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一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:42591647發(fā)布日期:2025-07-29 17:43閱讀:19來源:國知局

本發(fā)明涉及制冷控制調(diào)節(jié),具體為一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng)。


背景技術(shù):

1、隨著工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展,真空爐作為重要的高溫處理設(shè)備,廣泛應(yīng)用于材料冶金、半導(dǎo)體制造、航空航天等領(lǐng)域,其核心工作原理依賴于真空環(huán)境下的高溫加熱過程,而真空爐的穩(wěn)定運行離不開真空系統(tǒng)的高效控制與維護。擴散泵作為真空系統(tǒng)中的關(guān)鍵設(shè)備,主要負責通過氣體的擴散作用將真空爐內(nèi)部的氣體排出,達到所需的真空度,然而,擴散泵的高效運行不僅要求真空度的精確控制,還需要通過冷阱系統(tǒng)來有效捕集蒸汽、氣體,避免其反流進入真空室,從而確保真空環(huán)境的質(zhì)量和穩(wěn)定性,傳統(tǒng)的擴散泵冷卻方式通常依賴于手動調(diào)節(jié)或基于固定設(shè)定的控制系統(tǒng)來維持冷阱的冷卻溫度,然而,這種控制方式存在一些局限性,如冷卻過程的溫度波動較大,難以精準保持在最優(yōu)工作溫度。

2、現(xiàn)有技術(shù)存在的局限至少包括如下問題,現(xiàn)有技術(shù)難以根據(jù)實際運行狀態(tài)靈活調(diào)節(jié)制冷功率,從而導(dǎo)致冷卻溫度難以精確控制,容易出現(xiàn)波動,進而影響穩(wěn)定性和工作效率,造成能源浪費,并且使得制冷效果不穩(wěn)定,難以在不同工作負荷下維持最佳狀態(tài),進一步影響了設(shè)備的運行成本和效能。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明提供了一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),解決了現(xiàn)有技術(shù)控制不精確,難以根據(jù)實際運行狀態(tài)靈活調(diào)節(jié)制冷功率,從而導(dǎo)致冷卻溫度波動、制冷效果不穩(wěn)定,進而影響系統(tǒng)穩(wěn)定性、工作效率的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的,本發(fā)明通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),包括:數(shù)據(jù)獲取模塊,用于獲取待控制的擴散泵的制冷運行數(shù)據(jù),所述運行數(shù)據(jù)包括壓縮機運行數(shù)據(jù)、冷凝數(shù)據(jù)、蒸發(fā)數(shù)據(jù);數(shù)據(jù)分析模塊,用于對待控制的擴散泵的運行數(shù)據(jù)分別進行特征分析,得到待控制的擴散泵的效能指數(shù)集,包括壓縮效能指數(shù)、冷凝效能指數(shù)、蒸發(fā)效能指數(shù);綜合控制分析模塊,用于對待控制的擴散泵的效能指數(shù)集進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù);智能控制調(diào)節(jié)模塊,用于基于待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)采取智能制冷控制措施。

3、進一步地,所述壓縮機運行數(shù)據(jù)包括壓縮機效率指數(shù)、壓縮機壓力偏離指數(shù)、壓縮機油溫差值、壓縮機振動強度值,且得到待控制的擴散泵的壓縮效能指數(shù)的具體步驟如下:獲取待控制的擴散泵的環(huán)境修正指數(shù),并結(jié)合壓縮機效率指數(shù)、壓縮機壓力偏離指數(shù)、壓縮機油溫差值、壓縮機振動強度值進行標準化處理;對待控制的擴散泵的環(huán)境修正指數(shù)、壓縮機效率指數(shù)、壓縮機壓力偏離指數(shù)、壓縮機油溫差值、壓縮機振動強度值進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的壓縮效能指數(shù)。

4、進一步地,獲取待控制的擴散泵的壓縮機效率指數(shù)的具體步驟如下:獲取待控制的擴散泵的壓縮機運行頻率值、壓縮機功率值、壓縮機負載指數(shù),并進行歸一化處理;對歸一化處理后的待控制的擴散泵的壓縮機運行頻率值、壓縮機功率值、壓縮機負載指數(shù)進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的壓縮機效率指數(shù)。

5、進一步地,獲取待控制的擴散泵的環(huán)境修正指數(shù)的具體步驟如下:獲取待控制的擴散泵的環(huán)境溫度值、環(huán)境濕度值、環(huán)境氣壓值、空氣流速值,并進行標準化處理;對標準化處理后的待控制的擴散泵的環(huán)境溫度值、環(huán)境濕度值、環(huán)境氣壓值、空氣流速值進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的環(huán)境修正指數(shù)。

6、進一步地,所述冷凝數(shù)據(jù)包括冷卻壓力指數(shù)、冷凝效率指數(shù),且得到待控制的擴散泵的冷凝效能指數(shù)的具體步驟如下:獲取待控制的擴散泵的冷凝效能修正指數(shù);并對待控制的擴散泵的冷凝效能修正指數(shù)、冷卻壓力指數(shù)、冷凝效率指數(shù)進行綜分析,得到待控制的擴散泵的冷凝效能指數(shù)。

7、進一步地,獲取待控制的擴散泵的冷凝效能修正指數(shù)的具體步驟如下:獲取待控制的擴散泵的冷凝熱流密度值、冷凝運行時長值、冷凝流量值,并進行標準化處理;對標準化處理后的待控制的擴散泵的冷凝熱流密度值、冷凝運行時長值、冷凝流量值進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的冷凝效能修正指數(shù)。

8、進一步地,得到待控制的擴散泵的蒸發(fā)效能指數(shù)的具體步驟如下:對待控制的擴散泵的蒸發(fā)數(shù)據(jù)進行標準化處理,所述蒸發(fā)數(shù)據(jù)包括蒸發(fā)溫差值、蒸發(fā)流量值、熱交換速率值、蒸發(fā)器熱均勻性指數(shù);并對標準化處理后的待控制的擴散泵的蒸發(fā)數(shù)據(jù)進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的蒸發(fā)效能指數(shù)。

9、進一步地,基于待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)采取智能制冷控制措施的具體步驟如下:將待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)與預(yù)設(shè)的制冷調(diào)控指數(shù)閾值進行比對分析;若待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)低于或等于預(yù)設(shè)的制冷調(diào)控指數(shù)閾值,則采取第一制冷控制措施;若待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)高于預(yù)設(shè)的制冷調(diào)控指數(shù)閾值,則采取第二制冷控制措施

10、本發(fā)明具有以下有益效果:

11、(1)、該真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),通過多模塊共同協(xié)作,以此得到制冷調(diào)控指數(shù),從而為智能控制調(diào)節(jié)模塊提供數(shù)據(jù)支持,并實現(xiàn)對制冷系統(tǒng)的精確調(diào)節(jié),進而大幅度提高制冷溫度控制的精度,減少溫度波動,確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行,繼而有效避免冷卻溫度波動問題,以此提升真空爐擴散泵的工作效率和設(shè)備的穩(wěn)定性,并延長設(shè)備使用壽命。

12、(2)、該真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),通過智能化的數(shù)據(jù)分析和調(diào)控,從而能夠根據(jù)擴散泵的實時運行狀況靈活調(diào)節(jié)制冷功率,以此避免能源浪費,且在系統(tǒng)運行過程中,壓縮效能指數(shù)、冷凝效能指數(shù)和蒸發(fā)效能指數(shù)等關(guān)鍵數(shù)據(jù)的精確分析,進而有助于系統(tǒng)根據(jù)實際負荷需求合理調(diào)節(jié)制冷功率,提升能效,繼而減少了能源消耗,并降低了設(shè)備運維成本,進一步優(yōu)化了系統(tǒng)的運營效率。

13、當然,實施本發(fā)明的任一產(chǎn)品并不一定需要同時達到以上所述的所有優(yōu)點。



技術(shù)特征:

1.一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,所述壓縮機運行數(shù)據(jù)包括壓縮機效率指數(shù)、壓縮機壓力偏離指數(shù)、壓縮機油溫差值、壓縮機振動強度值,且得到待控制的擴散泵的壓縮效能指數(shù)的具體步驟如下:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,獲取待控制的擴散泵的壓縮機效率指數(shù)的具體步驟如下:

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,獲取待控制的擴散泵的環(huán)境修正指數(shù)的具體步驟如下:

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,所述冷凝數(shù)據(jù)包括冷卻壓力指數(shù)、冷凝效率指數(shù),且得到待控制的擴散泵的冷凝效能指數(shù)的具體步驟如下:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,獲取待控制的擴散泵的冷凝效能修正指數(shù)的具體步驟如下:

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,得到待控制的擴散泵的蒸發(fā)效能指數(shù)的具體步驟如下:

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),其特征在于,基于待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù)采取智能制冷控制措施的具體步驟如下:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),涉及制冷控制調(diào)節(jié)技術(shù)領(lǐng)域。該真空爐擴散泵冷阱自動控制調(diào)節(jié)制冷系統(tǒng),包括:數(shù)據(jù)獲取模塊用于獲取待控制的擴散泵的制冷運行數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)分析模塊用于對待控制的擴散泵的運行數(shù)據(jù)分別進行特征分析,得到待控制的擴散泵的效能指數(shù)集;綜合控制分析模塊用于對待控制的擴散泵的效能指數(shù)集進行綜合分析,得到待控制的擴散泵的制冷調(diào)控指數(shù),本發(fā)明通過智能控制調(diào)節(jié)模塊中的制冷調(diào)控指數(shù)對真空爐擴散泵冷阱采取智能制冷控制措施,從而實現(xiàn)對制冷系統(tǒng)的精確調(diào)節(jié),進而大幅度提高制冷溫度控制的精度,減少溫度波動,繼而確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行。

技術(shù)研發(fā)人員:李謙,車保文,王劍,李勝粉
受保護的技術(shù)使用者:寧夏全澤豐機械設(shè)備科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/7/28
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