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外接投料裝置的制作方法

文檔序號(hào):11126836閱讀:953來源:國知局
外接投料裝置的制造方法

本發(fā)明涉及直拉硅單晶爐設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種外接投料裝置。



背景技術(shù):

單晶硅直拉法生長過程中,多晶硅原材料放入石英坩堝中進(jìn)行熔料、拉晶。單晶爐拉晶完成后,單晶爐不能與空氣接觸,不然會(huì)造成單晶爐碎裂而無法使用,準(zhǔn)備新一爐的生產(chǎn)需要做很多繁雜的前期工作,包括停爐冷卻、清爐、卸料、抽真空和化料等工序,這些前期工作浪費(fèi)了大量的時(shí)間和能耗。單晶爐在一次硅單晶拉制完成后,可以使用外部連接投料裝置,繼續(xù)投入多晶硅片,以便拉制多根晶棒。

通常的外部連接投料裝置體積比較大,安裝比較費(fèi)時(shí)費(fèi)力,不能有效的反復(fù)轉(zhuǎn)移并投料,降低了投料效率。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是:為了解決通常的外部連接投料裝置體積比較大,安裝比較費(fèi)時(shí)費(fèi)力,不能有效的反復(fù)轉(zhuǎn)移并投料,降低了投料效率的問題,現(xiàn)提供了一種外接投料裝置。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種外接投料裝置,包括機(jī)架及設(shè)置在機(jī)架上的投料桶,還包括固定在機(jī)架下端的用于連接單晶爐的旋板閥,所述投料桶固定連接在所述機(jī)架上端,所述機(jī)架上位于所述旋板閥和所述投料桶之間滑動(dòng)設(shè)置有基座,所述基座上設(shè)有連接板,所述連接板與所述旋板閥之間設(shè)有可收縮的第一波紋管,所述投料桶與所述連接板之間設(shè)有與投料桶連通的第二波紋管,所述第一波紋管和第二波紋管之間相互連通,所述投料桶具有上端進(jìn)料口及下端出料口,所述投料桶上端進(jìn)料口上設(shè)有密封蓋,所述投料桶下端進(jìn)料口和第二波紋管之間相互連通,所述第一波紋管內(nèi)套設(shè)有石英管,所述石英管的一端固定連接在所述連接板上;

所述機(jī)架上位于所述旋板閥和投料筒之間固定連接有導(dǎo)軌,所述機(jī)架上位于所述旋板閥和投料筒之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有絲桿,所述基座滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌上,所述基座與所述絲杠螺紋連接,所述絲桿的一端設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī),所述電機(jī)固定連接在所述機(jī)架上。通過調(diào)節(jié)絲桿可以控制基座在導(dǎo)軌上滑動(dòng),從而控制連接板固定連接在的石英管伸出旋板閥或者收縮在第一波紋管內(nèi),實(shí)現(xiàn)將料筒內(nèi)的物料投送到單晶爐內(nèi),由于單晶爐內(nèi)是負(fù)壓狀態(tài),所以先要將旋板閥與單晶爐固定,此時(shí)旋板閥是處于關(guān)閉狀態(tài),石英管是收縮在第一波紋管內(nèi)的,投料桶上的密封蓋將投料桶密封住,并對(duì)投料桶內(nèi)部及第一波紋管和第二波紋管內(nèi)同時(shí)進(jìn)行抽真空,當(dāng)投料桶內(nèi)的壓力與單晶爐內(nèi)的壓力相同時(shí),此時(shí)打開旋板閥,電機(jī)帶動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)使基座向旋板閥方向移動(dòng),并帶動(dòng)石英管伸出并進(jìn)入到單晶爐內(nèi),就可以對(duì)單晶爐進(jìn)行投料,實(shí)現(xiàn)反復(fù)投料。

進(jìn)一步地,所述投料桶下端出料口設(shè)置有用于控制投料桶與第二波紋管連通的插板閥。通過插板閥能夠控制投料桶在投料時(shí)投料的多少以及調(diào)整投料單位時(shí)間內(nèi)的投料量,方便工作人員操作。

進(jìn)一步地,所述投料桶上設(shè)置頭壓力表。通過壓力表能夠快速方便的了解投料桶內(nèi)的壓力狀況,方便工作人員操作。

本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明外接投料裝置在使用時(shí),通過調(diào)節(jié)絲桿可以控制基座在導(dǎo)軌上滑動(dòng),從而控制連接板固定連接在的石英管伸出旋板閥或者收縮在第一波紋管內(nèi),實(shí)現(xiàn)將料筒內(nèi)的物料投送到單晶爐內(nèi),由于單晶爐內(nèi)是負(fù)壓狀態(tài),所以先要將旋板閥與單晶爐固定,此時(shí)旋板閥是處于關(guān)閉狀態(tài),石英管是收縮在第一波紋管內(nèi)的,投料桶上的密封蓋將投料桶密封住,并對(duì)投料桶內(nèi)部及第一波紋管和第二波紋管內(nèi)同時(shí)進(jìn)行抽真空,當(dāng)投料桶內(nèi)的壓力與單晶爐內(nèi)的壓力相同時(shí),此時(shí)打開旋板閥,電機(jī)帶動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)使基座向旋板閥方向移動(dòng),并帶動(dòng)石英管伸出并進(jìn)入到單晶爐內(nèi),就可以對(duì)單晶爐進(jìn)行投料,實(shí)現(xiàn)反復(fù)投料,本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,能夠快速控制石英管的伸出或者收縮,反復(fù)對(duì)單晶爐進(jìn)行投料,提高了投料的效率。

附圖說明

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)一步說明。

圖1是本發(fā)明外接投料裝置的主視圖;

圖2是本發(fā)明外接投料裝置的基座、導(dǎo)軌及絲桿的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中:1、機(jī)架,2、投料桶,3、單晶爐,4、旋板閥,5、基座,6、連接板,7、第一波紋管,8、第二波紋管,9、密封蓋,10、石英管,11、導(dǎo)軌,12、絲桿,13、插板閥,14、壓力表,15、電機(jī)。

具體實(shí)施方式

現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。這些附圖均為簡化的示意圖,僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu),因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。

實(shí)施例

如圖1和2所示,一種外接投料裝置,包括機(jī)架1及設(shè)置在機(jī)架1上的投料桶2,還包括固定在機(jī)架1下端的用于連接單晶爐3的旋板閥4,所述投料桶2固定連接在所述機(jī)架1上端,所述機(jī)架1上位于所述旋板閥4和所述投料桶2之間滑動(dòng)設(shè)置有基座5,所述基座5上設(shè)有連接板6,所述連接板6與所述旋板閥4之間設(shè)有可收縮的第一波紋管7,所述投料桶2與所述連接板6之間設(shè)有與投料桶2連通的第二波紋管8,所述第一波紋管7和第二波紋管8之間相互連通,所述投料桶2具有上端進(jìn)料口及下端出料口,所述投料桶2上端進(jìn)料口上設(shè)有密封蓋9,所述投料桶2下端進(jìn)料口和第二波紋管8之間相互連通,所述第一波紋管7內(nèi)套設(shè)有石英管10,所述石英管10的一端固定連接在所述連接板6上;

所述機(jī)架1上位于所述旋板閥4和投料桶2之間固定連接有導(dǎo)軌11,所述機(jī)架1上位于所述旋板閥4和投料桶2之間轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有絲桿12,所述基座5滑動(dòng)設(shè)置在所述導(dǎo)軌11上,所述基座5與所述絲桿12螺紋連接,所述絲桿12的一端設(shè)有用于驅(qū)動(dòng)絲桿12轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)15,所述電機(jī)15固定連接在所述機(jī)架1上。

所述投料桶2上設(shè)置有用于控制投料桶2與第二波紋管8連通的插板閥13。

所述投料桶2上設(shè)置頭壓力表14。

上述外接投料裝置在使用時(shí),在未使用時(shí),石英管10是收縮在第一波紋管7內(nèi)的,首先將機(jī)架1下端的旋板閥4固定連接在單晶爐3上,并且旋板閥4也是處于關(guān)閉狀態(tài),投料桶2上的插板閥13也是處于關(guān)閉狀態(tài),此時(shí)物料不會(huì)從投料桶2內(nèi)進(jìn)入到第二波紋管8內(nèi),旋板閥4是通過法蘭與單晶爐3密封連接,投料桶2上的密封蓋9蓋好,對(duì)投料桶2和第一波紋管7和第二波紋管8內(nèi)進(jìn)行抽真空,觀察壓力表14,當(dāng)壓力到達(dá)單晶爐3內(nèi)的壓力時(shí),停止抽真空,先打開旋板閥4,電機(jī)15通過外部電源接入,并由外部控制器控制電機(jī)15的啟閉,啟動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)絲桿12轉(zhuǎn)動(dòng),從而使基座5在導(dǎo)軌11上滑動(dòng)并向旋板閥4方向移動(dòng),同時(shí)帶動(dòng)連接板6上的第一波紋管7收縮及第二波紋管8伸長,第一波紋管7內(nèi)的石英管10伸長并插入至單晶爐3內(nèi),此時(shí)打開插板閥13,控制投料桶2內(nèi)的物料在單位時(shí)間內(nèi)的進(jìn)料料即可;當(dāng)投料完畢時(shí),首先關(guān)閉插板閥13,啟動(dòng)電機(jī)15帶動(dòng)絲桿12轉(zhuǎn)動(dòng),同時(shí)帶動(dòng)基座5在導(dǎo)軌11上滑動(dòng)并向投料桶2方向移動(dòng),此時(shí)連接板6上的第一波紋管7伸長及第二波紋管8收縮,石英管10脫離單晶爐3并收縮至第一波紋管7內(nèi),關(guān)閉旋板閥4,將機(jī)架1移走即可。

上述依據(jù)本發(fā)明的理想實(shí)施例為啟示,通過上述的說明內(nèi)容,相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)發(fā)明技術(shù)思想的范圍內(nèi),進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)發(fā)明的技術(shù)性范圍并不局限于說明書上的內(nèi)容,必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來確定其技術(shù)性范圍。

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