本發(fā)明涉及掩膜板加工設備，尤其是指一種掩膜板暫存維護方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
1、掩膜板是一種用于光刻或蒸鍍等工藝的高精度金屬板，可以在其表面制作出微小的圖形或電路。掩膜板檢測是指對掩膜板的質(zhì)量和性能進行檢測的過程，主要包括對掩膜板的圖形、尺寸、缺陷、對準等方面進行檢測。掩膜板檢測的目的是保證掩膜板的精度和可靠性，避免在光刻或蒸鍍等工藝中造成缺陷或誤差。
2、掩膜板通常是先進行恒溫控制再進行薄膜檢測，掩膜板在恒溫控制環(huán)境下需要達到一定的溫度穩(wěn)定性，掩膜板在恒溫環(huán)境中會因為溫度變化而產(chǎn)生熱應力，如果立即進行薄膜檢測，這些熱應力可能導致掩膜板在檢測過程中發(fā)生微小的形變，導致掩膜板在檢測時可能出現(xiàn)誤判，從而影響檢測結(jié)果的準確性。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種掩膜板暫存維護方法，便于準確轉(zhuǎn)移掩膜板本體，使得掩膜板本體在薄膜檢測時能夠保持穩(wěn)定的精度，有效降低對掩膜板本體在薄膜檢測時的影響，提升檢測準確性和可靠性。
2、為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：
3、本發(fā)明提供一種掩膜板暫存維護方法，包括用于對掩膜板本體進行恒溫處理的恒溫冷卻裝置、用于抓取或放置掩膜板本體的機械手、用于存儲掩膜板本體并實時檢測每一個掩膜板本體溫度的暫存機構(gòu)及用于對掩膜板本體進行薄膜檢測的檢測裝置，所述機械手在將掩膜板本體放置于暫存機構(gòu)時，將掩膜板本體標記為第一工序、第二工序或者第三工序；機械手先識別處于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本體，然后再抓取對應的掩膜板本體，該掩膜板暫存維護方法步驟如下：
4、s01、機械手將需要進行恒溫處理的掩膜板本體放置于暫存機構(gòu)并將掩膜板本體標記為第一工序；
5、s02、機械手將標記為第一工序的掩膜板本體裝入恒溫冷卻裝置，恒溫冷卻裝置對標記為第一工序的掩膜板本體進行恒溫處理；
6、s03、機械手從恒溫冷卻裝置處識別并取出標記為第一工序且恒溫處理后的掩膜板本體，將對應掩膜板本體標記為第二工序，機械手將標記為第二工序的掩膜板本體放置于暫存機構(gòu)；
7、s04、暫存機構(gòu)對標記為第二工序的掩膜板本體進行溫度檢測，以確定其溫度是否處于指定范圍；
8、s05、機械手抓取標記為第二工序的掩膜板本體中溫度滿足指定范圍的掩膜板本體，并將其放入檢測裝置，檢測裝置對標記為第二工序的掩膜板本體進行薄膜檢測；
9、s06、機械手從檢測裝置識別并取出標記為第二工序且薄膜檢測后的掩膜板本體，將對應掩膜板本體標記為第三工序，機械手將標記為第三工序的掩膜板本體放置于暫存機構(gòu)；
10、s07、當需要拿取標記為第三工序的掩膜板本體，機械手從暫存機構(gòu)處識別并取出標記為第三工序的掩膜板本體，并將其轉(zhuǎn)移至外部設備。
11、本發(fā)明還提供一種掩膜板暫存維護系統(tǒng)，用于實施上述掩膜板暫存維護方法，包括用于對掩膜板本體進行恒溫處理的恒溫冷卻裝置、用于抓取或放置掩膜板本體的機械手、用于存儲掩膜板本體并實時檢測每一個掩膜板本體溫度的暫存機構(gòu)及用于對掩膜板本體進行薄膜檢測的檢測裝置，所述機械手在將掩膜板本體放置于暫存機構(gòu)時，將掩膜板本體標記為第一工序、第二工序或者第三工序；機械手先識別處于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本體，然后再抓取對應的掩膜板本體。
12、本發(fā)明的有益效果：
13、機械手能快速抓取與加工工序準確對應的掩膜板本體，提升掩膜板本體的取放效率，便于準確轉(zhuǎn)移掩膜板本體，使得機械手能夠順利抓取已消除熱應力的掩膜板本體，掩膜板本體在薄膜檢測時能夠保持穩(wěn)定的精度，有效降低對掩膜板本體在薄膜檢測時的影響，提升檢測準確性，順利實現(xiàn)掩膜板的恒溫處理和薄膜檢測，掩膜板本體能夠在檢測前達到更加穩(wěn)定的狀態(tài)，從而提高檢測的準確性和可靠性。
1.一種掩膜板暫存維護方法，其特征在于，包括用于對掩膜板本體(01)進行恒溫處理的恒溫冷卻裝置(010)、用于抓取或放置掩膜板本體(01)的機械手(020)、用于存儲掩膜板本體(01)并實時檢測每一個掩膜板本體(01)溫度的暫存機構(gòu)(030)及用于對掩膜板本體(01)進行薄膜檢測的檢測裝置(040)，所述機械手(020)在將掩膜板本體(01)放置于暫存機構(gòu)(030)時，將掩膜板本體(01)標記為第一工序、第二工序或者第三工序；機械手(020)先識別處于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本體(01)，然后再抓取對應的掩膜板本體(01)，該掩膜板暫存維護方法步驟如下：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述檢測裝置(040)包括檢測架(51)、安裝于檢測架(51)的調(diào)節(jié)平臺(52)、與調(diào)節(jié)平臺(52)驅(qū)動連接的承載組件(53)及檢測組件(54)，所述調(diào)節(jié)平臺(52)用于帶動承載組件(53)自轉(zhuǎn)和沿x軸或y軸移動，所述承載組件(53)用于定位掩膜板本體(01)，所述檢測組件(54)用于對掩膜板本體(01)進行薄膜檢測；
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述承載組件(53)包括與調(diào)節(jié)平臺(52)驅(qū)動連接的承載架(531)和數(shù)個安裝于承載架(531)的承載件(532)，所述承載件(532)設置有第一貼合部(5321)和第二貼合部(5322)，所述第一貼合部(5321)與第二貼合部(5322)之間圍成有與掩膜板本體(01)周向的拐角處配合的缺口，所述第一貼合部(5321)與第二貼合部(5322)分別抵接掩膜板本體(01)的兩相鄰側(cè)邊；
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述檢測組件(54)包括連接于檢測架(51)的第一支桿(541)和第二支桿(542)、分別安裝于第一支桿(541)和第二支桿(542)的薄膜檢測件(543)和反射鏡(544)及安裝于承載架(531)的背光燈源(545)，所述薄膜檢測件(543)與反射鏡(544)對應，所述掩膜板本體(01)定位于承載組件(53)時位于背光源上方，以使得背光源順利對掩膜板本體(01)進行補光；
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述檢測裝置(040)還包括翻面機構(gòu)(6)，所述翻面機構(gòu)(6)包括升降模組(61)、與升降模組(61)驅(qū)動連接的旋轉(zhuǎn)單元(62)及與旋轉(zhuǎn)單元(62)驅(qū)動連接的夾爪氣缸(63)，所述夾爪氣缸(63)的兩個輸出端分別連接有相互平行的第一夾爪(631)和第二夾爪(632)；
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述恒溫冷卻裝置(010)包括具有安裝腔(101)的箱體(1)、密封板(2)、溫度傳感器(3)、用于驅(qū)動密封板(2)封閉安裝腔(101)開口處的恒溫驅(qū)動機構(gòu)(4)，所述安裝腔(101)用于放置掩膜板本體(01)，所述箱體(1)內(nèi)設置有圍繞安裝腔(101)設置的第一通道，所述箱體(1)設置有與第一通道連通的第一進口(110)和第一出口(120)，所述溫度傳感器(3)用于檢測安裝腔(101)溫度；
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述密封板(2)設置有對應安裝腔(101)開口處的第二通道(200)，所述第二通道(200)兩端處分別設置有第二進口(210)和第二出口(220)，所述第二出口(220)與第一進口(110)管路連接；
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述箱體(1)包括第一拼接板(11)、第二拼接板(12)、第三拼接板(13)及多路換向閥(14)，所述第一拼接板(11)的兩端均連接有第二拼接板(12)，所述第一拼接板(11)和第二拼接板(12)的上下兩端均連接第三拼接板(13)，所述第一拼接板(11)、第二拼接板(12)和第三拼接板(13)的內(nèi)側(cè)圍成安裝腔(101)，所述第一拼接板(11)、第二拼接板(12)和第三拼接板(13)分別設置有第一拼接通道(111)、第二拼接通道(121)和第三拼接通道(131)，所述第一拼接通道(111)、第二拼接通道(121)和第三拼接通道(131)均兩端與多路換向閥(14)連通，所述第一進口(110)設置于多路換向閥(14)，所述第一出口(120)設置于第二拼接通道(121)，所述第一出口(120)安裝有單向閥；
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的掩膜板暫存維護方法，其特征在于，所述恒溫驅(qū)動機構(gòu)(4)包括恒溫升降單元(41)及恒溫開合模組(42)，所述恒溫升降單元(41)與恒溫開合模組(42)驅(qū)動連接，所述恒溫開合模組(42)與密封板(2)驅(qū)動連接，所述密封板(2)靠近安裝腔(101)的一側(cè)設置有密封環(huán)(21)；
10.一種掩膜板暫存維護系統(tǒng)，其特征在于，用于實施上述權(quán)利要求1-9任意一項所述的掩膜板暫存維護方法，包括用于對掩膜板本體(01)進行恒溫處理的恒溫冷卻裝置(010)、用于抓取或放置掩膜板本體(01)的機械手(020)、用于存儲掩膜板本體(01)并實時檢測每一個掩膜板本體(01)溫度的暫存機構(gòu)(030)及用于對掩膜板本體(01)進行薄膜檢測的檢測裝置(040)，所述機械手(020)在將掩膜板本體(01)放置于暫存機構(gòu)(030)時，將掩膜板本體(01)標記為第一工序、第二工序或者第三工序；機械手(020)先識別處于第一工序、第二工序或者第三工序的掩膜板本體(01)，然后再抓取對應的掩膜板本體(01)。