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一種半導(dǎo)體晶片上料裝置的制作方法

文檔序號:42048313發(fā)布日期:2025-06-04 18:09閱讀:2來源:國知局

本技術(shù)涉及晶片上料,具體為一種半導(dǎo)體晶片上料裝置。


背景技術(shù):

1、半導(dǎo)體晶片,也稱為硅晶片或芯片,是半導(dǎo)體制造工藝中的基礎(chǔ)材料,主要用于制造各種半導(dǎo)體器件和集成電路,半導(dǎo)體晶片的質(zhì)量和特性對最終半導(dǎo)體器件的性能有著決定性的影響,隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,晶片的尺寸不斷增大,制造工藝也日益精細(xì),以滿足對更高集成度和更高性能芯片的需求。

2、目前傳統(tǒng)的晶片上料裝置,由于其晶片本身比較脆弱,導(dǎo)致人工上料需要耗費較大的人力操作設(shè)備,存在上料效率較低情況,且人工操作容易因操作不規(guī)范將毛發(fā)、指紋等臟污帶到下一工序,影響產(chǎn)品質(zhì)量。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實用新型提供了一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,解決了上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的,本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn):一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,包括安裝板,所述安裝板的頂部設(shè)置有晶片架和安裝架,所述晶片架的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有放置擋條,所述晶片架的頂部開設(shè)有取料口,所述安裝架的頂部通過墊塊設(shè)置有橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu),所述橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動端設(shè)置有升降驅(qū)動機(jī)構(gòu),吸盤設(shè)置于所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動端,所述安裝架的內(nèi)頂壁設(shè)置有激光感應(yīng)組件。

3、可選的,所述安裝板的上表面開設(shè)有供所述晶片架放置的放置槽。

4、可選的,所述晶片架的上表面設(shè)置有方便移動的提手。

5、可選的,所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的表面設(shè)置有用于固定所述吸盤氣管的固定環(huán)。

6、可選的,所述墊塊的頂部和所述安裝架的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有加固板塊。

7、可選的,所述墊塊的兩側(cè)均設(shè)置有滑槽塊,所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的兩側(cè)均設(shè)置有滑條。

8、本實用新型提供了一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,具備以下有益效果:

9、1、該半導(dǎo)體晶片上料裝置,通過晶片架和放置擋條的設(shè)置,疊放大量晶片來進(jìn)行上料,可以在上料時,直接更換晶片架來縮短上料時間,通過橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和吸盤配合設(shè)置,來進(jìn)行自動升降吸附取放晶片,避免人工上料存在毛發(fā)、指紋等臟污晶片的情況,提高上料效率,同時還可以采用多個該上料裝置安裝在設(shè)備上,進(jìn)行高效率的晶片上料,通過激光感應(yīng)組件的設(shè)置,來對放置的晶片進(jìn)行感應(yīng),使升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動吸盤精確升降吸附晶片,同時還可以對晶片的剩余數(shù)量進(jìn)行感應(yīng)。

10、2、該半導(dǎo)體晶片上料裝置,通過安裝板上的放置槽設(shè)置,來方便放置和更換晶片架,通過取料口的設(shè)置,來方便吸嘴完整吸附在放置的晶片上表面,通過提手的設(shè)置,來方便操作人員取放晶片架,通過加固板塊的設(shè)置,來加固安裝架和橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)安裝,通過滑槽塊和滑條的設(shè)置,來使升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)平移更加穩(wěn)定。



技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,包括安裝板(1),其特征在于:所述安裝板(1)的頂部設(shè)置有晶片架(2)和安裝架(5),所述晶片架(2)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有放置擋條(3),所述晶片架(2)的頂部開設(shè)有取料口(4),所述安裝架(5)的頂部通過墊塊(13)設(shè)置有橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)(6),所述橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)(6)的驅(qū)動端設(shè)置有升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(7),吸盤(8)設(shè)置于所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(7)的驅(qū)動端,所述安裝架(5)的內(nèi)頂壁設(shè)置有激光感應(yīng)組件(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,其特征在于:所述安裝板(1)的上表面開設(shè)有供所述晶片架(2)放置的放置槽(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,其特征在于:所述晶片架(2)的上表面設(shè)置有方便移動的提手(11)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,其特征在于:所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(7)的表面設(shè)置有用于固定所述吸盤(8)氣管的固定環(huán)(12)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,其特征在于:所述墊塊(13)的頂部和所述安裝架(5)的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有加固板塊(14)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,其特征在于:所述墊塊(13)的兩側(cè)均設(shè)置有滑槽塊(15),所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)(7)的兩側(cè)均設(shè)置有滑條(16)。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及晶片上料技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種半導(dǎo)體晶片上料裝置,包括安裝板,所述安裝板的頂部設(shè)置有晶片架和安裝架,所述晶片架的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置有放置擋條,所述晶片架的頂部開設(shè)有取料口,所述安裝架的頂部通過墊塊設(shè)置有橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu),所述橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動端設(shè)置有升降驅(qū)動機(jī)構(gòu),吸盤設(shè)置于所述升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)的驅(qū)動端,所述安裝架的內(nèi)頂壁設(shè)置有激光感應(yīng)組件。該半導(dǎo)體晶片上料裝置,通過晶片架和放置擋條的設(shè)置,疊放大量晶片來進(jìn)行上料,可以在上料時,直接更換晶片架來縮短上料時間,通過橫向驅(qū)動機(jī)構(gòu)、升降驅(qū)動機(jī)構(gòu)和吸盤配合設(shè)置,來進(jìn)行自動升降吸附取放晶片,避免人工上料存在的毛發(fā)、指紋等臟污晶片的情況,提高上料效率。

技術(shù)研發(fā)人員:王孟良,許進(jìn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:深圳天成真空技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240815
技術(shù)公布日:2025/6/3
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