技術(shù)編號(hào)：42300505
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及白墊，具體為表面具有注水孔的硅片粗拋白墊及制作工藝。背景技術(shù)、硅片粗拋是化學(xué)機(jī)械拋光過程中的重要步驟，其目的是通過化學(xué)和機(jī)械作用去除硅片表面的損傷層，同時(shí)改善表面平整度和粗糙度。、現(xiàn)有的白墊在對(duì)硅片進(jìn)行粗拋時(shí)，其白墊表面不能實(shí)現(xiàn)均勻的冷卻液供給，不能對(duì)硅片粗拋過程中的白墊進(jìn)行有效地冷卻降溫，導(dǎo)致白墊拋光效率低下，且硅片粗拋表面質(zhì)量差。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本發(fā)明的目的在于提供表面具有注水孔的硅片粗拋白墊及制作工藝，白墊對(duì)硅片進(jìn)行粗拋時(shí)，白墊與硅片相互擠壓，使注水孔內(nèi)儲(chǔ)水彈性體上吸收存儲(chǔ)的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。