電弧坩堝制造機(jī)主機(jī)基座裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種電弧坩堝制造機(jī)主機(jī)基座裝置,包括下基座,其特征在于:下基座上表面設(shè)有導(dǎo)軌,導(dǎo)軌上設(shè)有水平滑板,下基座一端固定有絲杠座,水平滑板一端對(duì)應(yīng)絲杠座位置固定有微調(diào)支座,絲杠座上安裝有水平絲杠,微調(diào)支座上設(shè)有對(duì)應(yīng)水平絲杠的螺紋扣并利用螺紋扣與水平絲杠連接,水平滑板另一端設(shè)有用于鉸接主機(jī)支撐臂的連接座,微調(diào)支座頂部鉸接有內(nèi)設(shè)微調(diào)絲杠的連接桿,連接桿端部設(shè)有絲母,微調(diào)絲杠端部由絲母位置旋出連接桿并利用鎖緊螺母鎖緊固定,微調(diào)絲杠端部設(shè)有用于與主機(jī)支撐臂連接的鉸接孔。使主機(jī)位置前后可以任意移動(dòng),角度可以微調(diào)整,保證了電極使用壽命和坩堝熔制質(zhì)量,降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】
電弧坩堝制造機(jī)主機(jī)基座裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石英坩禍?zhǔn)怯酶呒兪⑸敖?jīng)過高溫熔化形成的一種玻璃態(tài)器皿,在生產(chǎn)單晶硅的過程中是不可替代的容器,坩禍制造機(jī)用于制造石英坩禍,它是由加熱電源、升降機(jī)構(gòu)、往復(fù)傾動(dòng)臺(tái)三大機(jī)構(gòu)組成。升降機(jī)構(gòu)由基座,電極升降機(jī)構(gòu)和遮熱板升降機(jī)構(gòu)構(gòu)成,基座一般通過膨脹螺絲固定在地基上,主機(jī)架與主機(jī)形成一定的角度焊接在基座上,熔制過程中需要熱源的位置始終停留在坩禍的中心位置。其缺點(diǎn)是:熔制角度不能微調(diào),安裝精度要求較高,前后發(fā)生變化時(shí)主機(jī)不能移動(dòng),影響對(duì)電極使用壽命和坩禍熔制的質(zhì)量,降低產(chǎn)品合格率,生產(chǎn)成本高。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種使主機(jī)位置前后可以任意移動(dòng)、角度可以微調(diào)整、保證電極使用壽命和坩禍熔制質(zhì)量、降低生產(chǎn)成本的電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座
目.ο
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:
[0005]—種電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,包括下基座,其特征在于:所述下基座上表面設(shè)有導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌上設(shè)有水平滑板,所述下基座一端固定有絲杠座,所述水平滑板一端對(duì)應(yīng)絲杠座位置固定有微調(diào)支座,所述絲杠座上安裝有水平絲杠,所述微調(diào)支座上設(shè)有對(duì)應(yīng)水平絲杠的螺紋扣并利用螺紋扣與水平絲杠連接,所述水平滑板另一端設(shè)有用于鉸接主機(jī)支撐臂的連接座,所述微調(diào)支座頂部鉸接有內(nèi)設(shè)微調(diào)絲杠的連接桿,所述連接桿端部設(shè)有絲母,所述微調(diào)絲杠端部由絲母位置旋出連接桿并利用鎖緊螺母鎖緊固定,所述微調(diào)絲杠端部設(shè)有用于與主機(jī)支撐臂連接的鉸接孔。
[0006]上述的電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,所述連接座由兩個(gè)對(duì)稱布置的固定立板組成,固定立板上對(duì)應(yīng)設(shè)有連接孔。
[0007]上述的電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,所述下基座底部邊緣設(shè)有膨脹螺絲孔,通過膨脹螺絲與地基固定在一起。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:通過旋轉(zhuǎn)水平絲杠可帶動(dòng)滑板沿導(dǎo)軌移動(dòng),從而方便調(diào)整主機(jī)前后位置;通過旋轉(zhuǎn)微調(diào)絲杠增加連接桿長(zhǎng)度,從而調(diào)整主機(jī)支撐臂的角度;綜上兩點(diǎn)大大降低了主機(jī)安裝難度,不僅保證了電極在熔制時(shí)位置,同時(shí)也保證熔制過程中的角度,提高產(chǎn)品質(zhì)量和合格率,降低生產(chǎn)成本。
【附圖說明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖2是圖1的俯視圖;
[0011]圖3是圖1的左視圖;
[0012]圖4是本實(shí)用新型的使用狀態(tài)圖。
[0013]圖中:1.下基座、2.水平滑板、3.連接座、4.絲杠座、5.膨脹螺絲孔、6.水平絲杠、7.導(dǎo)軌、8.微調(diào)支座、9連接桿、10.絲母、11.鎖緊螺母、12.微調(diào)絲杠、13.支撐臂。
【具體實(shí)施方式】
[0014]如圖所示,該電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,包括下基座I,所述下基座I上表面設(shè)有導(dǎo)軌7,所述導(dǎo)軌7上設(shè)有水平滑板2,所述下基座I 一端固定有絲杠座4,所述水平滑板2—端對(duì)應(yīng)絲杠座4位置固定有微調(diào)支座8,所述絲杠座4上安裝有水平絲杠6,所述微調(diào)支座8上設(shè)有對(duì)應(yīng)水平絲杠6的螺紋扣并利用螺紋扣與水平絲杠6連接,所述水平滑板2另一端設(shè)有用于鉸接主機(jī)支撐臂13的連接座3,所述微調(diào)支座8頂部鉸接有內(nèi)設(shè)微調(diào)絲杠12的連接桿9,所述連接桿9端部設(shè)有絲母10,所述微調(diào)絲杠12端部由絲母10位置旋出連接桿并利用鎖緊螺母11鎖緊固定,所述微調(diào)絲杠12端部設(shè)有用于與主機(jī)支撐臂13連接的鉸接孔。所述連接座3由兩個(gè)對(duì)稱布置的固定立板組成,固定立板上對(duì)應(yīng)設(shè)有連接孔。所述下基座I底部邊緣設(shè)有膨脹螺絲孔5。
[0015]工作時(shí),下基座I的膨脹螺絲孔5通過膨脹螺絲與地基固定在一起,下基座I的前后移動(dòng)通過旋轉(zhuǎn)水平絲杠6帶動(dòng)水平滑板2實(shí)現(xiàn);通過旋轉(zhuǎn)絲母10,增加或減小微調(diào)絲杠12露出連接桿9的長(zhǎng)度,進(jìn)而調(diào)整支撐臂13角度,調(diào)整到合適角度后,利用鎖緊螺母11鎖緊。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,包括下基座,其特征在于:所述下基座上表面設(shè)有導(dǎo)軌,所述導(dǎo)軌上設(shè)有水平滑板,所述下基座一端固定有絲杠座,所述水平滑板一端對(duì)應(yīng)絲杠座位置固定有微調(diào)支座,所述絲杠座上安裝有水平絲杠,所述微調(diào)支座上設(shè)有對(duì)應(yīng)水平絲杠的螺紋扣并利用螺紋扣與水平絲杠連接,所述水平滑板另一端設(shè)有用于鉸接主機(jī)支撐臂的連接座,所述微調(diào)支座頂部鉸接有內(nèi)設(shè)微調(diào)絲杠的連接桿,所述連接桿端部設(shè)有絲母,所述微調(diào)絲杠端部由絲母位置旋出連接桿并利用鎖緊螺母鎖緊固定,所述微調(diào)絲杠端部設(shè)有用于與主機(jī)支撐臂連接的鉸接孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,其特征在于:所述連接座由兩個(gè)對(duì)稱布置的固定立板組成,固定立板上對(duì)應(yīng)設(shè)有連接孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電弧坩禍制造機(jī)主機(jī)基座裝置,其特征在于:所述下基座底部邊緣設(shè)有膨脹螺絲孔,通過膨脹螺絲與地基固定在一起。
【文檔編號(hào)】C03B20/00GK205473348SQ201620312133
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年4月14日
【發(fā)明人】王震, 孫興旺
【申請(qǐng)人】錦州佑鑫電子材料有限公司