技術編號：9845325
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明用于在等離子體處理裝置內(nèi)部堅固地固定基板托盤，特別涉及一種等離子體處理裝置，能夠應用于在室的下部形成有等離子體的方式的等離子體處理裝置，把基板托盤固定于室內(nèi)。背景技術—般而言，在用于半導體的晶片及要求精密的薄膜加工工序中，使用利用了等離子體的蝕刻和沉積法，提尚制品的精密度。如此產(chǎn)生等離子體的等離子體處理裝置，由形成外形的室和安裝于室的外側(cè)的天線及使晶片放置于室內(nèi)部的卡盤構(gòu)成。由此，所述的天線供應高頻，借助于高頻而在室內(nèi)部形成有等離子體，對放置于卡盤的...
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