等離子體處理檢測指示器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種等離子體處理檢測指示器，其為使用了纖維質基材、或含有著色顏料的合成樹脂基材作為基材的等離子體處理檢測指示器，其中，在等離子體處理中防止從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料。本發(fā)明具體提供一種指示器，其為在基材的表面的一部分或全部上至少層疊了變色層的等離子體處理檢測指示器，所述變色層在等離子體處理氛圍下變色，其特征在于，(1)所述基材為纖維質基材、或含有著色顏料的合成樹脂基材，(2)在所述基材與所述變色層之間具有包覆所述基材的所述表面的全部的樹脂系或無機系的透明性包覆層。
【專利說明】
等離子體處理檢測指示器
技術領域
[0001] 本發(fā)明涉及一種等離子體處理檢測指示器。予以說明，本說明書中的等離子體處 理是指利用了等離子體的等離子體處理，所述等離子體是對等離子體產生用氣體施加交流 電壓、脈沖電壓、高頻、微波等而產生的，相應有低壓等離子體及大氣壓等離子體這兩者。
【背景技術】
[0002] 醫(yī)院、研究所等中所使用的各種器材、器具等為了消毒及殺菌而被實施滅菌處理。 作為該滅菌處理之一，已知有等離子體處理(例如，非專利文獻1的"使用了 3.3.1低壓力放 電等離子體的滅菌實驗"欄）。
[0003] 另外，等離子體處理不僅用于滅菌處理，而且還用于半導體元件的制造中的等離 子體干式蝕刻及電子零件等被處理物的表面的等離子體清洗。
[0004] 就等離子體干蝕刻而言，通常對配置于作為真空容器的反應腔室內的電極施加高 頻功率，將導入至反應腔室內的等離子體產生用氣體進行等離子體化，對半導體晶圓以高 精度進行蝕刻。另外，等離子體清洗通過除去析出或附著于電子零件等被處理物的表面的 金屬氧化物、有機物、毛刺等來改善焊接性或軟焊料的潤濕性，從而提高粘接強度，或者改 善與密封樹脂的密合性或潤濕性。
[0005] 作為檢測這些等離子體處理的完成的方法，已知有使用變色層在等離子體處理氛 圍下變色的等離子體處理檢測指示器的方法。
[0006] 例如，在專利文獻1中公開有:一種油墨組合物，其為含有1)蒽醌系色素、偶氮系色 素及酞菁系色素的至少1種以及2)粘合劑樹脂、陽離子系表面活性劑及增量劑的至少1種的 等離子體處理檢測用油墨組合物，其特征在于，用于所述等離子體處理的等離子體產生用 氣體含有氧氣及氮氣的至少1種；以及一種等離子體處理檢測指示器，其在基材上形成有包 含該油墨組合物的變色層。
[0007] 另外，在專利文獻2中公開有:一種油墨組合物，其為含有1)蒽醌系色素、偶氮系色 素及次甲基系色素的至少1種以及2)粘合劑樹脂、陽離子系表面活性劑及增量劑的至少1種 的不活潑氣體等離子體處理檢測用油墨組合物，其特征在于，所述不活潑氣體含有選自由 氦氣、氖氣、氬氣、氪氣及氙氣構成的組中的至少1種；以及一種等離子體處理檢測指示器， 其在基材上形成有包含該油墨組合物的變色層。
[0008] 這些等離子體處理檢測指示器為通過變色層的變色而能夠判斷等離子體處理的 完成的有用的指示器。而且，為了能夠更可靠地判斷變色層的變色的行為，作為基材，通常 使用可以隱蔽基底色的纖維質基材、或含有二氧化鈦等著色顏料(隱蔽顏料)的合成樹脂基 材。
[0009] 但是，在使用纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材的情況下，有時在等離 子體處理中這些基材的表面受到等離子體的影響，而以粉狀產生微細的纖維片或著色顏 料，在該微細的纖維片或著色顏料附著于變色層的情況下，可能對等離子體處理后的變色 層的變色的準確判斷帶來影響。
[0010]因此，期望一種等離子體處理檢測指示器的開發(fā)，等離子體處理檢測指示器使用 纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材作為基材，在等離子體處理中防止從基材以粉 狀產生微細的纖維片或著色顏料。 現(xiàn)有技術文獻 專利文獻
[0011] 專利文獻1:日本特開2013-98196號公報 專利文獻2:日本特開2013-95764號公報 非專利文獻
[0012] 非專利文獻 1: Journal of Plasma and Fusion Research Vol · 83，No · 7July 2007
【發(fā)明內容】
發(fā)明所要解決的課題
[0013] 本發(fā)明的主要目的在于，提供一種等離子體處理檢測指示器，其為使用纖維質基 材或含有著色顏料的合成樹脂基材作為基材的等離子體處理檢測指示器，其中，在等離子 體處理中防止從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料。 用于解決課題的方案
[0014] 本發(fā)明人為了實現(xiàn)上述目的，重復進行了深入研究，結果發(fā)現(xiàn)，在使用特定的透明 性包覆層包覆基材的情況下，可以實現(xiàn)上述目的，直至完成本發(fā)明。
[0015] g卩，本發(fā)明涉及一種下述的等離子體處理檢測指示器。 1. 一種等離子體處理檢測指示器，其為在基材的表面的一部分或全部上至少層疊了變 色層的等離子體處理檢測指示器，所述變色層在等離子體處理氛圍下變色，其特征在于， (1) 所述基材為纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材， (2) 在所述基材與所述變色層之間具有樹脂系或無機系的透明性包覆層，所述透明性 包覆層包覆所述基材的所述表面的全部。 2. 根據上述項1所述的指示器，其中，所述透明性包覆層的厚度為5μπι以上。 3. 根據上述項1或2所述的指示器，其中，所述變色層除含有通過在等離子體處理氛圍 下化學結構變化而變色的變色色素之外，還含有在等離子體處理氛圍下化學結構沒有變化 的非變色色素。 4. 根據上述項1~3中任一項所述的指示器，其中，在所述基材與所述透明性包覆層之 間具有含有在等離子體處理氛圍下化學結構沒有變化的非變色色素的非變色層。 5. 根據上述項4所述的指示器，其中，按照夾持所述透明性包覆層并以相同形狀重疊的 方式，層疊所述非變色層和所述變色層。 發(fā)明效果
[0016] 本發(fā)明的等離子處理檢測指示器使用纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基 材作為基材，由于在基材與變色層之間具有包覆所述基材的變色層層疊面的全部的樹脂系 或無機系的透明性包覆層，從而即使為未形成變色層的部分，也能緩和等離子體導致的對 基材的直接的影響(蝕刻作用）。因此，防止從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料，能 夠更準確地判斷等離子體處理后的變色層的變色。另外，在基材的表面的全部形成有變色 層的情況下，且在除通過變色層的變色之外還通過變色層的消失(蝕刻作用導致的消失)來 判斷等離子體處理的完成的情況下，在變色層消失后仍能緩和等離子體導致的對基材的直 接的影響，因此，防止了從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料。
[0017] 另外，本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器由于具有透明性包覆層，從而能緩和等 離子體導致的對基材的直接的影響，因而，還具有能夠防止基于等離子體處理的基材卷曲 的產生以及基材變色的產生這樣的優(yōu)異的效果。
[0018] 這些效果也在作為等離子體處理采用低壓等離子體及大氣壓等離子中的任意者 時獲得。
【附圖說明】
[0019] 圖1是表示本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器的一個方式的圖。 圖2是表示本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器的一個方式的圖。
【具體實施方式】
[0020] 以下，對本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器進行詳細說明。
[0021] 本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器（以下簡稱為"指示器"）為在基材的表面的一 部分或全部上至少層疊了變色層的指示器，上述變色層在等離子體處理氛圍下變色，其特 征在于， (1) 上述基材為纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材， (2) 在上述基材與上述變色層之間具有包覆上述基材的上述表面的全部的樹脂系或無 機系的透明性包覆層。
[0022] 具有上述特征的本發(fā)明的指示器使用纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基 材作為基材，由于在基材與變色層之間具有包覆上述基材的變色層層疊面的全部的樹脂系 或無機系的透明性包覆層，從而即使為未形成變色層的部分，也能夠緩和等離子體導致的 對基材的直接的影響(蝕刻作用）。因此，防止從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料， 能夠更準確地判斷等離子體處理后的變色層的變色。另外，在基材的表面的全部形成變色 層的情況下，且在除通過變色層的變色之外還通過變色層的消失(蝕刻作用導致的消失)來 判斷等離子體處理的完成的情況下，在變色層的消失后仍能緩和等離子體導致的對基材的 直接的影響，因此，防止了從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料。
[0023]另外，本發(fā)明的等離子體處理檢測指示器由于具有透明性包覆層，從而能緩和等 離子體導致的對基材的直接的影響，因而，還具有能夠防止基于等離子體處理的基材卷曲 的產生以及基材變色的產生這樣的優(yōu)異效果。
[0024]這些效果也在作為等離子體處理采用低壓等離子體和大氣壓等離子中的任意者 時獲得。
[0025] [基材] 本發(fā)明的指示器使用纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材作為基材?；牡男?狀沒有限定，通常為片狀或膜狀。
[0026] 本發(fā)明中使用的基材具有隱蔽配置指示器的場所的基底色的特性，纖維質基材通 常為不透明，著色顏料為所謂的隱蔽顏料。
[0027] 作為纖維質基材，可舉出例如：紙（優(yōu)質紙、銅版紙、合成紙）、纖維類(無紡布、織 布、其它的纖維片）、它們的復合材料等。作為合成紙，可舉出聚丙烯合成紙、聚乙烯合成紙 等合成樹脂纖維紙。
[0028] 作為用于合成樹脂基材的樹脂，可舉出例如:聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯(對苯二甲酸 乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亞胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙 烯腈等合成樹脂。這些合成樹脂可以單獨使用或混合使用2種以上。這些合成樹脂中，特別 優(yōu)選聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚乙烯、聚酰亞胺及聚丙烯中的至少1 種。
[0029] 作為合成樹脂基材中含有的著色顏料，只要可以隱蔽配置指示器的場所的基底 色，就沒有特別限定，可以根據指示器的使用條件而適當設定著色顏料的種類及添加量。作 為著色顏料的種類，例如，在將基材設為白色的情況下，可舉出二氧化鈦、碳酸鈣、氧化鋅等 著色顏料。作為著色顏料的粒徑，為0.1~1〇μπι左右。一般而言，可以廣泛使用市售品的著色 合成樹脂片。
[0030] 基材的厚度沒有限定，優(yōu)選為0.1~0.5mm左右。
[0031][樹脂系或無機系的透明性包覆層] 本發(fā)明的指示器具有包覆上述基材的變色層層疊面的全部的樹脂系或無機系的透明 性包覆層。由此，即使為未形成變色層的部分，也能緩和等離子體導致的對基材的直接的影 響（蝕刻作用），防止從基材以粉狀產生微細的纖維片或著色顏料。予以說明，如后所述，在 基材與透明性包覆層之間，根據需要可以設置在等離子體處理氛圍下不變色的非變色層。 以下，使用圖1及圖2的例示進行說明。
[0032] 圖1是在基材1的表面(一面）的一部分層疊了變色層3的方式，在基材1與變色層3 之間形成有包覆基材1的表面(一面)的全部的透明性包覆層2。圖2是在基材1的表面(一面） 的一部分層疊了變色層3的方式，在基材1與變色層3之間形成有包覆基材1的表面(一面)的 全部的透明性包覆層2,進一步在基材1與透明性樹脂層2之間重疊（同步)形成有與變色層3 相同形狀的非變色層4。另外，如圖1和圖2所示，"基材1與變色層3之間"是指，不僅直接夾持 在基材1與變色層3之間的區(qū)域，還包括基材1的表面的未層疊變色層3的區(qū)域。
[0033] 在形成包覆基材的透明性包覆層時，可舉出例如在基材表面(在形成非變色層的 情況下為基材及非變色層的表面）1)層壓成為透明性包覆層的樹脂系或無機系的膜的方 法、或2)涂布用于形成樹脂系或無機系的透明性包覆層的涂液并使涂膜固化的方法等。
[0034] 關于上述1)層壓成為透明性包覆層的樹脂系或無機系的膜的方法，可舉出例如： 根據需要使用公知的粘接劑層壓聚丙烯、聚氯乙烯、聚酯（聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚萘二 甲酸乙二醇酯等）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚酰亞胺、聚酰胺、聚碳酸酯、聚丙烯腈等樹脂系的 膜、或玻璃等無機系的膜的方法。粘接劑的種類或使用量可以根據基材及透明性包覆層的 材質而適當選擇。
[0035] 關于上述2)涂布用于形成樹脂系或無機系的透明性包覆層的涂液并使涂膜固化 的方法，例如根據涂液或固化方法的種類，可舉出下述的蒸發(fā)干燥型、乳劑型、氧化聚合型、 熱固化型、光固化型等。予以說明，在下述的方式中涂布條件及固化條件沒有限定，可以根 據透明性包覆層的所期望的厚度及涂液的種類而適當設定。
[0036] 作為蒸發(fā)干燥型，可舉出例如將在石油系溶劑、芳香族溶劑、脂肪族烴系溶劑、醇 系溶劑、酮系溶劑、酯系溶劑或水中溶解有松香、蟲膠、酪蛋白、松香-馬來酸樹脂、醇酸樹 月旨、纖維素衍生物、石油樹脂、低分子聚乙烯、聚苯乙烯、聚醋酸乙烯酯、氯乙烯-醋酸乙烯酯 共聚物、聚丙烯酸酯系共聚物、改性橡膠、聚乙烯醇、聚乙烯基吡咯烷酮等的1種或2種以上 的溶液等涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。此外，也可以舉出將硅酸鈉的水溶液(水 玻璃)涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。
[0037]作為乳劑型，可舉出例如將聚醋酸乙烯酯系、苯乙烯-丁二烯系、丙烯酸系的乳劑 涂布于基材上，并使其干燥固化的方法。
[0038]作為氧化聚合型，可舉出例如將聚合亞麻籽油、桐油、脫水蓖麻油等干性油及大豆 油改性醇酸樹脂、椰油改性醇酸樹脂、亞麻籽油改性醇酸樹脂等油改性醇酸樹脂等涂布于 基材上，并使其氧化聚合固化的方法。
[0039] 作為熱固化型，可舉出例如將環(huán)氧樹脂、醇酸樹脂、丙烯酸樹脂、二甲苯樹脂、胍胺 樹脂、酚醛樹脂、不飽和聚酯樹脂、聚氨酯樹脂、馬來酸樹脂、三聚氰胺樹脂、脲樹脂等涂布 于基材上，并使其熱固化的方法。
[0040] 作為光固化型，可舉出例如將光聚合性丙烯酸系樹脂、光固化性環(huán)氧樹脂等、水溶 性合成樹脂涂料水溶性醇酸樹脂、水溶性三聚氰胺樹脂、水溶性脲樹脂、水溶性酚醛樹脂、 水溶性丙烯酸樹脂、水溶性環(huán)氧樹脂、水溶性聚丁二烯樹脂等涂布于基材上，并使其光固化 的方法。
[0041] 其中，特別優(yōu)選聚酯系樹脂、熱固化樹脂或光固化樹脂。
[0042]透明性包覆層的厚度沒有限定，厚度優(yōu)選為5μπι以上，更優(yōu)選為8~30μπι左右。其中 優(yōu)選為10~25μηι左右。通過厚度為5μηι以上，可以更可靠地緩和等離子體對基材的直接的影 響。
[變色層]
[0043] 本發(fā)明的指示器在透明性包覆層上具有在使用了等離子體產生用氣體的等離子 體處理氛圍下變色的變色層。形成有變色層的區(qū)域相對于基材表面可以為一部分，也可以 為全部。相對于基材表面在一部分所形成的方式例示于圖1及圖2。予以說明，變色層可以層 疊于基材的一面或兩面，但通常如圖1及圖2所示，層疊于基材的一面。
[0044] 予以說明，在變色層的"變色"中，除顏色變化為其它顏色的變色之外，也包含顏色 褪色或消色的情況。另外，作為通過變色層的變化來確認等離子體處理的完成的方法，并不 限于通過變色層的變色而判斷的情況，也包含根據通過等離子體導致的蝕刻作用而變色層 緩慢地變薄，最終變色層消失來確認等離子體處理的完成的方法。在該情況下，為了在變色 層的消失后能夠準確地判斷在哪里形成變色層，以與變色層同步的方式在透明性包覆層下 形成非變色層的方式是有用的（圖2)。
[0045] 在使用了上述等離子體產生用氣體的等離子體處理氛圍下變色的變色層可以通 過涂布含有因在等離子體處理氛圍下化學結構變化而變色的著色劑(本說明書中稱為"變 色色素"）的油墨組合物并使其干燥來形成。該油墨組合物可以廣泛地使用公知的油墨組合 物，例如可以優(yōu)選使用含有下述的著色劑、粘合劑樹脂、表面活性劑、其它添加劑等的油墨 組合物。以下，對油墨組合物中所含的一般的成分例示地進行說明。 著色劑
[0046] 用于檢測等離子體的變色層沒有限定，例如可通過含有選自蒽醌系色素、偶氮系 色素、次甲基系色素、酞菁系色素、無色系色素(分子內具有內酯環(huán)的色素）、亞硝基色素、硝 基色素、冰染系色素(azoic dyes，重氮組分）、冰染系色素(偶聯(lián)組分）、均二苯代乙烯系色 素、類胡蘿卜素系色素、二芳基甲燒系色素、三芳基甲燒系色素、咕噸系色素、吖啶系色素、喹 啉系色素、噻唑系色素、吲達胺系色素、靛酚系色素、吖嗪系色素、噁嗪系色素、噻嗪系色素、 硫化系色素、內酯系色素、羥基酮系色素、氨基酮系色素、靛藍系色素、天然系色素及氧化系 色素所構成的組中的1種著色劑(變色色素）的油墨組合物適當?shù)匦纬?。上述色?也包含染 料)為通過在等離子體處理氛圍下化學結構變化而變色的變色色素，可以使用1種或混合使 用2種以上。這些變色色素中，優(yōu)選為蒽醌系色素、偶氮系色素、次甲基系色素、酞菁系色素 中的至少1種。
[0047] 蒽醌系色素只要以蒽醌為基本骨架，就沒有限定，也可以使用公知的蒽醌系分散 染料等。特別優(yōu)選具有氨基的蒽醌系色素。更優(yōu)選為具有第一氨基及第二氨基的至少1種氨 基的蒽醌系色素。該情況下，各氨基可以具有2個以上，這些物質可以相互同種或不同。
[0048] 更具體而言，可以舉出例如：1，4-二氨基蒽醌(C. I.分散紫1 )、1 -氨基-4-羥基-2-甲基氨基蒽醌(C.I.分散紅4)、1_氨基-4-甲基氨基蒽醌(C.I.分散紫4)、1，4_二氨基-2-甲 氧基蒽醌(C.I.分散紅11)、1_氨基-2-甲基蒽醌(C.I.分散橙11)、1_氨基-4-羥基蒽醌(C.I. 分散紅15)、1，4，5，8-四氨基蒽醌(C. I.分散藍1)、1，4-二氨基-5-硝基蒽醌(C. I.分散紫8) 等(括弧內為顏色指數(shù)名）。
[0049]除此之外，也可以使用作為C.I.溶劑藍14、C.I.溶劑藍35、C.I.溶劑藍63、C.I.溶 劑紫13、C.I.溶劑紫14、C.I.溶劑紅52、C.I.溶劑紅114、C.I.還原藍21、C.I.還原藍30、C.I. 還原紫15、C.I.還原紫17、C.I.還原紅19、C.I.還原紅28、C.I.酸性藍23、C.I.酸性藍80、 C. I.酸性紫43、C. I.酸性紫48、C. I.酸性紅81、C. I.酸性紅83、C. I.活性藍4、C. I.活性藍19、 C.I.分散藍7等已知的色素。
[0050] 這些蒽醌系色素可以單獨使用或并用2種以上。這些蒽醌系色素中，優(yōu)選C.I分散 藍7、C.I分散紫1等。另外，本發(fā)明中，也可以通過改變這些蒽醌系色素的種類(分子結構等） 而進行檢測靈敏度的控制。
[0051] 偶氮系色素只要具有偶氮基-N=N-作為顯色團，就沒有限定。可舉出例如:單偶氮 色素、多偶氮色素、金屬絡鹽偶氮色素、均二苯代乙烯偶氮色素、噻唑偶氮色素等。更具體而 言，如果用顏色指數(shù)名記載，則可以舉出：C. I.溶劑紅1、C. I.溶劑紅3、C. I.溶劑紅23、C. I. 分散紅13、C. I.分散紅52、C. I.分散紫24、C. I.分散藍44、C. I.分散紅58、C. I.分散紅88、 C. I.分散黃23、C. I.分散橙1、C. I.分散橙5、C. I.分散紅167:1等。這些物質可以使用1種或2 種以上。
[0052]作為次甲基系色素，只要是具有次甲基的色素即可。因此，在本發(fā)明中，聚次甲基 系色素、花青系色素等也包含在次甲基系色素中。這些物質可以從公知或市售的次甲基系 色素中適當采用。具體而言，可以舉出：C.I.堿性紅12、C.I.堿性紅13、C.I.堿性紅14、C.I. 堿性紅15、C. I.堿性紅27、C. I.堿性紅35、C. I.堿性紅36、C. I.堿性紅37、C. I.堿性紅45、 C. I.堿性紅48、C. I.堿性黃11、C. I.堿性黃12、C. I.堿性黃13、C. I.堿性黃14、C. I.堿性黃 21、C. I.堿性黃22、C. I.堿性黃23、C. I.堿性黃24、C. I.堿性紫7、C. I.堿性紫15、C. I.堿性紫 16、(：.1.堿性紫20、(：.1.堿性紫21、(：.1.堿性紫39、(：.1.堿性藍62、(：.1.堿性藍63等。這些物 質可以使用1種或2種以上。
[0053] 作為酞菁系色素，只要是具有酞菁結構的色素，就沒有限定?？梢耘e出例如：藍色 的銅酞菁、呈現(xiàn)帶綠色的藍色的無金屬酞菁、綠色的高氯化酞菁、呈現(xiàn)帶黃色的綠色的低氯 化酞菁(溴化氯化銅酞菁)等。具體而言，可以舉出：C.I.顏料綠7、C.I.顏料藍15、C.I.顏料 藍15:3、C.I.顏料藍15:4、C.I.顏料藍15:6、C.I.顏料藍16、C.I.顏料綠36、C.I.直接藍86、 C.I.堿性藍140、C.I.溶劑藍70等。這些物質可以使用1種或2種以上。
[0054] 除上述一般的酞菁系色素以外，也可以利用具有鋅、鐵、鈷、鎳、鉛、錫、錳、鎂、硅、 鈦、釩、鋁、銥、鉑及釕的至少1種作為中心金屬，將這些中心金屬配位于酞菁的化合物;進而 以在上述中心金屬中鍵合有氧或氯的狀態(tài)配位于酞菁的化合物等。
[0055] 上述著色劑的含量可以根據著色劑的種類、所期望的色相等而適當確定，但通常 優(yōu)選在油墨組合物中設為0.05~5重量％左右，特別是0.1~1重量％。
[0056] 本發(fā)明中，也可以使上述著色劑以外的色素或顏料并存。特別是也可以含有在等 離子體處理氛圍下化學結構沒有變化的著色劑(本說明書中稱為"非變色色素"）。由此，可 以根據從某種顏色向其它顏色的色彩的變化進一步提高視認效果。作為非變色色素，可以 使用公知的油墨(普通色油墨）。該情況下的非變色色素的含量只要根據非變色色素的種類 等適當設定即可。予以說明，在非變色色素中也包含在等離子體處理氛圍下化學結構沒有 變化的顏料。
[0057]油墨組合物除上述著色劑之外，優(yōu)選含有粘合劑樹脂、非離子系表面活性劑、陽離 子系表面活性劑及增量劑中的至少1種。
[0058] 粘合劑樹脂 作為粘合劑樹脂，只要根據油墨組合物的涂布面(透明性包覆層）的種類適當選擇即 可，可以直接采用例如筆記用、印刷用等油墨組合物中使用的公知的樹脂成分。具體而言， 可以舉出例如：馬來酸樹脂、酮樹脂、烷基酚醛樹脂、松香改性樹脂、聚乙烯基醇縮丁醛樹 月旨、纖維素系樹脂、聚酯系樹脂、苯乙烯馬來酸樹脂、苯乙烯丙烯酸樹脂、丙烯酸系樹脂等。 上述粘合劑樹脂可以使用1種或2種以上。
[0059] 本發(fā)明中，可以特別優(yōu)選使用纖維素系樹脂。通過使用纖維素系樹脂，即使在油墨 組合物中含有增量劑(二氧化硅等），也能夠得到優(yōu)異的定影性，可以有效地防止從透明性 包覆層的脫落、剝離等。另外，可以通過在油墨組合物的涂膜表面有效地產生多個裂縫而有 助于指示器的靈敏度提高。
[0060] 本發(fā)明中，作為粘合劑樹脂的一部分或全部，除上述舉出的樹脂以外，可以使用含 氮高分子。含氮高分子除作為粘合劑的作用之外，發(fā)揮作為靈敏度強化劑的作用。即，通過 使用靈敏度強化劑，可以進一步提高等離子體處理檢測的精度(靈敏度）。
[0061] 含氮高分子可以優(yōu)選使用例如聚酰胺樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚丙烯腈樹脂、氨基樹 月旨、聚丙烯酰胺、聚乙烯基吡咯烷酮、聚乙烯基咪唑、聚乙烯亞胺等合成樹脂。這些物質可以 使用1種或2種以上。本發(fā)明中，優(yōu)選使用聚乙烯基吡咯烷酮。聚酰胺樹脂的種類、分子量等 沒有特別限定，可以使用公知或市售的聚酰胺樹脂。其中，可以優(yōu)選使用作為亞油酸的二聚 物和二胺或多胺的反應產物(長鏈線狀聚合物)的聚酰胺樹脂。聚酰胺樹脂為分子量4000~ 7000的熱塑性樹脂。這種樹脂也可以使用市售品。
[0062] 粘合劑樹脂的含量可以根據粘合劑樹脂的種類、使用的著色劑的種類等而適當確 定，但通常在油墨組合物中優(yōu)選設為50重量％左右以下，特別是5~35重量％。在使用含氮 高分子作為粘合劑樹脂的情況下，油墨組合物中的含氮高分子的含量優(yōu)選設為0.1~50重 量％左右，特別是1~20重量％。
[0063] 非離子系表面活性劑 非離子系表面活性劑作為變色促進劑起作用，通過與著色劑并用，可以得到更優(yōu)異的 檢測靈敏度。
[0064] 作為非離子系表面活性劑，使用通式(I)~(V)表示的非離子系表面活性劑的至少 1種。
[0065] 由下述通式（I)表示的非離子系表面活性劑為亞烷基二醇衍生物。
[0066] 【化學式1】 (I) Ri-X-(A0)n-R2
[0067] [其中，上述通式中，RlSR2分別獨立地表示氫、碳原子數(shù)1~30的直鏈或支鏈的脂 肪族烴基。X表示氧或酯鍵。A0表示來自環(huán)氧化物的重復單元。η表示1~200的整數(shù)。]
[0068] 另外，由下述通式(II)表示的非離子系表面活性劑為聚甘油衍生物。
[0069] 【化學式2】
[0070] [其中，上述通式中，辦、1?2及1?3分別獨立地表示氫、碳原子數(shù)1~30的直鏈或支鏈的 脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。η表示1~200的整數(shù)。]
[0071] 上述通式（I)中，作為Α0(單體），可舉出環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1，2_環(huán)氧丁烷、2,3_ 環(huán)氧丁烷、四氫呋喃、環(huán)氧苯乙烷等，作為Α0的聚合形態(tài)，可舉出均聚物、由2種以上的Α0構 成的嵌段共聚物或無規(guī)共聚物。另外，通式（I)及（II)中，碳原子數(shù)為1~30當中，優(yōu)選碳原 子數(shù)為1~22,更優(yōu)選碳原子數(shù)為10~18，Χ優(yōu)選為氧，η優(yōu)選為1~100的整數(shù)。
[0072] 作為符合上述通式（I)或（II)的非離子系表面活性劑，具體而言，可舉出聚乙烯二 醇（作為市售品的"PEG2000"等）（三洋化成工業(yè)株式會社制）、甘油、聚乙烯二醇-聚丙烯二 醇共聚物(作為市售品的"Epan 710"等）（第一工業(yè)制藥株式會社制)等。
[0073]另外，上述中，還可舉出心及此的至少一個被碳原子數(shù)1~30的直鏈或支鏈的脂肪 族烴基取代的聚合物作為優(yōu)選的非離子系表面活性劑。
[0074]具體而言，可舉出：聚氧乙烯（以下為Ρ0Ε)月桂基醚（作為市售品的"Emulgen 109P"等）、Ρ0Ε鯨蠟醚（作為市售品的"Emulgen 220"等）、Ρ0Ε油基醚（作為市售品的 "Emulgen 404"等）、Ρ0Ε硬脂基醚(作為市售品的"Emulgen 306"等）、Ρ0Ε烷基醚(作為市售 品的"Emu 1 g e n L S -110"）（以上，花王株式會社制）、P0E十三烷基醚（作為市售品的 "Finesurf TD-150"等）、單硬脂酸聚乙稀二醇(作為市售品的"Blaunon S-400A"等）（以上 為青木油脂工業(yè)株式會社制）、單油酸聚乙烯二醇(作為市售品的"非離子0-4"等）、四亞甲 基二醇衍生物（作為市售品的"Porisen DC-1100"等）、聚丁二醇衍生物（作為市售品的 "Uniol PB-500"等）、亞烷基二醇衍生物(作為市售品的"Unilube 50MB-5"等）（以上為日油 株式會社制）等）、P0E(20)辛基十二烷基醚(作為市售品的"Emalex 0D-20"等）、P0E(25)辛 基十二烷基醚(作為市售品的"Emalex 0D-25"等）（以上為日本EMULSION株式會社制)等。
[0075]由下述通式（III)及（IV)表示的非離子系表面活性劑為亞烷基二醇甘油酯衍生 物。
[0076]【化學式3】
[0077][其中，上述通式中，辦、1?2及1?3分別獨立地表示氫、碳原子數(shù)1~30的直鏈或支鏈的 脂肪族烴基。A0表示來自環(huán)氧化物的重復單元。a+b+c表示3~200的整數(shù)。]
[0078] 上述兩通式中，作為A0(單體），可舉出環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1，2-環(huán)氧丁烷、2，3-環(huán) 氧丁烷、四氫呋喃、環(huán)氧苯乙烷等，作為A0的聚合形態(tài)，可舉出均聚物、由2種以上的A0構成 的嵌段共聚物或無規(guī)共聚物。另外，兩通式中，碳原子數(shù)為1~30當中，優(yōu)選為碳原子數(shù)1~ 22,更優(yōu)選為碳原子數(shù)10~18，a+b+c優(yōu)選為3~50的整數(shù)。
[0079] 作為符合上述通式（III)的非離子系表面活性劑，可舉出例如心為異硬脂酸殘基、 R2及R3為氫、A0(單體)為環(huán)氧乙烷的化合物，具體而言，可舉出異硬脂酸Ρ0Ε甘油酯(作為市 售品的"UNIOX GM-30IS"等）（日油株式會社制）。
[0080] 作為符合上述通式（IV)的非離子系表面活性劑，可舉出例如Ri~R3為異硬脂酸殘 基、A0(單體)為環(huán)氧乙烷的化合物，具體而言，可舉出三異硬脂酸Ρ0Ε甘油酯(作為市售品的 "UNIOX GT-30IS"等）（日油株式會社制）。
[0081] 由下述通式(V)表示的非離子系表面活性劑為乙炔二醇衍生物。
[0082] 【化學式4】 (V) Ri-X-(AO) p-R2-C=C-R3 = X-(AO) q-R4
[0083] [其中，上述通式中，及R4分別獨立地表示氫、碳原子數(shù)1~30的直鏈或支 鏈的脂肪族烴基。X表示氧或酯鍵。A0表示來自環(huán)氧化物的重復單元。p+q表示0~20的整 數(shù)。]
[0084] 上述通式(V)中，作為A0(單體），可舉出環(huán)氧乙烷、環(huán)氧丙烷、1，2_環(huán)氧丁烷、2,3_ 環(huán)氧丁烷、四氫呋喃、環(huán)氧苯乙烷等，作為A0的聚合形態(tài)，可舉出均聚物、由2種以上的A0構 成的嵌段共聚物或無規(guī)共聚物。另外，通式（I)及（II)中，碳原子數(shù)為1~30當中，優(yōu)選為碳 原子數(shù)1~22，X優(yōu)選為氧，p+q優(yōu)選為0~10的整數(shù)。
[0085] 作為符合上述通式(V)的非離子系表面活性劑，可舉出例如心及以為氫、1?2及1?3為 >C(CH3)(i-C4H9)、X為氧、且p+q = 0的化合物，具體而言，可舉出2,4,7,9-四甲基-5-癸炔-4,7-二醇（作為市售品的"Surfynol 104H"等）（Air Products Japan株式會社制）。
[0086]這些通式（I)~（V)表示的非離子系表面活性劑可以單獨使用或混合使用2種以 上。
[0087]非離子系表面活性劑的含量可以根據其種類及使用的著色劑的種類等而適當確 定，考慮組合物中的保存性及變色促進效果，一般而言，在油墨組合物中優(yōu)選設為0.2~10 重量％左右，特別是0.5~5重量％。
[0088] 陽離子系表面活性劑 作為陽離子系表面活性劑，沒有特別限制，特別優(yōu)選使用四烷基銨鹽、異喹啉鑰鹽、咪 唑鑰鹽及吡啶鑰鹽中的至少1種。這些物質也可以使用市售品。通過將陽離子系表面活性劑 與上述的著色劑并用，可以得到更優(yōu)異的檢測靈敏度。上述陽離子系表面活性劑可以使用1 種或2種以上。
[0089]四烷基銨鹽中，優(yōu)選烷基三甲基銨鹽、二烷基二甲基銨鹽等。具體而言，可舉出：氯 化椰烷基三甲基銨、牛脂烷基三甲基氯化銨、山?；谆然@、十四烷基三甲基氯化 銨、四甲基氯化銨、四丁基氯化銨、四丙基氯化銨、四甲基溴化銨、四丁基溴化銨、四丙基溴 化銨、三甲基-2-羥基乙基氯化銨、十六烷基三甲基氯化銨、月桂基三甲基氯化銨、硬脂基三 甲基氯化銨、二辛基二甲基氯化銨、二硬脂基二甲基氯化銨、烷基芐基二甲基氯化銨等。特 別優(yōu)選山崳基三甲基氯化銨、月桂基三甲基氯化銨等。
[0090] 作為異卩奎琳鐵鹽，可舉出例如：月桂基異卩奎琳鐵漠化物、十八烷基異卩奎琳鐵漠化 物、十八烷基異卩奎琳鐵氣化物、月桂基異卩奎琳鐵氣化物等。其中，特別優(yōu)選月桂基異卩奎琳鐵 溴化物。
[0091] 作為咪唑鑰鹽，可舉出例如1-羥基乙基-2-油基咪唑鑰氯化物、2-氯-1，3-二甲基 咪唑鑰氯化物等。其中，特別優(yōu)選2-氯-1，3-二甲基咪唑鑰氯化物。
[0092] 作為P比陡鐵鹽，可舉出例如：啦陡鐵氣化物、1-乙基P比陡鐵漠化物、十八烷基P比陡 鑰氯化物、十六烷基吡啶鑰氯化物、1-丁基吡啶鑰氯化物、N-正丁基吡啶鑰氯化物、十六烷 基P比陡鐵漠化物、N -十八烷基P比陡鐵漠化物、I-十二烷基P比陡鐵氣化物、3-甲基己基P比陡鐵 氯化物、4-甲基己基吡啶鑰氯化物、3-甲基辛基吡啶鑰氯化物、2-氯-1-甲基吡啶鑰碘化物、 3，4-二甲基丁基吡啶鑰氯化物、吡啶鑰-正十六烷基氯化物-水合物、N-(氰基甲基）吡啶鑰 氯化物、N-丙酮基吡啶鑰溴化物、1-(氨基甲?；谆┻拎よ€氯化物、2-脒基吡啶鑰氯化 物、2-氨基吡啶鑰氯化物、N-氨基吡啶鑰碘化物、1-氨基吡啶鑰碘化物、1-丙酮基吡啶鑰氯 化物、N -丙酬基啦陡鐵漠化物等。其中，特別優(yōu)選十八烷基啦陡鐵氣化物。
[0093] 陽離子系表面活性劑的含量可以根據上述表面活性劑的種類、使用的著色劑的種 類等而適當確定，但通常在油墨組合物中優(yōu)選設為0.2~10重量％左右，特別優(yōu)選設為0.5 ~5重量％。
[0094] 增量劑 作為增量劑，沒有特別限制，可以舉出例如膨潤土、活性白土、氧化鋁、二氧化硅、硅膠 等無機材料。除此之外，可以使用作為公知的體質顏料已知的材料。其中，優(yōu)選為二氧化硅、 硅膠及氧化鋁中的至少1種。特別更優(yōu)選為二氧化硅。在使用二氧化硅等的情況下，特別是 可以在變色層表面有效地產生多個裂縫。其結果，可以進一步提高指示器的檢測靈敏度。上 述增量劑可以使用1種或2種以上。
[0095] 增量劑的含量可以根據使用的增量劑或著色劑的種類等而適當確定，但通常在油 墨組合物中優(yōu)選設為1~30重量％左右，特別是2~20重量％。
[0096] 其它的添加劑 油墨組合物可以根據需要適當配合溶劑、光聚合引發(fā)劑、流平劑、消泡劑、紫外線吸收 劑、表面調整劑等公知的油墨中所使用的成分。
[0097] 作為可以在本發(fā)明中使用的溶劑，通常只要是印刷用、筆記用等油墨組合物中使 用的溶劑，則均可以使用。例如可以使用醇或多元醇系、酯系、醚系、酮系、烴系、二醇醚系等 各種溶劑，只要根據使用的色素、粘合劑樹脂的溶解性等適當選擇即可。上述溶劑可以使用 1種或2種以上。
[0098] 溶劑的含量可以根據使用的溶劑或著色劑的種類等而適當確定，但通常在油墨組 合物中優(yōu)選設為40~95重量％左右，特別是60~90重量％。
[0099] 作為本發(fā)明中能夠使用的光聚合引發(fā)劑，只要是作為提高在等離子體處理氛圍下 變色層所含的各種色素(也包含染料）的變色速度的變色促進劑起作用，就沒有特別限定。 通過并用這樣的光聚合引發(fā)劑，能夠得到優(yōu)異的檢測靈敏度，并且通過調整光聚合引發(fā)劑 的含量，還能夠控制變色速度。
[0100] 光聚合引發(fā)劑作為變色促進劑起作用的原理雖然并不詳細，但光聚合引發(fā)劑被認 為通過在等離子體處理氛圍下產生自由基而使色素結構變化(部分分解、鍵結切斷等），進 而發(fā)揮變色促進效果。
[0101] 作為光聚合引發(fā)劑，雖沒有限定，但優(yōu)選為例如:選自烷基苯酮系光聚合引發(fā)劑、 ?；趸⑾倒饩酆弦l(fā)劑、茂鈦系光聚合引發(fā)劑、苯乙酮系光聚合引發(fā)劑、二苯甲酮系光 聚合引發(fā)劑、硫雜蒽酮系光聚合引發(fā)劑、陽離子系光聚合引發(fā)劑及陰離子系光聚合引發(fā)劑 所構成的組中的至少1種。這些光聚合引發(fā)劑中，優(yōu)選為烷基苯酮系光聚合引發(fā)劑及?；?化膦系光聚合引發(fā)劑中的至少一種。
[0102] 光聚合引發(fā)劑的含量雖可根據其種類及所使用的色素種類等適當決定，但考慮油 墨組合物中的保存性及變色促進效果，一般為油墨組合物中約0.05~20重量％，特別優(yōu)選 為1~10重量％。光聚合引發(fā)劑的含量超過20重量％的情況下，無法于油墨組合物中完全溶 解而有殘留的可能性，此外，光聚合引發(fā)劑的含量不足0.05重量％的情況下，可能無法充分 發(fā)揮變色促進效果。
[0103] 本發(fā)明中的油墨組合物的各成分只要同時或依次配合并使用均質機、溶解棒等公 知的攪拌機均勻地混合即可。例如，首先在溶劑中依次配合上述著色劑、以及粘合劑樹脂、 陽離子系表面活性劑及增量劑的至少1種(根據需要其它的添加劑），利用攪拌機進行混合、 攪拌即可。
[0104] 變色層的形成方法 變色層的形成可以使用上述油墨組合物、按照旋涂、狹縫涂敷、溶膠凝膠、噴霧、絲網印 刷、凹版印刷、膠版印刷、凸版印刷、柔性印刷等公知的印刷方法以及公知的涂布方法等來 進行。
[0105]變色層優(yōu)選在其表面具有多個裂縫。即，優(yōu)選在變色層的表面形成開放氣孔，并多 孔質化。根據上述的構成，可以進一步提高等離子體處理檢測的靈敏度。在該情況下，即使 在等離子體處理檢測指示器的內部配置變色層，也可得到所期望的變色效果。特別是可以 通過使用纖維素系樹脂作為本發(fā)明中的油墨組合物的粘合劑樹脂而有效地形成裂縫。即， 通過纖維素系樹脂的使用，可以維持良好的定影性，并且形成如上所述的裂縫。
[0106] 變色層的厚度沒有限定，通常為1~ΙΟμπι左右。
[0107][非變色層] 本發(fā)明中，可以在基材與透明性包覆層之間形成含有在等離子體處理氛圍下化學結構 沒有變化的非變色色素的非變色層。將非變色層與變色層不同地設置的方式可以與在變色 層中除變色性色素之外還添加非變色性色素的方式進行二者擇一的選擇，但只要是在基材 與透明性包覆層之間形成非變色層的方式，就可以緩和等離子體的影響導致的非變色層的 脫色(蝕刻作用導致的物理脫色）的影響，因此，本發(fā)明中，優(yōu)選與變色層不同地在基材和透 明性樹脂層之間形成非變色層的方式。
[0108] 非變色層通?？梢酝ㄟ^市售的普通色油墨來形成?？梢允褂美缢杂湍?、油性 油墨、無溶劑型油墨等。在用于非變色層的形成的油墨中，也可以含有公知的油墨中所配合 的成分例如樹脂粘合劑、增量劑、溶劑等。
[0109] 非變色層的形成與變色層的情況同樣地操作即可。例如，可以使用普通色油墨，按 照絲網印刷、凹版印刷、膠版印刷、凸版印刷、柔性印刷等公知的印刷方法來進行。
[0110] 本發(fā)明中，只要能夠確認等離子體處理的完成，則也可以將變色層和非變色層任 意組合。例如也可以按照通過變色層的變色而開始能夠識別變色層與非變色層的色差的方 式形成變色層及非變色層，或者按照通過變色而開始變色層與非變色層的色差消失的方式 形成。此外，也可以通過變色層因等離子體的蝕刻作用而緩慢地變薄、最終變色層消失而非 變色層露出來確認等離子體處理的完成。本發(fā)明中，特別優(yōu)選按照通過變色開始能夠識別 變色層和非變色層的色差的方式形成變色層及非變色層。
[0111] 在要想能夠識別色差的情況下，例如只要按照通過變色層的變色開始出現(xiàn)文字、 式樣及記號中的至少1種的方式形成變色層及非變色層即可。本發(fā)明中，文字、式樣及記號 包含顯現(xiàn)變色的全部的信息。這些文字等只要根據使用目的等適當設計即可。
[0112] 另外，也可以將變色前的變色層和非變色層設為相互不同的顏色。例如也可以將 兩者設為實質上相同顏色，變色后開始能夠識別變色層與非變色層的色差(對比度）。
[0113] 本發(fā)明的指示器只要是使用等離子體產生用氣體的等離子體處理，則均可以適 用。即，可以適用于低壓等離子體處理和大氣壓等離子體處理這兩者。
[0114]作為低壓等離子體處理的具體例，可舉出例如，平板顯示器(液晶顯示器等）的制 膜、灰化、清洗、表面改質等用途;半導體制造工序中的制膜、灰化、清洗、表面改質等用途； 安裝基板或印刷電路板的清洗、表面改質等的用途;醫(yī)療器具等的殺菌用途;安裝部件的清 洗、表面改質等用途等。
[0115] 此外，作為大氣壓等離子體處理的具體例，可舉出例如：平板顯示器(液晶顯示器 等）的清洗、表面改質等用途;安裝基板或印刷電路板的清洗、表面改質等用途;汽車、航空 機部件等的表面改質用途、醫(yī)療領域(牙科或外科)的消毒、殺菌、治療等用途等。
[0116] 作為低壓等離子體產生用氣體，只要是通過在低壓下施加交流電壓、脈沖電壓、高 頻、微波等能夠產生等離子體的氣體，就沒有限定，可舉出例如氧氣、氮氣、氫氣、氯氣、過氧 化氫、氦氣、氬氣、硅烷、氨氣、溴化硫、水蒸氣、一氧化二氮、四乙氧基硅烷、四氟化碳、三氟 甲烷、四氯化碳、四氯化硅、六氟化硫、四氯化鈦、二氯硅烷、三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁 等。這些低壓等離子體產生用氣體可以單獨使用或將2種以上混合使用。
[0117] 作為大氣壓等離子體產生用氣體，只要是通過在大氣壓下施加交流電壓、脈沖電 壓、高頻、微波等而能夠產生等離子體的氣體，就沒有限定，可舉出例如氧氣、氮氣、氫氣、氬 氣、氦氣、空氣等。這些大氣壓等離子體產生用氣體可以單獨使用或將2種以上混合使用。
[0118] 使用本發(fā)明的指示器時，具體而言，只要在使用等離子體產生用氣體的等離子體 處理裝置(具體而言，通過在含有等離子體產生用氣體的氛圍下施加交流電壓、脈沖電壓、 高頻、微波等而產生等離子體來進行等離子體處理的裝置）的內部或容納于該內部的被處 理物中放置本發(fā)明指示器、并使其暴露于等離子體處理氛圍下即可。該情況下，能夠檢測通 過放置于裝置內的指示器的變色進行了規(guī)定的等離子體處理。 實施例
[0119] 以下示出實施例及比較例，進一步明確本發(fā)明的特征。予以說明，本發(fā)明并不限制 于實施例的方式。
[0120] 實施例1 準備厚度188μπι的白色PET膜"東洋紡制、Crisper K2323"作為基材，在基材上利用非變 色層形成用油墨"SAKATAINX制、Diatone Ecopure SOY HP J"形成厚度ΙΟμπι的非變色層。
[0121] 接著，在非變色層上干層壓厚度25μπι的PET膜"Lintec制、PET25APL·^，由此形 成樹脂系的透明性包覆層。
[0122] 接著，在透明性包覆層上使用變色層形成用油墨A形成厚度5μπι的變色層。
[0123] 經過以上的工序而制作指示器。 (變色層形成用油墨Α的組成）
[0124] 【表1】
[0125] 實施例2 準備厚度188μπι的白色PET膜"東洋紡制、Crisper K2323"作為基材，在基材上干層壓厚 度25μπι的PET膜"Lintec制、PET25A ，由此形成樹脂系的透明性包覆層。
[0126] 接著，在透明性包覆層上使用變色層形成用油墨B形成厚度5μπι的變色層。
[0127] 經過以上的工序而制作指示器。 (變色層形成用油墨Β的組成）
[0128] 【表2】
[0129] 實施例3 在實施例1中，利用聚酯樹脂溶液"Die制、Sandoma"形成樹脂系的透明性包覆層，除此 之外，與實施例1同樣地操作，制作指示器。具體而言，重復6次使用上述聚酯樹脂溶液進行 絲網印刷，由此形成厚度1〇μπι的透明性包覆層。
[0130] 實施例4 在實施例2中，利用聚酯樹脂溶液"DIC制、Sandoma"形成樹脂系的透明性包覆層，除此 之外，與實施例2同樣地操作，制作指示器。具體而言，重復6次使用上述聚酯樹脂溶液進行 絲網印刷，由此形成厚度1〇μπι的透明性包覆層。
[0131] 實施例5 在實施例1中，利用UV固化型樹脂溶液"十條化工制、Ρ7-彳"形成樹脂系 的透明性包覆層，除此之外，與實施例1同樣地操作，制作指示器。具體而言，重復6次使用上 述UV固化型樹脂溶液進行絲網印刷之后通過UV照射使其固化的操作，由此形成厚度ΙΟμπι的 透明性包覆層。
[0132] 實施例6 在實施例2中，利用UV固化型樹脂溶液"十條化工制、Ρ7-彳"形成樹脂系 的透明性包覆層，除此之外，與實施例2同樣地操作，制作指示器。具體而言，重復6次使用上 述UV固化型樹脂溶液進行絲網印刷之后通過UV照射使其固化的操作，由此形成厚度ΙΟμπι的 透明性包覆層。
[0133] 實施例7 在實施例1中，將樹脂系的透明性包覆層變更為無機系的透明性包覆層(玻璃），除此之 外，與實施例1同樣地操作，制作指示器。具體而言，使用3Μ制玻璃用粘著劑貼附厚度ΙΟμπι的 玻璃"松尾硝子工業(yè)制、C0VERGLASS"，由此形成透明性包覆層。
[0134] 實施例8 在實施例2中，將樹脂系的透明性包覆層變更為無機系的透明性包覆層(玻璃），除此之 外，與實施例2同樣地操作，制作指示器。具體而言，使用3M制玻璃用粘著劑貼附厚度ΙΟμπι的 玻璃"松尾硝子工業(yè)制、COVERGLASS"，由此形成透明性包覆層。
[0135] 比較例1 將在實施例1中不形成透明性包覆層的方式設為比較例1的指示器。
[0136] 比較例2 將在實施例2中不形成透明性包覆層的方式設為比較例2的指示器。
[0137] 試驗例1(等離子體處理) 將各實施例及比較例中制作的指示器設置于高頻等離子體裝置"SUMC0制、ΒΡ-1"，分別 使用"〇2氣體及CF4氣體的混合氣體"、"Ar氣體"產生使等離子體，通過肉眼觀察等離子體處 理后的基材的變化。
[0138] 觀察的結果是，將在基材表面沒有看到粉化的情況評價為〇，將在基材表面可看 到粉化的情況評價為X。將結果示于下述表3。 (使用混合氣體時的低壓等離子體處理條件） ?裝置:平行平板高頻等離子體裝置BP-1 (SUMC0制） ? 〇2 氣體：10ml/min，CF4 氣體:5ml/min ?功率:75W，壓力：lOOPa，功率距離：5〇mm ?處理時間：lOmin (使用Ar氣體時的低壓等離子體處理條件） ?裝置:平行平板高頻等離子體裝置BP-1 (SUMC0制） ? Ar 氣體：20ml/min ?功率：75W，壓力：2〇Pa，功率距離：5〇mm ?處理時間：30min
[0139] 【表3】
[0140] 由表3的結果可知:形成了樹脂系或無機系的透明性包覆層的本發(fā)明的指示器，在 等離子體處理后于基材表面沒有看到粉化，但沒有形成透明性包覆層的比較例的指示器， 在等離子體處理后于基材表面可看到粉化。
[0141] 另外，本發(fā)明的指示器在等離子體處理后未確認到基材卷曲的產生和基材變色， 但是，比較例的指示器在等離子體處理后確認到基材卷曲的產生和基材變色中的至少一 個。
[0142] 另外，試驗例1是低壓等離子體處理的情況下的結果，但是，即使在將等離子體處 理的種類改為大氣壓等離子體處理的情況下也能夠獲得相同的結果。 符號說明
[0143] 1.基材 2. 透明性包覆層 3. 變色層 4. 非變色層
【主權項】
1. 一種等離子體處理檢測指示器，其為在基材的表面的一部分或全部上至少層疊了變 色層的等離子體處理檢測指示器，所述變色層在等離子體處理氛圍下變色，其特征在于， (1) 所述基材為纖維質基材或含有著色顏料的合成樹脂基材， (2) 在所述基材與所述變色層之間具有樹脂系或無機系的透明性包覆層，所述透明性 包覆層包覆所述基材的所述表面的全部。2. 根據權利要求1所述的指示器，其中， 所述透明性包覆層的厚度為5μπι以上。3. 根據權利要求1或2所述的指示器，其中， 所述變色層除含有通過在等離子體處理氛圍下化學結構變化而變色的變色色素之外， 還含有在等離子體處理氛圍下化學結構沒有變化的非變色色素。4. 根據權利要求1~3中任一項所述的指示器，其中， 在所述基材與所述透明性包覆層之間具有非變色層，所述非變色層含有在等離子體處 理氛圍下化學結構沒有變化的非變色色素。5. 根據權利要求4所述的指示器，其中， 按照夾持所述透明性包覆層并以相同形狀重疊的方式，層疊所述非變色層和所述變色 層。
【文檔編號】H01L21/3065GK106030766SQ201580007914
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年2月12日
【發(fā)明人】森麻里萌
【申請人】株式會社櫻花彩色筆