一種鎢鈦酸鉍鐵電薄膜及其制備方法
【專利摘要】一種鎢鈦酸鉍鐵電薄膜，該薄膜材料的化學(xué)式為Bi4Ti3?xWxO12，其中0＜x≤0.5。其制備方法的工藝路線為：配制前驅(qū)液→制備前驅(qū)膜→制備鐵電薄膜；該方法以水合硝酸鉍、鈦酸正四丁酯和異丙醇鎢為前驅(qū)物，以冰乙酸和二乙醇甲醚的混合溶液為溶劑，以乙酰丙酮為穩(wěn)定劑配制前驅(qū)液，經(jīng)涂覆后高溫焙燒制得光滑致密、厚度均勻、光透性好鎢鈦酸鉍薄膜。這種方法具有易于控制材料組分，便于實現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)的優(yōu)點。該薄膜具有優(yōu)良的鐵電性能，剩余極化強度高，抗疲勞性能好，與稀土元素摻雜的鈦酸鉍鐵電薄膜相比，該薄膜制備過程不添加任何稀土元素，從而降低薄膜的生產(chǎn)成本，在非易失性鐵電存儲器領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
【專利說明】
一種鎢鈦酸鉍鐵電薄膜及其制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及鐵電存儲和功能薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鎢鈦酸鉍薄膜的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]鐵電隨機讀寫存儲器具有非揮發(fā)性、低功率消耗、高讀寫速度、高密度存儲、抗輻射特點，是最具發(fā)展?jié)摿Φ拇鎯ζ髦?，在計算機、航空航天和通訊電子等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。鐵電薄膜是具有鐵電性且厚度尺寸為納米至微米級的薄膜，因其鐵電極化反轉(zhuǎn)電壓低、與半導(dǎo)體集成電路工藝兼容性好等優(yōu)點，成為人們關(guān)注熱點。在鐵電薄膜中，鋯鈦酸鉛(Pb(Zr，Ti)03)薄膜具有較大的鐵電剩余極化值和較低的反轉(zhuǎn)電壓，目前已經(jīng)獲得商業(yè)化應(yīng)用，然而其抗疲勞性能差，并且含有害金屬元素Pb，因此在很大程度上限制了其應(yīng)用范圍。為了發(fā)明無鉛、環(huán)保的鐵電薄膜，抗疲勞性能優(yōu)越的鉭酸鉍鎖(SrBi2Ta2O9)被成功研制出來，但其缺點是鐵電剩余極化值低，且制備溫度高，不易與現(xiàn)存硅集成電路(CMOS或GaAs電路)兼容。《Nature》雜志曾報道一種La3+摻雜的鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)鐵電薄膜，其不僅具有較大的剩余極化值，而且抗疲勞性能好，隨后有很多關(guān)于稀土元素摻雜鈦酸鉍鐵電薄膜的報道，包括Nd3+、Pr3+、Eu3+等三價稀土離子摻雜或這些稀土離子與其它元素共摻雜的鈦酸鉍鐵電薄膜，與未摻雜的鈦酸鉍鐵電薄膜相比，鐵電性能均有所提高，這種薄膜被認為是一種非常具有推廣應(yīng)用價值的鐵電薄膜。
[0003]本發(fā)明提出的鎢鈦酸鉍薄膜結(jié)構(gòu)與稀土摻雜的鈦酸鉍基薄膜相比，均為鉍層狀鈣鈦礦結(jié)構(gòu)，但其最突出的優(yōu)點是薄膜成分中不含稀土元素，使薄膜制備成本降低，而且其鐵電性優(yōu)于稀土摻雜的鈦酸鉍薄膜。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明第一個目的在于提供一種具有優(yōu)異性能的鐵電薄膜，其具有很高的鐵電剩余極化強度和優(yōu)良的抗疲勞性能。
[0005]本發(fā)明第二個目的在于提供這種鐵電薄膜的制備方法。
[0006]本發(fā)明通過如下方案實現(xiàn)上述目的:
[0007]一種鎢鈦酸鉍鐵電薄膜，其分子式為Bi4Ti3-XWsO12，其中0<x<0.5。
[0008]所述的鎢鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法，該方法為化學(xué)溶液沉積法，具體制備步驟如下:
[0009](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti3-xWx012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢= 4:3-X:X稱取各原料組分，將稱量得到的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由冰醋酸和乙二醇甲醚以Vots: Ymm= I?3:1的體積比配制而成，攪拌并加熱至40?60°C，保溫10?30min后，降至室溫;然后加入上述稱量得到的鈦酸正四丁酯;再加入乙酰丙酮，乙酰丙酮加入量為鈦酸正四丁酯摩爾數(shù)的1.5?2.5倍;最后向溶液中加入上述稱量得到的異丙醇鎢，室溫攪拌，即得到前驅(qū)液；
[0010](2)將步驟(I)所得的前驅(qū)液旋轉(zhuǎn)涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)涂覆速度為2000?4500r/min，旋轉(zhuǎn)涂覆時間為20?40s，每涂覆I層，烘烤I?5min，以除去膜中殘余溶劑并分解部分有機物;如此重復(fù)5?15次，直至獲得所需厚度的前驅(qū)膜；
[0011](3)將步驟(2)所得的前驅(qū)膜進行熱處理，所述熱處理是在空氣中將步驟(2)制備的前驅(qū)膜先以I?10°c/min的速率升溫到550?720 °C，再恒溫10?60min，隨爐冷卻至室溫，制得鎢鈦酸鉍薄膜。
[0012]所述步驟(2)中，基片為Pt/Ti/Si02/Si(Ill)0
[0013]所述步驟(I)中，五水合硝酸鉍在化學(xué)計量摩爾比基礎(chǔ)上過量5?20%。
[0014]所述步驟(I)中，按Bi4Ti3-具012的分子濃度計算，前驅(qū)液的濃度為0.02?0.3mol/L;各原料組分和混合溶劑的用量根據(jù)配制前驅(qū)液所需總量和選用的前驅(qū)液最終濃度計算。
[0015]所述步驟(I)中，室溫攪拌時間在一小時以上。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的突出優(yōu)點在于:
[0017]本發(fā)明的鎢鈦酸鉍鐵電薄膜不僅具有很高的鐵電剩余極化強度和良好的抗疲勞性，而且薄膜中不含鉛元素，也不含稀土元素，是一種新型的無鉛、無稀土鐵電薄膜。
[0018]本發(fā)明的鎢鈦酸鉍薄膜是高溫燒結(jié)得到的氧化物，具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。
[0019]選擇化學(xué)溶液沉積法制備的鎢鈦酸鉍薄膜具有易于控制材料組分、操作方便、易于大規(guī)模生產(chǎn)的優(yōu)點。
[0020]制備的鎢鈦酸鉍鐵電薄膜，具有結(jié)構(gòu)簡單、物相純凈、成本低廉，是一種性能優(yōu)異的鐵電薄膜，在非揮發(fā)性存儲器領(lǐng)域具有潛在的應(yīng)用前景。
【附圖說明】
[0021]圖1為采用化學(xué)溶液沉積法在Pt/Ti/Si02/Si(lll)基片上生長鎢鈦酸鉍鐵電薄膜的X射線衍射圖。X軸為掃面角度(20)，單位為度;Y軸為衍射強度，無單位。此圖顯示制備的鎢鈦酸鉍薄膜結(jié)晶狀況良好，所有衍射峰均對應(yīng)鈦酸鉍相的衍射峰，說明W6+能夠很好地進入鈦酸鉍晶格之中，薄膜物相非常純凈，沒有雜相存在。
[0022]圖2為鈦酸鎢鉍薄膜的極化強度(P)隨電場強度(E)的變化曲線圖。X軸為電場強度，單位為kV/cm; Y軸為鈦酸鎢鉍薄膜的極化強度，單位為yC/cm2。圖中顯示一條優(yōu)美的鐵電回線，回線與Y軸正半軸交點和負半軸下交點之間的距離為鐵電剩余極化強度值(2Pr)。該薄膜具有很高的鐵電剩余極化強度，2Pr高達78.2yC/cm2。回線與X軸交點到原點的距離為矯頑場強(Ec)，其值在130kV/cm以內(nèi)。
[0023]圖3為鎢鈦酸鉍薄膜可逆剩余極化強度與線性非可逆剩余極化強度隨循環(huán)次數(shù)的變化曲線圖d軸為循環(huán)次數(shù)，無單位;Y軸為極化強度，單位為yC/cm2;圖中，Psw為正可逆剩余極化強度，-Psw為負可逆剩余極化強度，Pnsw為正非可逆剩余極化強度，-Pnsw為負非可逆剩余極化強度。圖中顯示隨著循環(huán)次數(shù)的增加，薄膜的可逆剩余極化強度和線性非可逆剩余極化強度值隨循環(huán)次數(shù)增加不斷降低，但降低幅度較小，當循環(huán)次數(shù)達到200萬次時，其可逆剩余極化強度僅降低5.43%，而線性非可逆剩余極化強度僅降低2.79%;當循環(huán)次數(shù)達到2億次時，其可逆剩余極化強度僅降低12.80 %，而線性非可逆剩余極化強度僅降低
11.09 %，說明鎢鈦酸鉍薄膜具有很好的抗疲勞性能。
【具體實施方式】
[0024]下面結(jié)合具體實例對本發(fā)明的技術(shù)方案做進一步描述，但具體實例并不對本發(fā)明做任何限定。
[0025]實施例1
[0026]本實施例以Bi4Ti2.!J9WtLo1O1^膜為例，其制備步驟如下:
[0027](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.99WQ.(n012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢= 4:2.99:0.01稱取各原料組分，將稱3.881g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由15ml冰醋酸和15ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60 V，保溫20min后，降至室溫;然后加入1.850g鈦酸正四丁酯;再加入1.109ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入0.194ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0028](2)將上述前驅(qū)液旋轉(zhuǎn)涂覆于?^11/5丨02/5丨(111)基片上，以300(^/1^11旋轉(zhuǎn)涂覆30s，每涂覆I層，放在烤膠臺上烘烤5min，以除去膜中殘余溶劑并分解部分有機物;如此重復(fù)5次，得到鎢鈦酸鉍前驅(qū)膜；
[0029](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以5°C/min的加熱速度升溫到600°C，保溫30min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.99W0.QlOl2 鐵電薄膜。
[0030]實施例2
[0031]本實施例以Bi4Ti2.97WQ.()301:^膜為例，其制備步驟如下:
[0032](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.97W0.()3012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.97:0.03稱取各原料組分，將稱3.881g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至40 V，保溫40min后，降至室溫;然后加入1.838g鈦酸正四丁酯;再加入1.1Olml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入0.58 Iml的異丙醇鎢，室溫攪拌1.5h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0033](2)此步驟與實施例1中步驟(2)相同。
[0034](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以3°C/min的加熱速度升溫到700°C，保溫40min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.97W0.Q30l2 鐵電薄膜。
[0035]實施例3
[0036]本實施例以扮4112.941().()6012薄膜為例，其制備步驟如下:
[0037](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.94WQ.()6012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.94:0.06稱取各原料組分，將稱3.881g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至50 V，保溫20min后，降至室溫;然后加入1.819g鈦酸正四丁酯；再加入1.090ml的乙酰丙酮；最后向溶液中加入1.162ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0038](2)此步驟與實施例1中步驟(2)相同。
[0039](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以l°C/min的加熱速度升溫到700°C，保溫30min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.94W0.Q60l2 鐵電薄膜。
[0040]實施例4
[0041 ] 本實施例以Bi4Ti2.gWuOu薄膜為例，其制備步驟如下:
[0042](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Tk9WfL1O12,按摩爾比為五水合硝酸祕:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.9:0.1稱取各原料組分，將稱3.881g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由8ml冰醋酸和22ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60°C，保溫5min后，降至室溫;然后加入1.794g鈦酸正四丁酯;再加入1.075ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入1.937ml的異丙醇鎢，室溫攪拌1.5h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0043](2)此步驟與實施例1中步驟(2)相同。
[0044](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以10°(:/1^11的加熱速度升溫到700°(:，保溫501^11后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.!SWtL1O12 鐵電薄膜。
[0045]實施例5
[0046]本實施例以Bi4Ti2.85W0.1501:^膜為例，其制備步驟如下:
[0047](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.85W0.15Ο12，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.85:0.15稱取各原料組分，將稱3.88Ig的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60 V，保溫1min后，降至室溫;然后加入1.763g鈦酸正四丁酯;再加入1.057ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入2.905ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2.5h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0048](2)此步驟與實施例1中步驟(2)相同。
[0049](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以3°C/min的加熱速度升溫到7 20 °C，保溫30min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.85W0.l50l2 鐵電薄膜。
[0050]實施例6
[0051 ] 本實施例以扮4112.71().3012薄膜為例，其制備步驟如下:
[0052](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.7W0.3012，按摩爾比為五水合硝酸祕:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.7:0.3稱取各原料組分，將稱3.881g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由15ml冰醋酸和15ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60 V，保溫1min后，降至室溫;然后加入1.671g鈦酸正四丁酯;再加入1.0Olml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入5.81ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.06mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0053](2)此步驟與實施例1中步驟(2)相同。
[0054](3)將上述前驅(qū)膜置于電阻爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以2°(:/1^11的加熱速度升溫到700°(:，保溫101^11后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.7W0.3012 鐵電薄膜。
[0055]實施例7
[0056]本實施例以配制不同濃度前驅(qū)液的Bi4Ti2.971().()3012薄膜為例，其制備步驟如下:
[0057](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.97W0.()3012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢= 4:2.97:0.03稱取各原料組分，將稱1.941g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60 V，保溫20min后，降至室溫;然后加入0.919g鈦酸正四丁酯;再加入0.551ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入0.291ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.03mol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0058](2)將上述前驅(qū)液旋轉(zhuǎn)涂覆于?^11/5丨02/5丨(111)基片上，以200(^/1^11旋轉(zhuǎn)涂覆20s，每涂I層，將濕膜放在熱臺上烘烤3min，以除去膜中殘余溶劑并分解部分有機物;如此重復(fù)15次，直至獲得所需厚度的前驅(qū)膜。
[0059](3)將上述前驅(qū)膜置于電爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以5 °C/min的加熱速度升溫到700 °C，保溫30min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.97W0.Q30l2 鐵電薄膜。
[0060]實施例8
[0061 ]本實施例以配制不同濃度前驅(qū)液的Bi4Ti2.971().()3012薄膜為例，其制備步驟如下:
[0062](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.97W0.()3012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.97:0.03稱取各原料組分，將稱6.468g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至60 V，保溫20min后，降至室溫;然后加入3.063g鈦酸正四丁酯;再加入1.835ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入0.968ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.lmol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0063](2)將上述前驅(qū)液旋轉(zhuǎn)涂覆于?^11/5丨02/5丨(111)基片上，以450(^/1^11旋轉(zhuǎn)涂覆40s，每涂I層，將濕膜放在熱臺上烘烤lmin，以除去膜中殘余溶劑并分解部分有機物;如此重復(fù)1次，直至獲得所需厚度的前驅(qū)膜。
[0064](3)將上述前驅(qū)膜置于電爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以3 °C/min的加熱速度升溫到550 °C，保溫20min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.97W0.Q30l2 鐵電薄膜。
[0065]實施例9
[0066]本實施例以配制不同濃度前驅(qū)液的長扮4112.941().()6012薄膜為例，其制備步驟如下:
[0067](I)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4Ti2.94WQ.()6012，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢=4:2.94:0.06稱取各原料組分，將稱6.468g的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由1ml冰醋酸和20ml乙二醇甲醚配制而成，攪拌并加熱至50 V，保溫20min后，降至室溫然后加入3.032g鈦酸正四丁酯;再加入1.817ml的乙酰丙酮;最后向溶液中加入1.937ml的異丙醇鎢，室溫攪拌2h，即得到摩爾濃度為0.lmol/L的鎢鈦酸鉍前驅(qū)液。
[0068](2)此步驟與實施例7中步驟(2)相同。
[0069](3)將上述前驅(qū)膜置于電爐中，在空氣中進行熱處理。為防止薄膜開裂，熱處理時以8 °C/min的加熱速度升溫到720 °C，保溫60min后隨爐冷卻至室溫，制備得到Bi4Ti2.94W0.Q60l2 鐵電薄膜。
【主權(quán)項】
1.一種鎢鈦酸鉍鐵電薄膜，其特征在于，其分子式為Bi4Ti3-xWx012，其中0<x<0.5。2.權(quán)利要求1所述的鎢鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法，該方法為化學(xué)溶液沉積法，其特征在于，具體制備步驟如下: (1)前驅(qū)液的配制:根據(jù)分子式Bi4TMxO12，按摩爾比為五水合硝酸鉍:鈦酸正四丁酯:異丙醇鎢= 4:3-X:X稱取各原料組分，將稱量得到的五水合硝酸鉍加入混合溶劑中，所述混合溶劑由冰醋酸和乙二醇甲醚以VziTifW: V瀬!酸=I?3:1的體積比配制而成，攪拌并加熱至40?60°C，保溫10?30min后，降至室溫;然后加入上述稱量得到的鈦酸正四丁酯;再加入乙酰丙酮，乙酰丙酮加入量為鈦酸正四丁酯摩爾數(shù)的1.5?2.5倍;最后再向溶液中加入上述稱量得到的異丙醇鎢，室溫攪拌，即得到前驅(qū)液； (2)將步驟(I)所得的前驅(qū)液旋轉(zhuǎn)涂覆在基片上，旋轉(zhuǎn)涂覆速度為2000?4500r/min，旋轉(zhuǎn)涂覆時間為20?40s，每涂覆I層，烘烤I?5min，以除去膜中殘余溶劑并分解部分有機物；如此重復(fù)5?15次，直至獲得所需厚度的前驅(qū)膜； (3)將步驟(2)所得的前驅(qū)膜進行熱處理，所述熱處理是在空氣中將步驟(2)制備的前驅(qū)膜先以I?10°C/min的速率升溫到550?720°C，再恒溫10?60min，隨爐冷卻至室溫，制得鎢鈦酸鉍薄膜。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鎢鈦酸鉍鐵電薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(2)中，基片為 Pt/Ti/Si02/Si(lll)。4.根據(jù)權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的鎢鈦酸鉍薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(I)中，五水合硝酸鉍在化學(xué)計量摩爾比基礎(chǔ)上過量5?20%。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鎢鈦酸鉍薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(I)中，按Bi4Ti3-^?)12的分子濃度計算，前驅(qū)液的濃度為0.02?0.3mol/L;各原料組分和混合溶劑的用量根據(jù)配制前驅(qū)液所需總量和選用的前驅(qū)液最終濃度計算。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鎢鈦酸鉍薄膜的制備方法，其特征在于，所述步驟(I)中，室溫攪拌時間在一小時以上。
【文檔編號】H01L21/02GK105870123SQ201610177743
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月25日
【發(fā)明人】高鋒, 張繼豪, 吳艷, 韋悅周
【申請人】廣西大學(xué)