。
[0039]圖2至3是顯示圖1所示等離子體處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的圖。
[0040]圖4是顯示圖1所示等離子體處理裝置的第I夾具組件的立體圖。
[0041]圖5是顯示圖1所示等離子體處理裝置的第2夾具組件的立體圖。
[0042]圖6是顯示本發(fā)明一實(shí)施例的等離子體處理裝置的盒的立體圖。
[0043]圖7至8是用于說明圖6所示等離子體處理裝置的盒的圖。
[0044]圖9至14是用于說明本發(fā)明一實(shí)施例的等離子體處理裝置的基板托盤的移送及固定作業(yè)的圖。
[0045]符號說明
[0046]100 一室，120 一上端壁部，122 一卡盤，140 一側(cè)端壁部，142 一天線，160 一下端壁部，180 —引導(dǎo)支撐部，182 —固定面板，184 —停止部，200 —第I夾具組件，220 —第I長度調(diào)節(jié)部，222 —缸，224 —活塞桿，240 —第I運(yùn)轉(zhuǎn)部，242 —第I連接臂，260 —第I支撐部，262 —第I夾具，264 一連接環(huán)，300 —第2夾具組件，320 —第2長度調(diào)節(jié)部，322 一缸，324 一活塞桿，340 —第2運(yùn)轉(zhuǎn)部，342 —第2連接臂，360 —第2支撐部，362 —第2夾具，364 一插入槽，366 一支撐槽，400 一盒模塊，420 一板，422 一支撐架，440 —放置架，442 —移送槽，460 —移送組件，462 —橡膠墊，464 —分散孔，W —基板托盤，a —等離子體生成空間。
【具體實(shí)施方式】
[0047]下面參照附圖，對本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的等離子體處理裝置進(jìn)行考查。
[0048]圖1是顯示本發(fā)明一實(shí)施例的等離子體處理裝置的圖，圖2至3是顯示圖1所示等離子體處理裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的圖，圖4是顯示圖1所示等離子體處理裝置的第I夾具組件的立體圖，圖5是顯示圖1所示等離子體處理裝置的第2夾具組件的立體圖。
[0049]另一方面，圖6是顯示本發(fā)明一實(shí)施例的等離子體處理裝置的盒的立體圖，圖7至8是用于說明圖6所示等離子體處理裝置的盒的圖。
[0050]圖9至14是用于說明本發(fā)明一實(shí)施例的等離子體處理裝置的基板托盤的移送及固定作業(yè)的圖。
[0051]如圖1所示，本發(fā)明的等離子體處理裝置包括:室100，其具備供等離子體生成的空間a，在上端壁部120的下端固定有卡盤122 ;第I夾具組件200，其安裝于所述室100的上端壁部120，配備有供基板托盤W安放的第I夾具262，配備得能夠在室100的內(nèi)部沿上下方向升降，從而當(dāng)上升運(yùn)轉(zhuǎn)時，使得基板托盤W接觸卡盤并固定；及第2夾具組件300，其安裝于所述室100的上端壁部120，配備有包圍所述第I夾具262和基板托盤W地形成的第2夾具362，配備得能夠在室100的內(nèi)部沿上下方向升降，從而使得在上升運(yùn)轉(zhuǎn)時，基板托盤W與第I夾具200 —同貼緊卡盤122。
[0052]在上端壁部120固定安裝有卡盤122，基板托盤W固定于上部，工程氣體從下端壁部160供應(yīng)，使得在室100內(nèi)的下部形成等離子體，在應(yīng)用這種方式的等離子體處理裝置中，本發(fā)明在上部固定有基板托盤W，在下部形成等離子體，因而具有使工序副產(chǎn)物的影響實(shí)現(xiàn)最小化的優(yōu)點(diǎn)，同時，在室100內(nèi)部堅(jiān)固地固定基板托盤W，使得基板托盤W的周邊工序環(huán)境均一，防止蝕刻過程中出錯。
[0053]所述室100可以在上端壁部120固定有卡盤122，工程氣體從下端壁部160向上方供應(yīng)，側(cè)端壁部140的上側(cè)連接有真空栗(圖中未示出)，下側(cè)連接有天線142。
[0054]參照圖1，本發(fā)明的室100在上端壁部120固定有卡盤122，工程氣體從下端壁部160向上方供應(yīng)，引入室100內(nèi)部的工程氣體借助配備于側(cè)端壁部140下側(cè)的天線142所供應(yīng)的高頻而解離，使得執(zhí)行基板托盤W的蝕刻。特別是在本發(fā)明中，在室100的側(cè)端壁部140，上側(cè)連接有真空栗(圖中未示出)，從而能夠防止當(dāng)真空栗(圖中未示出)連接于室100的下部時，工程氣體的分離的物質(zhì)接近位于室100下部的真空栗(圖中未示出)形成，因而，應(yīng)傳遞到基板托盤W側(cè)的工程氣體的分離的物質(zhì)被吸入真空栗(圖中未示出)，向基板托盤W側(cè)傳遞的物質(zhì)的量減少的問題。由此，可以充分形成基板托盤W的初始目標(biāo)的形狀，錯誤減少，品質(zhì)提尚。
[0055]另一方面，在本發(fā)明中，在室100的上端壁部120，安裝有能夠沿上下方向升降的第I夾具組件200，在第I夾具組件200中，配備有在室100內(nèi)供基板托盤W安放的第I夾具262。這種第I夾具組件200使得在上升運(yùn)轉(zhuǎn)時，安放于第I夾具262的基板托盤W接觸卡盤122，位置被固定。
[0056]而且，在室100的上端壁部120，獨(dú)立于第I夾具組件200，安裝有能夠沿上下方向升降的第2夾具組件300。在這種第2夾具組件300中，配置有在室100內(nèi)一同包圍第I夾具262與基板托盤W地形成的第2夾具362，當(dāng)上升運(yùn)轉(zhuǎn)時，基板托盤W與第I夾具262 —同貼緊卡盤122。
[0057]本發(fā)明如圖1至3依次所示，通過第I夾具組件200，基板托盤W —次固定于卡盤122，借助于第2夾具組件300，二次加壓，從而基板托盤W可以完全固定，使得不在卡盤122中發(fā)生晃動。
[0058]如果針對在所述的室100內(nèi)固定基板托盤W的本發(fā)明的夾具組件進(jìn)行具體說明，那么，第I夾具組件200可以包括:第I長度調(diào)節(jié)部220，其固定安裝于所述室100的上端壁部120上端，長度沿上下方向可變；第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240，其位于所述第I長度調(diào)節(jié)部220的上偵牝連接有第I長度調(diào)節(jié)部220，借助于第I長度調(diào)節(jié)部220而上下移動；第I支撐部260，其從所述第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240向下方延長，貫通室100的上端壁部120，在延長的末端，配備在室100的內(nèi)部供基板托盤W安放的第I夾具262。
[0059]S卩，如圖4所示，第I夾具組件200配備有第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240，所述第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240連接于配備得長度沿上下可變的第I長度調(diào)節(jié)部220并向上下移動，第I長度調(diào)節(jié)部220運(yùn)轉(zhuǎn)時，隨著第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240向上下移動，連接于其的第I支撐部260向上下移動。其中，在第I支撐部260，配備有在室100內(nèi)部供基板托盤W安放的第I夾具262，從而當(dāng)?shù)贗支撐部260上升運(yùn)轉(zhuǎn)時，第I夾具262朝向室100內(nèi)的卡盤122向上方移動，使得接觸卡盤122。因此，安放于第I夾具262的基板托盤W在室100的上部，位置固定于卡盤122與第I夾具262之間。
[0060]詳細(xì)而言，所述第I長度調(diào)節(jié)部220可以包括:缸222，其固定于室100上端壁部120 ;活塞桿224，其配備得在缸222中沿上下方向升降，供第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240連接。如圖1所示，第I長度調(diào)節(jié)部220的缸222固定安裝于室100，在缸222中沿上下方向移動的活塞桿224連接于第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240，從而，如果缸222的活塞桿224上升，則連接于其的第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240 一同上升。其中，缸222與活塞桿224可以構(gòu)成得利用壓縮空氣進(jìn)行升降運(yùn)轉(zhuǎn)，可以應(yīng)用使得活塞桿224在缸222中移動的各種手段。
[0061]另一方面，所述第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240可以與室100的上端壁部120水平地配置，在中心連接有所述第I長度調(diào)節(jié)部220，從中心呈輻射狀延長形成有構(gòu)成相同長度和等角的至少兩個以上的第I連接臂242，并連接有第I支撐部260。
[0062]當(dāng)然，第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240作為借助于第I長度調(diào)節(jié)部220而沿上下方向移動的結(jié)構(gòu)，可以以單純的圓形形態(tài)應(yīng)用。但是，第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240在中心連接有第I長度調(diào)節(jié)部220，從而使得隨著第I長度調(diào)節(jié)部220的升降運(yùn)轉(zhuǎn)而進(jìn)行作用的負(fù)載不偏向一側(cè)，第I連接臂242從中心呈輻射狀構(gòu)成等角并延長，從而與單純以圓形形態(tài)形成的情形相比，能夠減少重量。
[0063]而且，第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240從中心延長的第I連接臂242以相同長度和相同角度形成，從而使得當(dāng)?shù)贗運(yùn)轉(zhuǎn)部240上下移動時，向各個第I連接臂242分配相同的負(fù)載。
[0064]特別是所述第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240的第I連接臂242能彈性彎曲地形成，從而使得當(dāng)負(fù)載作用于第I連接臂242時不易破損。S卩，隨著第I長度調(diào)節(jié)部220進(jìn)行上升運(yùn)轉(zhuǎn)，第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240和連接于其的第I支撐部260上升，從而安放在第I夾具262的