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一種電感耦合等離子體源的關(guān)鍵參數(shù)設(shè)計(jì)與優(yōu)化方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):42300983

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本發(fā)明屬于電感耦合等離子體源,具體涉及一種電感耦合等離子體源的關(guān)鍵參數(shù)設(shè)計(jì)與優(yōu)化方法。背景技術(shù)、感應(yīng)耦合等離子體源被廣泛用于微電子制造、中性束注入等多種領(lǐng)域中,其中電感耦合等離子體源可以通過(guò)射頻放電在較大范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高等離子體密度,對(duì)于實(shí)現(xiàn)納米級(jí)器件的精確刻蝕、有效的大面積等離子體處理、穩(wěn)定均勻的束流至關(guān)重要。隨著工藝要求的提高,對(duì)等離子體源的設(shè)計(jì)要求也越來(lái)越苛刻。盡管電感耦合等離子體源已發(fā)展多年,但設(shè)計(jì)過(guò)程仍主要依賴(lài)經(jīng)驗(yàn)試錯(cuò),缺乏精準(zhǔn)可靠的定量方法。傳統(tǒng)經(jīng)驗(yàn)設(shè)計(jì)在面對(duì)多變量復(fù)雜系設(shè)計(jì)(如放電氣...
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