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層疊體、層疊體的制造方法、元件的制造方法、拍攝裝置、拍攝裝置的制造方法、半導(dǎo)體裝置和半導(dǎo)體裝置的制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:42301080

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本發(fā)明涉及層疊體、層疊體的制造方法、元件的制造方法、拍攝裝置、拍攝裝置的制造方法、半導(dǎo)體裝置和半導(dǎo)體裝置的制造方法。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體裝置的高性能化,使多個半導(dǎo)體芯片層疊的三維化正在推進(jìn)。在這樣的層疊有多個半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體裝置的制造中,首先,在張形成有電極的元件、電路基板(以下,簡稱為元件)的電極面,通過大馬士革法(日文原文:ダマシン法)形成由銅形成的接合電極被絕緣膜包圍而成的接合面。然后,以使接合面的接合電極彼此相向的方式將張元件重疊,實施熱處理,由此制造半導(dǎo)體裝置(專利文獻(xiàn))。...
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