技術編號：42301068
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及成膜裝置以及成膜方法。背景技術、已知有對基板蒸鍍以蒸鍍物質來進行成膜的技術。在專利文獻中公開了一邊使蒸鍍源移動一邊向基板放出蒸鍍物質來進行成膜的技術。有時通過一邊使蒸鍍源移動一邊成膜，能降低因蒸鍍源的結構或個體差異所導致的不均，能提高基板上的膜厚分布的均勻性。、在先技術文獻、專利文獻、專利文獻：日本特開－號公報技術實現思路、發(fā)明所要解決的課題、在專利文獻的技術中，沒有用于判斷基板的當前成膜狀態(tài)的信息，在成膜品質的管理以及反映當前成膜狀態(tài)的控制的方面...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。