曲地形成。S卩，在第2運(yùn)轉(zhuǎn)部340的中心連接有第2長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部320，因而上升力進(jìn)行作用，隨著第2支撐部360的第2夾具362掛接于卡盤122，包括第2連接臂342的第2運(yùn)轉(zhuǎn)部340彈性彎曲，從而防止第2連接臂342的端部破損，與第2長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部320的上升力一起，第2運(yùn)轉(zhuǎn)部340彈性彎曲，從而能夠使得被第2夾具362包圍的基板托盤W堅(jiān)固地固定于卡盤122。
[0089]所述的第2運(yùn)轉(zhuǎn)部340可以從中心呈輻射狀延長(zhǎng)有第2連接臂342，第2連接臂342的個(gè)數(shù)可以按與后述插入槽364個(gè)數(shù)相同的個(gè)數(shù)延長(zhǎng)形成。
[0090]另一方面，所述第2支撐部360 —端連接于第2運(yùn)轉(zhuǎn)部340的第2連接臂342，另一端向下方延長(zhǎng)，其末端位于比第I夾具262更下側(cè)，在另一端可以配備有以環(huán)形態(tài)形成并包圍第I夾具262和基板托盤W的第2夾具362。
[0091]如上所述，第2支撐部360 —端連接于第2連接臂342，在第2長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部320運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，與第2連接臂342 —同上下移動(dòng)，另一端向下方延長(zhǎng)，位于室100內(nèi)。特別是在第2支撐部360的另一端，配備有以環(huán)形態(tài)形成并包圍第2夾具362和基板托盤W的第2夾具362，從而能夠使得第I夾具262和基板托盤W位置固定于卡盤122。
[0092]所述的第2夾具362以環(huán)形態(tài)形成，在外周可以形成有供第I夾具262容納的插入槽364和供基板托盤W安放的支撐槽366。
[0093]在本發(fā)明中，第2夾具組件300用于對(duì)通過第I夾具組件200而一次固定的基板托盤W 二次進(jìn)行更堅(jiān)固固定，配備于第2支撐部360的第2夾具362可以以環(huán)形態(tài)形成，以便包圍基板托盤W外周。這種第2夾具362根據(jù)基板托盤W的形狀，可以以圓形環(huán)形態(tài)或四邊環(huán)形態(tài)形成，可以與基板托盤W的形狀匹配，與其對(duì)應(yīng)地形成。
[0094]另外，在第2夾具362上，可以形成有供第I夾具262容納的插入槽364，按基板托盤W的外周形狀形成有支撐槽366，形成有供基板托盤W安放的支撐槽366。由此，第2夾具362上升時(shí)，第I夾具262插入于插入槽364，基板托盤W插入支撐槽366并安放，從而，以第2夾具362包圍第I夾具262，使得工序環(huán)境相同地進(jìn)行作用，防止蝕刻工序中出錯(cuò)，即，防止當(dāng)只以第I夾具262固定基板托盤W時(shí)，固定的部位與未固定的部位在蝕刻過程中因不同的工序環(huán)境進(jìn)行作用而發(fā)生錯(cuò)誤。
[0095]而且，在第2夾具362中，第I夾具262通過插入槽364插入，基板托盤W通過支撐槽366插入并安放，從而防止基板托盤W游動(dòng)，基板托盤W堅(jiān)固地接觸卡盤122，位置被固定。
[0096]另一方面，在所述引導(dǎo)支撐部180的固定面板182上，形成有向下方延長(zhǎng)并位于第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240上側(cè)的停止部184，從而使得第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240在向上方過度移動(dòng)時(shí)接觸停止部184并限制移動(dòng)。
[0097]如上所述，利用從固定面板182延長(zhǎng)的停止部184，防止第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240隨著第I長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部220過度運(yùn)轉(zhuǎn)而過度移動(dòng)，從而能夠防止第I夾具262的破損。如上所述，第I夾具262以凸緣形態(tài)延長(zhǎng)，當(dāng)設(shè)置強(qiáng)度以上的力進(jìn)行作用時(shí)會(huì)容易破損。因此，在固定面板182上，使停止部184向下方延長(zhǎng)且位于第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240的上側(cè)，從而借助于第I長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部220而上升的第I運(yùn)轉(zhuǎn)部240掛接于停止部184，第I夾具262接觸卡盤122后，使得不會(huì)因過度上升而破損。就第2夾具362而言，在包圍基板托盤W和第I夾具262后接觸卡盤122，上升運(yùn)轉(zhuǎn)被限制，不需要另外的停止手段。
[0098]另一方面，如圖6至8所示，可以還配備有盒模塊400，所述盒模塊400具備在底面向兩側(cè)對(duì)稱的板420，并具備:在兩板420上沿上下方向構(gòu)成多段，且朝向相互相向的方向凸出的支撐架422 ;放置架440，其安放于所述支撐架422，在中央部，以比基板托盤W外周更小的外周形成有移送槽442，前方以與移送槽442相接的方式開放，沿著移送槽442的外周，形成有供基板托盤W安放的安放槽444 ;移送組件460，其使安放于所述放置架440的基板托盤W移送到所述室100內(nèi)，安放于第I夾具組件200。
[0099]所述的盒模塊400用于在把基板托盤W移送到室100內(nèi)之前，收納及保管基板托盤W。
[0100]這種盒模塊400在底面向兩側(cè)對(duì)稱地配備有板420，從而前后方敞開，在兩板420上，支撐架422沿上下方向構(gòu)成多段地形成。
[0101]在這種支撐架422上配備有供基板托盤W安放的放置架440。在放置架440上，上側(cè)供基板托盤W安放，在中央部，以小于基板托盤外周的外周形成有移送槽442，前方部開放，以便與移送槽442相接，從而使得下面將說明的移送組件460能夠抬升安放于放置架440的基板托盤W。而且，在放置架440上形成有移送槽442，從而能夠防止放置架440接觸基板托盤W的電極而造成電極損傷。另外，在放置架440中，在供基板托盤W安放的部分形成凸臺(tái)，能夠使得防止基板托盤W的游動(dòng)。
[0102]所述移送組件460是用于使放置架440上安放的基板托盤W移送到室100內(nèi)的裝置。最近，隨著作業(yè)工序的機(jī)械化，借助于機(jī)器人執(zhí)行晶片的移送。在本發(fā)明中，移送組件460作為用于把持基板托盤W的手段，可以加裝于機(jī)器人。S卩，借助于機(jī)器人的運(yùn)轉(zhuǎn)，移送組件460可以把持所述放置架440上安放的基板托盤W，使移送到所述室100內(nèi)，安放于第I夾具組件200。
[0103]另一方面，所述盒模塊400可以在支撐架422上安裝有傳感器部480，所述傳感器部480判斷有無安放于支撐架422的基板托盤W。
[0104]當(dāng)使基板托盤W向室100移送時(shí)，在盒模塊400中，放置架440留下，只有基板托盤W移送到室100，因而在盒模塊400中，需要用于確認(rèn)基板托盤W是否存在而不是確認(rèn)放置架440是否存在的手段。
[0105]因此，在盒模塊400中，可以安裝判斷有無基板托盤W的傳感器部480，使得在機(jī)器人自動(dòng)化作業(yè)時(shí)，找到層疊于盒模塊400的基板托盤W并準(zhǔn)確地移送。
[0106]所述的傳感器部480例如可以在支撐架422安裝透光傳感器，在放置架440上，在與透光傳感器對(duì)應(yīng)的位置形成孔，從而隨著基板托盤W安放于放置架440，可以通過放置架440的孔，判斷光線是否通過，判斷基板托盤W的有無。
[0107]另一方面，如圖8所示，所述移送組件460可以以平面形成，使得與基板托盤W的下面接觸，在外周上配備有防止基板托盤W滑動(dòng)的橡膠墊462，在中央形成有用于分散負(fù)載的分散孔464。
[0108]如上所述，移送組件460可以以平面形成，穩(wěn)定地支撐基板托盤W，在與基板托盤W接觸的端面形成有橡膠墊462，因而可以使得在移送組件460上安放的基板托盤W不滑動(dòng)脫落。另外，在移送組件460的中央形成分散孔464，從而能夠使得移送組件460可以充分支撐基板托盤W的重量。
[0109]所述的作為對(duì)基板托盤W進(jìn)行固定的手段的晶片固定裝置可以包括:第I夾具組件200，其配備有供基板托盤W安放的第I夾具262，配備得能夠在室100的內(nèi)部沿上下方向升降，從而當(dāng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，使得基板托盤W接觸室100內(nèi)的卡盤122并固定；及第2夾具組件300，其獨(dú)立于所述第I夾具組件200配備，使得能夠在室100的內(nèi)部沿上下方向升降，配備有包圍所述第I夾具262和基板托盤W地形成的第2夾具362，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，使得第I夾具262和基板托盤W—同貼緊室100內(nèi)的卡盤122 ;從而使得基板托盤W在室100內(nèi)堅(jiān)固地固定。
[0110]下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的動(dòng)作進(jìn)行說明。
[0111]如圖9所示，在盒模塊400的支撐架422上安放放置架440，在放置架440上安放基板托盤W，基板托盤W在移送到室100之前進(jìn)行待機(jī)。
[0112]如圖10所示，當(dāng)使相應(yīng)基板托盤W移送到室100時(shí)，移送組件460只抬升安放在放置架440的基板托盤W，執(zhí)行向室100的移送。
[0113]如此移送的基板托盤W移送到圖11至12所示的室100內(nèi)的晶片固定裝置，基板托盤W安放于第I夾具組件200的第I夾具262。
[0114]如果基板托盤W安放于第I夾具262，則如圖13所示，隨著第I夾具組件200的第I長(zhǎng)度調(diào)節(jié)部