基板托盤W接觸卡盤122，為了使基板托盤W堅固地接觸卡盤122，第I長度調(diào)節(jié)部220的上升力強烈地進行作用。
[0065]此時，就第I運轉(zhuǎn)部240而言，上升力在第I長度調(diào)節(jié)部220所連接的中心進行作用，隨著第I支撐部260的第I夾具262掛接于卡盤122，包括第I連接臂242的第I運轉(zhuǎn)部240彈性彎曲，從而防止第I連接臂242的端部破損，與第I長度調(diào)節(jié)部220的上升力一起，第I運轉(zhuǎn)部240彈性彎曲，從而能夠使得安放于第I夾具262的基板托盤W堅固地固定于卡盤122。
[0066]所述的第I運轉(zhuǎn)部240可以從中心呈輻射狀延長形成有三個第I連接臂242。當然，就從第I運轉(zhuǎn)部240延長的第I連接臂242而言，如果增加其個數(shù)，則具有第I運轉(zhuǎn)部240的整體剛性增加的優(yōu)點。但是，在本發(fā)明中，基板托盤W通過第I夾具組件200的側(cè)面進入并安放，根據(jù)第I連接臂242的個數(shù)的增加，第I連接臂242間的間隔減小，難以確保供基板托盤W進入的空間。因此，優(yōu)選從第I運轉(zhuǎn)部240延長的第I連接臂242構(gòu)成等間隔，形成三個左右，從而在確保供基板托盤W進入的空間的同時，使得確保第I運轉(zhuǎn)部240適當水平的剛性。
[0067]這種第I連接臂242的個數(shù)可以考慮基板托盤W的進入空間及整體剛性而設(shè)置為適當個數(shù)。
[0068]另一方面，所述第I支撐部260 —端連接于第I運轉(zhuǎn)部240的第I連接臂242，另一端向下方延長，其末端位于比室100內(nèi)部的卡盤122更下側(cè)，在另一端可以配備有朝向室100的中央以凸緣形態(tài)延長的第I夾具262。
[0069]如上所述，第I支撐部260 —端連接于第I連接臂242，在第I長度調(diào)節(jié)部220運轉(zhuǎn)時，與第I連接臂242 —同上下移動，另一端向下方延長，位于室100內(nèi)。特別是在第I支撐部260的另一端，配備有朝向室100的中央以凸緣形態(tài)延長的第I夾具262，基板托盤W可以安放于室100內(nèi)部。
[0070]在本發(fā)明中，第I夾具組件200用于一次固定基板托盤W，配備于第I支撐部260的第I夾具262以凸緣形態(tài)形成，以便基板托盤W安放于上端。更優(yōu)選地，第I夾具262以凸緣形態(tài)延長，在延長的部分形成凸臺，從而可以使得安放的基板托盤W不會游動、脫離。此時，在基板托盤W上，可以也形成對應(yīng)于第I夾具262的凸臺的凸臺。
[0071]另外，第I夾具262的延長長度可以設(shè)置成支撐基板托盤W外周的程度，當向上方移動時掛接于卡盤122，從而基板托盤W接觸卡盤122，使得位置固定。
[0072]另一方面，連接于所述多個第I連接臂242的各個第I支撐部260可以連接于以環(huán)形態(tài)形成的連接環(huán)264的外周。
[0073]如圖4所示，在本發(fā)明中，在第I運轉(zhuǎn)部240延長有多個第I連接臂242，在這種多個第I連接臂242上，分別連接有第I支撐部260。而且，第I支撐部260從第I連接臂242向下方延長，當?shù)贗運轉(zhuǎn)部240上下移動時，因運轉(zhuǎn)沖擊，各自會發(fā)生晃動。
[0074]因此，使得從第I連接臂242延長的各個第I支撐部260通過以環(huán)形態(tài)形成的連接環(huán)264而全部連接，從而可以使第I支撐部260的晃動減小，使得安放在第I夾具262的基板托盤W被穩(wěn)定地支撐。另外，第I支撐部260 —端連接于第I連接臂242，另一端通過連接環(huán)264連接，從而在結(jié)構(gòu)上也可以實現(xiàn)穩(wěn)定化。這種連接環(huán)264根據(jù)卡盤122的形態(tài)，不僅是圓形，也可以以四邊環(huán)狀加以應(yīng)用。
[0075]其中，優(yōu)選所述連接環(huán)264在第I支撐部260的延長的末端，連接于比第I夾具262更上側(cè)。如此使得連接環(huán)264連接于比第I夾具262更上側(cè)，從而能夠使得從側(cè)方進入的基板托盤W移到到連接環(huán)264與第I夾具262之間的空間。由此，可以使第I支撐部260的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定化，使得基板托盤W的進入順利執(zhí)行。
[0076]另一方面，在所述室100中可以形成有引導(dǎo)支撐部180，其固定安裝于上端壁部120的上端，向上方延長，連接有第I夾具組件200與第2夾具組件300，從而使得第I夾具組件200與第2夾具組件300沿相同方向升降，在延長的末端配備有固定面板182。
[0077]這種引導(dǎo)支撐部180固定安裝于室100的上端壁部120，以棒形態(tài)向上方延長。這種引導(dǎo)支撐部180可以形成多個。特別是在引導(dǎo)支撐部180，連接有第I夾具組件200和第2夾具組件300，第I夾具組件200和第2夾具組件300隨著引導(dǎo)支撐部180而被引導(dǎo)得沿上下方向移動，從而可以使得第I夾具組件200與第2夾具組件300向相同方向執(zhí)行穩(wěn)定的升降運轉(zhuǎn)。
[0078]其中，所述第I夾具組件200和第2夾具組件300在室100的上端壁部120上下地配置，可以構(gòu)成得在所述的引導(dǎo)支撐部180，貫通連接有第I夾具組件200的第I運轉(zhuǎn)部240，貫通連接有下面將說明的第2夾具組件300的第2運轉(zhuǎn)部340。
[0079]而且，在引導(dǎo)支撐部180的延長的末端，可以連接有固定面板182。就固定面板182而言，作為供下面將說明的第2夾具組件300安裝的部分，可以以平面形成，當引導(dǎo)支撐部180形成多個時，連接各引導(dǎo)支撐部180，使得在結(jié)構(gòu)上實現(xiàn)穩(wěn)定化。
[0080]如果對第2夾具組件300進行具體說明，所述第2夾具組件300可以包括:第2長度調(diào)節(jié)部320，其固定安裝于固定面板182的下端，長度沿上下方向可變；第2運轉(zhuǎn)部340，其位于所述第2長度調(diào)節(jié)部320的下側(cè)，供第2長度調(diào)節(jié)部320連接，借助于第2長度調(diào)節(jié)部320而向上下移動；第2支撐部360，其從所述第2運轉(zhuǎn)部340向下方延長，貫通室100的上端壁部120，在延長的末端，具備在室100的內(nèi)部一同包圍第I夾具262和基板托盤W的第2夾具362。
[0081]S卩，如圖5所示，第2夾具組件300配備有第2運轉(zhuǎn)部340，所述第2運轉(zhuǎn)部340連接于配備得長度沿上下可變的第2長度調(diào)節(jié)部320，向上下進行移動，在第2長度調(diào)節(jié)部320運轉(zhuǎn)時，隨著第2運轉(zhuǎn)部340向上下移動，連接于其的第2支撐部360向上下移動。其中，在第2支撐部360，具備在室100內(nèi)部供基板托盤W安放的第2夾具362，從而使得當?shù)?支撐部360上升運轉(zhuǎn)時，第2夾具362朝向室100內(nèi)的卡盤122向上方移動，接觸卡盤122。特別是配備于第2支撐部360的第2夾具362，一同包圍第I夾具262與基板托盤W地形成，從而使第I夾具262和安放于第I夾具262的基板托盤W在室100的上部貼緊卡盤122。如上所述，第I夾具組件200與第2夾具組件300 —同使得基板托盤W接觸卡盤122，位置被固定，從而能夠使得更堅固安全地固定基板托盤W的位置。
[0082]詳細而言，所述第2長度調(diào)節(jié)部320可以包括:缸322，其固定于第2運轉(zhuǎn)部340 ;活塞桿324，其配備得在缸322中沿上下方向升降，連接于固定面板182。
[0083]如圖1所示，第2長度調(diào)節(jié)部320的缸322固定安裝于第2運轉(zhuǎn)部340，在缸322中沿上下方向移動的活塞桿324連接于固定面板182，從而，如果缸322的活塞桿324進燈下降運轉(zhuǎn)，則使得缸322上升，第2運轉(zhuǎn)部340上升。
[0084]所述的缸322與活塞桿324的連接，可以互換并安裝于固定面板182或第2運轉(zhuǎn)部340，缸322與活塞桿324可以構(gòu)成得利用壓縮空氣進行升降運轉(zhuǎn)，可以應(yīng)用使得在活塞桿324在缸322中移動的各種手段。
[0085]另一方面，所述第2運轉(zhuǎn)部340可以與室100的上端壁部120水平地配置，在中心連接有所述第2長度調(diào)節(jié)部320，從中心呈輻射狀延長形成有構(gòu)成相同長度和等角的至少兩個以上的第2連接臂342，連接有第2支撐部360。
[0086]如圖5所示，第2運轉(zhuǎn)部340使得在中心連接有第2長度調(diào)節(jié)部320，從而使得隨著第2長度調(diào)節(jié)部320的升降運轉(zhuǎn)而進行作用的負載不偏向一側(cè)，第2連接臂342從中心呈輻射狀構(gòu)成等角延長，從而與單純以圓形形態(tài)形成的情形相比，能夠減小重量。
[0087]而且，第2運轉(zhuǎn)部340從中心延長的第2連接臂342以相同長度和相同角度形成，從而使得當?shù)?運轉(zhuǎn)部340上下移動時，向各個第2連接臂342分配相同的負載。
[0088]其中，所述第2運轉(zhuǎn)部340的第2連接臂342能彈性彎