)層，第一介質(zhì)層包括沉積在像素單元頂部的柱狀結(jié)構(gòu)，此柱狀結(jié)構(gòu)可以直接通過離子束刻蝕，進一步轉(zhuǎn)變?yōu)榍驙罱Y(jié)構(gòu)或圓錐狀結(jié)構(gòu)的第一微透鏡，微透鏡為全無機材料，耐高溫、抗機械形變能力強，且無需進行傳統(tǒng)熔融微透鏡形貌掩膜后刻蝕的流程，也無需執(zhí)行表面平坦化和熱回流工藝，工藝簡單、良率高。
19、進一步的，還可以通過在第一微透鏡上繼續(xù)覆蓋透明介質(zhì)材料，通過透明介質(zhì)材料的厚度靈活調(diào)控微透鏡尺寸，量產(chǎn)操作便利。
1.一種用于微透鏡制備的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，所述中間狀態(tài)微顯示器件，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，所述第一介質(zhì)層還包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的中間狀態(tài)微顯示器件，其特征在于，
7.一種微顯示器件，其特征在于，所述微顯示器件通過如權(quán)利要求1至6任意一項所述的中間狀態(tài)微顯示器件制備而成，所述微顯示器件包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的微顯示器件，其特征在于，所述微顯示器件還包括：