1.基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,包括以下步驟:
2.根據權利要求1所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,步驟一中,視頻分辨率為110×110像素,單通道灰度;在x-y平面上分割出25個獨立零件的加工區(qū)域,每個零件對應一段子視頻,對各子視頻按時間軸采樣生成等長的10幀序列,相鄰窗口重疊5幀;序列的標簽根據物理不可逆性規(guī)則確定:若序列中存在至少一幀標記為“損壞”,則整體標記為“損壞”;若存在“已固化”幀且無損壞,則標記為“已固化”;否則標記為“未固化”。
3.根據權利要求1所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,
4.根據權利要求1所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,步驟三包括:
5.根據權利要求2所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,步驟四包括:
6.根據權利要求5所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,步驟五中,通過video-swtrans模型的最終分類階段,模型通過transformer架構第四個階段的類別標記提取全局時空特征,該標記經過全局平均池化沿時間與空間維度聚合為高維向量,隨后通過一個包含兩線性層與gelu激活函數的多層感知機將其映射至3維分類空間;最終通過softmax函數將輸出值轉換為歸一化概率分布,并采用交叉熵損失函數:
7.根據權利要求6所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,
8.根據權利要求7所述的基于三維移位窗多頭自注意的雙光子光刻零件質檢方法,其特征在于,video-swtrans模型的檢測性能采用準確度accuracy、精確率precision、召回率recall和f1-score四個指標進行定量評估: